专利名称：：锂电池用电极和锂电池用电极的制造方法
技术领域：
：本发明涉及锂电池用电极及锂电池用电极的制造方法，更具体而言，涉及负极活性物质膜的成膜方法及利用该方法制造得到的锂电池用电极。
背景技术：
：近年来，便携式设备的小型化及多功能化不断地推进，伴随着它而要求电池的高容量化。作为锂电池中的高容量负极，Si-O负极有希望吸收较多量的锂，被进行了很多研究。在集电体上形成Si-O的方法有，将Si-0粒子与粘结剂及溶剂混合形成膏体并进行涂布干燥压延的方法，及蒸镀法这些方法中，特别是蒸镀法，是不含有粘结剂而在高能量密度化方面有利的干法，而且由于可以得到高成膜速度因而具有良好的生产率。专利文献l中公开了用真空蒸镀、溅射及离子电镀形成Si-O膜的方法。专利文献2中记载了在集电体上设置有负极活性物质层的二次电池用负极中，负极活性物质层含有Si和Fe，两者的原子数比为19:11:9，即，Fe相对于Si的摩尔数为5.3%以上。还记载了该负极活性物质层通过二元同时蒸镀来成膜。此外，作为含有Si的多元系材料的氧化物，专利文献3中公开了以下的方法为了得到Fe-Si-O系的磁性膜，以混合Fe:Si=98:2~65:35(原子比)的Fe及Si而得到的材料作为蒸发原料，并用蒸镀法来成膜。专利文献1:日本特开2004-349237号公报专利文献2:日本特开2007-26805号公报专利文献3:日本特开平10-92683号公报
发明内容上述专利文献1中公开了使用Si粉末和Si02粉末的混合烧结体、或SiO烧结体作为用于得到Si-O膜的蒸发原料。根据专利文献l，记载了由成膜速率的观点出发而优选Si-0粉末烧结体，但在将Si-O粉末烧结体作为蒸发原料来使用的情况下，存在为了合成Si-O粉末而要花费成本的问题。而且，上述专利文献l中，对于将Si块作为蒸发原料并导入氧气进行成膜，也进行公开。由此，将从通过铸造方法制造的Si铸块上切割而成的Si块作为材料，在氧化性气氛下进行成膜。可以得到和混合烧结体的情况同样的电池性能，氧化性气体可以通过导入氧气而得到。但是，只是说明了由于需要从材料表面放射Si原子，为了比混合烧结体更容易发生飞溅，所以成膜速率小，而没有说明以Si作为主要成分的蒸发原料和使用氧气的成膜方法中提高成膜速率的方法。在上述专利文献2中公开了为了提高电池的输出特性，在负极活性物质层中将Fe相对于Si的摩尔数设定为5.3%以上，记载了比该比率小时，伴随着负极活性物质的充放电的体积变化的抑制及导电性提高的效果变小。关于使负极活性物质层中Fe的摩尔数为不到5.3%的值的方面没有记载，也没有提及Fe的含量和成膜速率的关联性。而且，只记载了二元同时蒸镀，没有记载使用以Si作为主要成分的蒸发原料的一元蒸镀。而且，上述专利文献3是将Fe及Si混合后的材料作为蒸发原料，但和以Si作为主要成分的本发明的锂电池用电极不同，只不过公开了得到以Fe作为主要成分的氧化物膜的方法。本发明是为了解决上述课题而做出的，目的在于，在通过使用以Si作为主要成分的蒸发原料进行蒸镀来形成负极活性物质膜时，通过提高成膜速率来提高生产率。而且，本发明的目的还在于提供一种锂电池用电极，它由于提高了负极活性物质膜的成膜速率而具有良好的生产率，同时也保持高水平的充放电容量。为了解决上述课题，本发明的锂电池用电极的制造方法包含准备以Fe/(Si+Fe)的摩尔比在0.0005以上0.15以下的范围内含有Si和Fe的蒸发原料的工序，和使所述蒸发原料溶解蒸发从而直接蒸镀在集电体上或经由基底层蒸镀在集电体上的工序。根据本构成，当通过使用以Si作为主要成分的蒸发原料进行蒸镀来形成负极活性物质膜时，可以通过提高成膜速率来提高生产率。进而，本发明涉及包含集电体以及负极活性物质膜的锂电池用电极，所述负极活性物质膜由直接在所述集电体上层叠或经由基底层层叠的SiFeyOx(其中，(Kx〈2且0.000l《y/(l+y)《0.03)形成。根据本构成，可以提供一种锂电池用电极，它由于提高了负极活性物质膜的成膜速率而具有良好的生产率，同时也保持高水平的充放电容量。