专利名称：：Ag电极浆料、太阳电池单元及其制造方法
技术领域：
：本发明涉及一种Ag电极浆料、使用该浆料形成受光面侧电极的太阳电池单元、及具备使用所述Ag电极浆料形成受光面侧电极的工序的太阳电池单元的制造方法。
背景技术：
：作为目前的太阳电池单元的制造方法，公开了在半导体基板上形成PN结后，在该半导体基板至少一主面上形成梳齿状的叉指电极、连接于该叉指电极的母线电极的太阳电池单元的制造方法，其中，将导电性浆料2次印刷并通过烧制而形成二层结构的母线电极(参照专利文献1的图1图4)。该太阳电池单元的制造方法中，在太阳电池单元表面的二层结构的母线电极(在实施例中为Ag电极)中，通过在第一层的母线电极确保Ag电极/Si基板间的欧姆接触，在第二层的母线电极使电极的线电阻降低，由此提高太阳电池单元的转换效率。另外，涉及一种结晶硅太阳电池单元的Ag/Al电极浆料，且提案有使用以下的组成的无铅玻璃料的电极浆料(专利文献2)。SiO2:0·535wt%A1203:05wt%B203:115wt%ZnO0~15wt%Bi2O3:5590wt%但是，如上述专利文献1，在具有由Ag电极构成的2层的母线电极(受光面侧电极)的太阳电池单元的情况下，包含于上层母线电极形成用的Ag电极浆料的玻璃料在电极烧制时在上层侧的母线电极的表面流动，例如，在于上层侧的母线电极焊接引线等的情况下，存在阻碍焊接浸润性这样的问题。另外，上层侧的母线电极形成用的Ag电极浆料中包含的玻璃料过量向下层侧的母线电极流动时，阻碍了下层侧的母线电极和Si基板之间的欧姆接触，使太阳电池单元的转换效率可能降低。进而，存在如下问题点，Ag电极浆料烧制时，在从下层侧的母线电极(Ag电极)产生的气体(粘合剂的分解气体及燃烧气体等)排尽之前，上层侧的母线电极的烧结完成时，由于上述的气体而产生气泡。另外，专利文献2的电极浆料涉及一种Ag/Al电极，对用于本申请中使用的Ag电极浆料的无铅玻璃料不是提供有用的信息，在作为太阳电池单元的受光面侧电极形成Ag电极的情况性下，得到特性更良好的太阳电池单元的方法，专利文献2没有指出确实实际情况。专利文献1日本特开2006-339342号公報专利文献2日本特开2006-313744号公報
发明内容本发明鉴于上述情况而创立的，其目的在于，提供一种可以得到具备线电阻小的受光面侧电极的转换效率高的太阳电池单元的受光面侧电极形成用Ag电极浆料、使用其制造的特性良好的太阳电池单元、及其制造方法，进而，即使将受光面侧电极制成二层结构的情况下，也可以减低受光面侧电极的线电阻，同时，提供一种可以不使下层侧的Ag电极(第一电极)和半导体基板的界面电阻上升，而可以得到转换效率高的太阳电池单元的Ag电极浆料、使用其制造的特性良好的太阳电池单元、及其制造方法。为了解决上述课题，本发明第一方面提供一种Ag电极浆料，其用于太阳电池单元的受光面侧电极的形成，该太阳电池单元具备半导体基板、配设于在所述半导体基板的相互对向的一对主面中作为受光面起作用的一主面的所述受光面侧电极和配设于另一主面的背面侧电极，所述Ag电极浆料含有(A)Ag粒子、(B)有机载体、(C)以SiO21317重量％B203:06重量％Bi2O3:6575重量％Al2O3J5重量％Ti02:l3重量％CuO:0.52重量％的范围包含Si02、B203、Bi203、A1203、TiO2、及CuO的无铅玻璃料。另外，第二方面的Ag电极浆料，其特征在于，在所述受光面侧电极具备烧制第一Ag电极浆料而成的第一电极、以及烧制形成于第一电极上的第二Ag电极浆料而成的第二电极的情况下，作为所述第二Ag电极浆料使用。另外，本发明第三方面提供一种太阳电池单元，其具备半导体基板、配设于所述半导体基板的相互对向的一对主面中作为受光面起作用的一主面的受光面侧电极、和配设于另一主面的背面侧电极，所述受光面侧电极具备烧制第一Ag电极浆料而成的第一电极、烧制形成于第一电极上的第二Ag电极浆料而成的第二电极，作为所述第二Ag电极浆料使用记载于第一或第二方面的Ag电极浆料。