进而，本发明涉及一种锂电池的制造方法，该锂电池具有由锂电池用电极形成的负极、与所述负极相对设置的正极、设置在所述负极和所述正极之间的隔离物，而且，所述锂电池的制造方法包括准备以Fe/(Si+Fe)的摩尔比在0.0005以上0.15以下的范围内含有Si和Fe的蒸发原料的工序，通过使所述蒸发原料溶解蒸发并在集电体上直接蒸镀或经由基底层进行蒸镀来制造负极的工序，准备隔离物的工序，准备正极的工序，在所述负极和所述正极之间设置所述隔离物的工序。根据本构成，可以提供具有生产率良好的负极同时也保持高水平的充放电容量的锂电池。根据本发明的锂电池用电极的制造方法，可以不改变使用以Si作为主要成分的蒸发原料进行蒸镀时的工艺条件(使用电子束蒸镀法的情况下为电子束的电压电流等)而提高负极活性物质膜的成膜速率。因此，可以提高生产率。而且，根据本发明的锂电池用电极，由于提高了负极活性物质膜的成膜速率而具有良好的生产率，同时也保持高水平的充放电容量。而且，根据本发明的锂电池及其制造方法，可以提供在具有生产率良好的负极的同时也保持高水平的充放电容量的锂电池。图1为本发明实施方式中真空蒸镀法装置的概要图。图2为本发明的实施例中R2016纽扣电池的剖面概要图。符号说明1集电体2蒸发原料3坩埚4铜盆(hearth)11放巻辊12筒式辊(canroller)13巻绕辊14掩模15腔室16氧气喷嘴17质量流量控制器18氧气瓶19真空配管20油扩散泵21油旋转泵31电极(负极)32隔离物33锂金属箔(正极)34金属圆板35碟形弹簧36外壳37封口板38密封垫具体实施例方式以下，参照附图，对本发明的实施方式进行说明。(实施方式)本实施方式中对使用电子束蒸镀法作为蒸镀方法的情况进行说图1为表示本发明的锂电池用电极的制造中所使用的制造装置的概要的图。图1中，腔室15内被真空排气，使蒸发原料2蒸发而在集电体1上形成负极活性物质膜。集电体1从放巻辊11被放巻，沿筒式辊12的周面移动，并被巻绕在巻绕辊13上。集电体1沿筒式辊12移动时，在掩模14的开口部中在集电体1上形成活性物质膜。蒸发原料2放入到材料容器内，通过电子束(未图示)加热而蒸发。材料容器为，例如，通过在进行水冷的铜盆4内配置坩埚3来构成。腔室15内有氧气喷嘴16，将从氧气瓶18导出的氧气用质量流量控制器17控制为规定的量并导入到腔室15内。由此，在氧气气氛下进行成膜工序。腔室15经过真空排气配管19，用油扩散泵20及油旋转泵21来进行真空排气。这样在集电体1上形成作为负极活性物质膜的SiFeyOj莫。作为集电体1可以使用金属箔，作为金属可以使用铜、铝、不锈钢、镍、钛等。作为板厚为l~50)im左右。集电体1的表面上可以设有基底层，作为基底层可以使用例如氧化铬等。作为本发明的蒸发原料2，可以使用含有Si和Fe且Fe/(Si+Fe)的摩尔比为0.0005以上0.15以下的物质。本发明人经过专心的研究后发现了，与蒸发原料仅为Si的情况相比，以Si作为主要成分且含有少量的Fe的情况可以提高成膜速率。上述摩尔比不到0.0005或超过0.15时，不能得到提高成膜速率的效果。在该范围内，如果Fe的配合量增加则有锂电池的充放电容量降低的趋势，所以为了保持高水平的充放电容量而优选Fe的配合量较少。从该观点出发，优选上述摩尔比的上限为0.06以下，更优选为0.03以下，进一步优选为0.026以下。而且，关于摩尔比的下限，从能够进一步提高成膜速率并且能够降低得到的负极活性物质膜的电阻的观点出发，优选为0.005以上，更优选为0.01以上。得到的负极活性物质膜的用表面电阻率等表示的电阻越低，电极的带电性越低，在组装电池的工序中可抑制向电池附着颗粒，因而优选。而且，通过降低负极活性物质膜的电阻，可以降低电池的阻抗，由此，可以提高大电流下放电时及低温环境中放电时的放电特性。本发明中实施使用上述蒸发原料的一元蒸镀。在此，一元蒸镀意味着使用含有Si和Fe两者的一个蒸发原料，与将含有Si的蒸发原料8和含有Fe的蒸发原料放入不同的坩埚中而实施的二元蒸镀相区别。一元蒸镀易于使得到的SiFeyOj莫的组成均匀，所以得到的负极活性物质膜的性能稳定，而且，由于成膜装置可以为更简易的结构，所以与二元蒸镀相比格外优选。本发明使用的蒸发原料是以Si作为主要成分的物质，与以SiO及Si02等Si和O成键的化合物为主要成分的物质是不同的。本发明中使用的蒸发原料可以是以规定的比例含有Fe的以Si作为主要成分的合金等的化合物粉末或化合物块，也可以是将Si的粉末或块和Fe的粉末或块混合后的物质。蒸发原料用电子束加热，由此在Si的熔点附近熔融，少量的Fe在Si熔融液中均匀化，因此溶解前的蒸发原料的状态可以在一定程度上不均匀。如果在成膜时使用本发明的蒸发原料进行连续供给，则可以长时间成膜而提高生产率，所以优选。放入蒸发原料的坩埚优选为碳制的。由于碳坩埚难以和Si熔融液反应，热冲击强，所以蒸镀过程中及蒸镀结束时很少裂开，可以重复使用。坩埚材料不限于碳，可以使用和Si熔融液反应性低、热冲击强的其它材料。此外，本发明中提高成膜速率的机理虽然不是很清楚，但可以考虑为Fe的电离能为7.87eV，Si的电离能为8.15eV，由于电离能不同，与只是Si的情况相比较，电子束的束限制提高，增大蒸发原料局部的浴温并提高蒸镀量。由于这样的机理，本发明中的成膜速率的提高是只在一元蒸镀的情况下达到的效果，二元蒸镀的情况下不能达到。本发明的制造方法在氧气中进行时，可以得到由SiFeyOx形成的负极活性物质膜。在此，x在满足式0<x<2的范围内，y在满足0《y/(l+y)《约O.l的范围内。作为得到的负极活性物质膜的膜厚，例如，0.150!im左右是合适的。得到的SiFeyOj莫中Fe的比例增加时，锂电池的充放电容量有降低的趋势，所以优选y/(l+y)的值、即Fe/(Si+Fe)的摩尔比较小。将该SiFeyOj莫作为负极活性物质膜制作锂电池并进行充放电时，在上述y/(l+y)为0.0001以上0.03以下的情况下，可以达到和不含有Fe的SiOj莫大致同等的充放电容量。上述y/(l+y)超过0.03时，充放电容量显著降低，因而不优选。从能够进一步提高成膜速率并能够降低得到的膜的电阻的观点出发，y/(l+y)的值的下限优选为0.001以上，更优选为0.004以上。而且，由于可以达到与不含有Fe(即，y/(l+y)的值为0)的SiOj莫同等的或其以上的充放电容量，y/(l+y)的值的上限优选为0.015以下，更优选为0.011以下。上述SiFeyOj莫中，x满足式0<x<2，但是，优选0.1《x《1.0的范围。由于氧的比例小时存在循环特性降低的趋势，氧的比例大时存在充电及放电容量降低的趋势，因此x的值优选在该范围。锂电池用电极利用以上的构成，与使用不含有Fe的SiOx膜的现有产品相比较，达到同等的充放电容量，且在生产率方面特别优异。本发明的锂电池用电极在锂电池中作为负极使用。而且，本发明的锂二次电池用负极可以适用于纽扣型电池、具有螺旋形的极板组的圆筒型电池及角型电池等。例如，正极活性物质层中可以使用钴酸锂(LiCo02)、镍酸锂(LiNi02)、锰酸锂(LiMn204)等含有锂的过渡金属氧化物，但不限定于此。而且，正极活性物质层可以只由正极活性物质构成，也可以由含有正极活性物质、粘结剂和导电剂的合剂构成。实施例以下，列出实施例对本发明进行更加详细的说明，但本发明不限定于这些实施例。(实施例1)使用将高纯度化学制的单晶Si铸块粉碎成lcm左右的大小并成块状的物质和高纯度化学制的纯度为99.99%以上的铁粉，混合190g的Si和10.2g的Fe作为蒸发原料2，放入碳制的坩埚3中。蒸发原料的Fe/(Si+Fe)的摩尔比约为0.026。另外，用百分比表示的摩尔组成约为2.6mol%。使用上述的图1中所示的真空蒸镀装置，使用古河铜箔株式会社(FumkawaCircuitFoilCo.,Ltd.)制的粗糙面电解铜箔(厚35pm)作为集电体1来进行成膜。