另外，本发明第四方面提供一种太阳电池单元的制造方法，太阳电池单元具备半导体基板、配设于所述半导体基板的相互对向的一对主面中作为受光面起作用的一主面的受光面侧电极、和配设于另一主面的背面侧电极，所述受光面侧电极具有具备烧制第一Ag电极浆料而成的第一电极、和烧制形成于所述第一电极上的第二Ag电极浆料而成的第二电极的结构，所述太阳电池单元的制造方法包括将第一Ag电极浆料以规定的图案赋予所述半导体基板上，形成所述第一电极用Ag电极浆料图案的工序；将第一或第二方面的Ag电极浆料以规定的图案赋予所述第一电极用Ag电极浆料图案上，形成所述第二电极用Ag电极浆料图案的工序；和同时烧制所述第一电极用Ag电极浆料图案和所述第二电极用Ag电极浆料图案的工序。本申请第一方面的Ag电极浆料用于太阳电池单元的受光面侧电极的形成，含有Ag粒子、有机载体、无铅玻璃料，其中，作为无铅玻璃料，以下述比例含有Si02、B203、Bi203、Al203、Ti02、及CuOSiO21317重量％B203:06重量％Bi2O3:6575重量％Al2O3J5重量％Ti02:l3重量％CuO:0.52重量％而且，该无铅玻璃料由于含有适量的CuO，所以，使电极的烧结开始延迟，并且，由于玻璃中含有适量的A1203、TiO2，故而难以结晶化，具有适度的流动性，在烧制工序中玻璃在半导体基板的界面适度流动。因此，防止在从Ag电极表面浮出玻璃而停留的状态下进行烧结，可以确保良好的焊接浸润性。另外，使用所述无铅玻璃料的本发明的Ag电极浆料通过烧制而形成的烧结体的电阻较低，作为太阳电池单元的受光面侧电极，可以形成线电阻低的电极。另外，在粘合剂分解气体等没有排尽之前，不进行烧结，可以防止气泡的产生。另外，如第二方面，在受光面侧电极具备烧制第一Ag电极浆料而成的第一电极和烧制形成于第一电极上的第二Ag电极浆料而成的第二电极的情况下，在将本发明的Ag电极浆料用作第二Ag电极浆料的情况下，用于本发明的Ag电极浆料的无铅玻璃料即使在烧制工序中在第一层的电极即第一电极中流动，也不会不妨碍作为第一层的电极的第一电极和半导体基板间的欧姆接触，因此，在第一电极和半导体基板之间可以确保良好的欧姆接触，可以得到转换效率高的太阳电池单元。因此，通过将本发明的Ag电极浆料用作第二电极形成用的Ag电极浆料，可以降低电极的线电阻，且由于可以不使第一电极(第一层的电极)和半导体基板的界面电阻上升，故而可以得到转换效率高的太阳电池单元。另外，在第一电极的粘合剂的分解气体及燃烧气体等排尽前，也可以防止第二电极先烧结而产生气泡等不良。另外，本发明的太阳电池单元，在受光面侧电极具备烧制第一Ag电极浆料而成的第一电极、和烧制形成于第一电极上的第二Ag电极浆料而成的第二电极的情况下，作为第二Ag电极浆料使用上述本发明的Ag电极浆料，因此，可以提供电极的线电阻低，且第一电极(第一层的电极)和半导体基板的界面电阻降低而转换效率提高，而且没有气泡等的缺陷、可靠性高的太阳电池单元。进而，本发明第四方面的太阳电池单元的制造方法，将第一Ag电极浆料以规定的图案赋予半导体基板上，形成第一电极用Ag电极浆料图案，同时，将第一方面的Ag电极浆料以规定的图案赋予第一电极用Ag电极浆料图案上，形成第二电极用的Ag电极浆料图案，之后，同时烧制第一电极用Ag电极浆料图案和第二电极用Ag电极浆料图案，因此，可以高效地制造电极的线电阻低、且第一电极和半导体基板的界面电阻低而转换效率高，而且没有气泡等缺陷、可靠性高的太阳电池单元。图1是使用本发明的Ag电极浆料形成受光面侧电极的太阳电池单元的平面图；图2是将图1的太阳电池单元的截面放大表示的图；图3是表示用本发明的实施例制作的接触电阻评价用半导体基板的结构的图。