集电体1以1.0cm/分的速度从放巻辊11放巻，沿筒式辊12的周面移动，在巻绕辊13上被巻绕。集电体1沿筒式辊12的周面移动时，通过集电体长度方向的开口长为15cm的掩模14的开口部时，形成负极活性物质膜。因此，成膜时间为15分钟。在与筒式辊12相对的下方，将放入有蒸发原料2的碳制的坩埚3配置于进行水冷的铜盆4内，用加速电压为-10kV、发射电流为650mA的电子束进行加热。在腔室15内配置有氧气喷嘴16，从氧气瓶18导入通过质量流量控制器17控制的流量为40SCCM的氧气，同时，通过油扩散泵20及油旋转泵21排气直到真空度为0.01Pa。通过在以上的条件下在集电体1上用真空蒸镀法连续形成负极活性物质膜，制作长电极。对得到的膜用SEM进行剖面观察时，厚为26^m，由此成膜速率为29nm/sec。得到的膜的Si量及Fe量通过ICP发光光谱分析来分析，O量用JISZ2613红外线吸收法分析。结果为，Si量是2.9mg/cm2，Fe量是0.062mg/cm2，O量是0.88mg/cm2。因此，将膜的组成用SiFeyOx的形式书写时，为SiFe,Oo.s3，膜的Fe/(Si+Fe)的摩尔比、即y/(l+y)的值约为0.011。将得到的上述样品用三菱化学制的高电阻率计HIRESTA使用URS探针测量表面电阻率，结果为3.9E+8Q/口。将得到的上述样品冲压成①12.5mm的圆形，将其作为负极电极31，经由旭化成制的厚20jam的聚乙烯微多孔膜的隔离物32，以HonjoChemicalCorporation制的厚300(im的锂金属箔33作为正极，制作R2016的纽扣电池(直径20mm、厚1.6mm)。纽扣电池的剖面概要如图2所示。使用用于从电极31集电的金属圆板34、用于给电极加压的蝶形弹簧35、用于封装及实现外部的正负端子作用的外壳36、封口板37及密封垫38，电解液使用将碳酸乙烯酯、碳酸二乙酯以体积比l:1混合并在其中以lmol/L溶解六氟磷酸锂而调制得到的溶液。电解液的浸渍通过将上述隔离物32及上述电极31在电解液中浸渍10秒来进行。使用制作的纽扣电池进行充放电。结果为，初次充电容量是2900mAh/g，初次放电容量是2300mAh/g，不可逆滞留容量是600mAh/g。(实施例2)除了将180g的Si和19.5g的Fe混合作为蒸发原料2以外，大致和实施例1同样地在集电体1上形成负极活性物质膜。也就是说，蒸发原料2的Fe/(Si+Fe)的摩尔比约为0.053。在此，用百分比表示的摩尔组成约为5.3mol%。得到的膜的厚度为28iam，由此，成膜速率为31nm/sec。用和实施例1同样的方法分析得到的膜的组成时，为SiFe。.Q240。.63，膜的Fe/(Si+Fe)的摩尔比约为0.023。和实施例1同样地测量的表面电阻率的结果为1.7E+6Q/口。和实施例1同样地制作纽扣电池并进行充放电，初次充电容量为2790mAh/g，初次放电容量是2070mAh/g，不可逆滞留容量是720mAh/g。(实施例3)除了将含有微量Fe的大阪朝日商事制的金属Si(商品号#441)粉碎成lcm左右的大小并做成块状而作为合计200g的蒸发原料2以外，大致和实施例1同样地在集电体1上形成负极活性物质膜。用ICP发光光谱分析分析作为蒸发原料2的金属Si的结果为，Fe量是0.39mass。/。。也就是说，蒸发原料2的Fe/(Si+Fe)的摩尔比约为0.0020。在此，用百分比表示的摩尔组成约为0.2mol%。得到的膜的厚度为23^m，由此，成膜速率为25nm/sec。用荧光X线分析法分析得到的膜的组成时，膜的Fe/(Si+Fe)的摩尔比约为0.00022。在此，通过荧光X线分析法算出的摩尔比和ICP发光光谱分析算出的摩尔比没有本质的差别。和实施例1同样地测量表面电阻率的结果为1.0E+9Q/口。和实施例1同样地制作纽扣电池并进行充放电，初次充电容量为2980mAh/g，初次放电容量是2200mAh/g，不可逆滞留容量是780mAh/g。(实施例4)除了将199.8g的Si和0.2g的Fe混合作为蒸发原料2以外，大致和实施例1同样地在集电体1上形成负极活性物质膜。也就是说，蒸发原料2的Fe/(Si+Fe)的摩尔比约为0.00050。得到的膜的厚度为23)im，由此，成膜速率为26nm/sec。用和实施例1同样的方法分析得到的膜的组成时，Fe为不到检出下限值0.002mass%，Fe/(Si+Fe)的摩尔比不到0.00001。因此，膜的组成为SiO0.853。和实施例1同样地测量表面电阻率的结果为6.7E+8Q/口。12和实施例1同样地制作纽扣电池并进行充放电，初次充电容量为2900mAh/g，初次放电容量是2200mAh/g，不可逆滞留容量是700mAh/g。(实施例5)除了将196.06g的Si和3.94g的Fe混合作为蒸发原料2以夕卜，大致和实施例1同样地在集电体1上形成负极活性物质膜。也就是说，蒸发原料2的Fe/(Si+Fe)的摩尔比约为O.OIO。得到的膜的厚度为23)am，由此，成膜速率为26nm/sec。用和实施例1同样的方法分析得到的膜的组成时，为SiFeQ.。。410Q.8。9。膜的Fe/(Si+Fe)的摩尔比约为0.0041。和实施例1同样地测量表面电阻率的结果为3.4E+8Q/口。和实施例1同样地制作纽扣电池并进行充放电，初次充电容量为2930mAh/g，初次放电容量是2150mAh/g，不可逆滞留容量是780mAh/g。(实施例6)除了将163.8g的Si和36.2g的Fe混合作为蒸发原料2以夕卜，大致和实施例1同样地在集电体1上形成负极活性物质膜。也就是说，蒸发原料2的Fe/(Si+Fe)的摩尔比约为O.IO。得到的膜的厚度为23jLim，由此，成膜速率为26nm/sec。用和实施例1同样的方法分析得到的膜的组成时，为SiFe。.。540Q.8。5。膜的Fe/(Si+Fe)的摩尔比约为0.051。和实施例1同样地测量表面电阻率的结果为1.0E+5Q/口。和实施例1同样地制作纽扣电池并进行充放电，初次充电容量为2680mAh/g，初次放电容量是2080mAh/g，不可逆滞留容量是600mAh/g。(比较例1)除了只将200g的Si作为蒸发原料2以外，大致和实施例1同样地在集电体1上形成负极活性物质膜。用荧光X射线分析法分析蒸发原料2的结果为，Fe量不到作为检出下限值的0.001massn/。，蒸发原料2的Fe/(Si+Fe)的摩尔比不到0.000005。得到的膜的厚度为22jim，由此，成膜速率为24nm/sec。用荧光X射线分析法分析得到的膜的组成时，Fe不到作为检出界限值的0.001mass%，膜的Fe/(Si+Fe)的摩尔比不到0.000005。和实施例1同样地测量的表面电阻率的结果为1.0E+9Q/口。和实施例1同样地制作纽扣电池并进行充放电，初次充电容量为2900mAh/g，初次放电容量是2300mAh/g，不可逆滞留容量是600mAh/go(比较例2)除了将133.4g的Si和66.6g的Fe混合作为蒸发原料2以外，大致和实施例1同样地在集电体1上形成负极活性物质膜。也就是说，蒸发原料2的Fe/(Si+Fe)的摩尔比约为0.20。得到的膜的厚度为16)Lim，由此，成膜速率为18nm/sec。用和实施例1同样的方法分析得到的膜的组成时，为SiFe。.190Q.827。负极活性物质膜的Fe/(Si+Fe)的摩尔比约为0.16。和实施例1同样地测量的表面电阻率的结果为不到1.0E+5Q/口。和实施例1同样地制作纽扣电池并进行充放电，初次充电容量为2080mAh/g，初次放电容量是1520mAh/g，不可逆滞留容量是560mAh/g。实施例及比较例中使用的蒸发原料2的Fe/(Si+Fe)的摩尔比、成膜速率、得到的负极活性物质的Fe/(Si+Fe)的摩尔比(即y/(1+y)的值)及表面电阻率如表1所示，初次充电容量、初次放电容量及不可逆滞留容量如表2所示。在此，表1及表2中，从蒸发原料的Fe/(Si+Fe)的摩尔比小的实施例开始按顺序进行重新排列。从表1可知，通过以使Fe/(Si+Fe)的摩尔比在0.0005以上0.15以下的范围内的方式在蒸发原料中添加微量的铁(实施例16)，与使用不含有铁的蒸发原料的比较例1、及以按照上述摩尔比大于0.15的量添加铁的比较例2相比较，提高了成膜速率，且表面电阻率同等或更低。而且，从表2可知，得到的SiFeyOj莫中y/(1+y)的值为0.0001以上0.03以下的情况(实施例13及实施例5)，与y值为O(检出下限值以下)的情况相比较，初次充电容量及初次放电容量达到大致同等的水平。§卩，y值在上述范围内时，可以达到上述的成膜速率的提高，且还可以保持高水平的充放电容量。而且，所有的实施例中，负极活性物质膜的Fe/(Si+Fe)的摩尔比都低于蒸发原料的Fe/(Si+Fe)的摩尔比。该趋势在Fe/(Si+Fe)的摩尔比越低的实施例中表现的更加显著。<table>tableseeoriginaldocumentpage15</column></row><table><table>tableseeoriginaldocumentpage15</column></row><table>产业上的可利用性本发明的锂电池用电极在要求高容量的锂二次电池中有用。对形状没有特别的限定，可以应用于如实施例所示的纽扣型、及巻绕而使用的圆筒型等各种各样形状的锂电池中。权利要求1.一种锂电池用电极的制造方法，其特征在于，包括准备以Fe/(Si+Fe)的摩尔比在0.0005以上0.15以下的范围内含有Si和Fe的蒸发原料的工序；及，使所述蒸发原料溶解蒸发并在集电体上直接蒸镀或经由基底层进行蒸镀的工序。2.如权利要求l所述的锂电池用电极的制造方法，其特征在于，所述蒸发原料中，Fe/(Si+Fe)的摩尔比为0.0005以上0.06以下。3.如权利要求2所述的锂电池用电极的制造方法，其特征在于，所述蒸发原料中，Fe/(Si+Fe)的摩尔比为0.01以上0.06以下。4.如权利要求l所述的锂电池用电极的制造方法，其特征在于，在氧气气氛中进行所述蒸镀工序。5.—种锂电池用电极，其特征在于，包含集电体；及，负极活性物质膜，在所述集电体上直接层叠或经由基底层层叠，由SiFeyOx形成，其中，0<x<2且0.0001《y/(l+y)《0.03。6.如权利要求5所述的锂电池用电极，其特征在于，y/(l+y)的值为0.001以上0.03以下。7.—种锂电池，其特征在于，具有由如权利要求5或6所述的锂电池用电极形成的负极；与所述负极相对设置的正极；以及设置在所述负极与所述正极之间的隔离物。8.—种锂电池的制造方法，其特征在于，包括准备以Fe/(Si+Fe)的摩尔比在0.0005以上0.15以下的范围内含有Si和Fe的蒸发原料的工序；通过使所述蒸发原料溶解蒸发并在集电体上直接蒸镀或经由基底层进行蒸镀而制造负极的工序；准备隔离物的工序；准备正极的工序；以及在所述负极与所述正极之间设置所述隔离物的工序。全文摘要本发明的目的在于提供一种锂电池用电极，使它在通过使用Si作为主要成分的蒸发原料进行蒸镀来形成负极活性物质膜时，可以提高成膜速率，具有良好的生产率，且保持高水平的充放电容量。本发明的锂电池用电极的制造方法包括准备以Fe/(Si+Fe)的摩尔比在0.0005以上0.15以下的范围内含有Si和Fe的蒸发原料的工序，以及使所述蒸发原料溶解蒸发而在集电体上直接蒸镀或经由基底层进行蒸镀的工序。本发明的锂电池用电极包含集电体以及在所述集电体上直接层叠或经由基底层层叠的由SiFe<sub>y</sub>O<sub>x</sub>形成的负极活性物质膜，其中，0＜x＜2且0.0001≤y/(1+y)≤0.03。文档编号H01M4/38GK101542785SQ200880000190公开日2009年9月23日申请日期2008年1月31日优先权日2007年2月2日发明者小川裕子,本田和义,澁谷聪申请人:松下电器产业株式会社