符号说明1半导体基板2η型杂质层3防反射膜10受光面侧电极11第一电极12第二电极20背面侧电极L电极间距离Z电极长度具体实施例方式[本发明的Ag电极浆料]本发明的Ag电极浆料为配合Ag粒子、无铅玻璃料、有机载体而成的电极浆料。在本发明的Ag电极浆料中使用的Ag粒子(Ag粉末)中，没有特别的限制，可以使用鳞片粉、球状粉、不定形粉、进而混合这些而成的粉等各种形状的粉。作为Ag粒子，优选平均粒径(D50)为20μm以下的粒子，特别优选平均粒径为0.110μm的粒子。另外，Ag粒子的平均粒径超过20μm时，由于在Ag电极浆料的印刷性上产生问题而不优选。另外，作为Ag粒子，可以单独使用上述的鳞片粉、球状粉、不定形粉等各种性状的粒子的粒径在上述的范围内不同的粒子等各种粒子，或者，也可以将这些粒子两种以上混合使用。另外，Ag粒子的配合比例在烧制前的浆料的状态下，相对Ag电极浆料整体，Ag粒子的比例优选为7092重量％的范围。这是因为，Ag粒子的比例不足70重量％时，导电性成分的比例过少，电极的烧制密度降低，Ag粒子的比例超过92重量％时，粘度显著提高，印刷性及涂布作业性变差。另外，用于本发明的Ag电极浆料的有机载体(例如将粘合剂树脂溶解于溶剂)没有特别的限制，目前，可以使用作为烧制型树脂组合物使用的具有热分解性的各种载体，例如可以举出甲基纤维素、乙基纤维素、羧甲基纤维素等纤维素电介体、聚乙烯醇类、聚乙烯基吡咯烷酮类、丙烯酸树脂、醋酸乙烯丙烯酸酯共聚物、聚乙烯醇缩丁醛等丁缩醛树脂电介体、苯酚改性醇酸树脂、进而油脂肪酸改性醇酸树脂那样的醇酸树脂等。这些树脂可以单独使用或混合两种以上使用。另外，作为构成上述有机载体(粘合剂树脂)的溶剂，通常，能够使用可以溶解上述粘合剂树脂的各种载体。另外，在本发明的Ag电极浆料中，优选将预先将粘合剂树脂溶解于溶剂的有机载体与Ag粒子、无铅玻璃料混合使用。另外，作为该溶剂，可以举出例如二噁烷、己烷、甲苯、乙基溶纤剂、环己酮、丁基溶纤剂、丁基溶纤剂醋酸酯、丁基卡必醇醋酸酯、二乙二醇二乙醚、双丙酮醇、松油醇、苯甲醇等。而且，在本发明的Ag电极浆料中，作为无铅玻璃料，使用将SiO2粉末、B2O3粉末、Bi2O3粉末、Al2O3粉末、TiO2粉末、CuO粉末按以下的比例配合的玻璃料SiO21317重量％B203:06重量％Bi2O3:6575重量％Al2O3J5重量％Ti02:l3重量％Cu0:0.52重量％另外，在本发明中，对无铅玻璃料的性状没有特别限定，可以使用球状及破碎粉状等各种性状的玻璃料。但是，无铅玻璃料的平均粒径(D50)优选在0.15μm的范围内。另外，无铅玻璃料的配合比例相对作为导电性粉末的Ag粒子100重量份，优选0.110重量份的范围。进而，通过烧制Ag电极浆料得到的电极不显示界面剥离，从为了不产生玻璃漂浮及焊接不良的观点来看，特别优选无铅玻璃料的配合比例为相对Ag粒子100重量份为15重量份的范围。另外，将无铅玻璃料的各成分如上所述进行限定的理由如下。将SiO2的比例限定在1317重量％的范围是因为，SiO2的比例不足13重量％时，玻璃的化学耐久性降低，作为Ag电极的耐湿性也劣化，SiO2的比例超过17重量％时，玻璃的软化点过高，容易在Ag电极的表面浮出玻璃，焊接浸润性显著劣化。将B2O3的比例设为06重量％是因为，B2O3的比例超过6重量％时，玻璃的软化点降低，且相对于玻璃的Ag的浸润性过良，作为第一层电极的第一电极中玻璃容易流动，阻碍第一电极和半导体基板的电气接触。另外，作为含有B2O3的玻璃的稳定性提高，但本发明的Ag电极浆料中也可不必含有B2O3。将Bi2O3的比例设定为6575重量％是因为，Bi2O3的比例不足65重量％时，玻璃的软化点变高，玻璃容易在Ag电极表面浮出的状态下停留，焊接浸润性显著劣化，超过75重量％时，玻璃的软化点降低，向第一层的第一电极和半导体基板的界面的流动量增加，阻碍Ag电极和半导体基板的电气接触。将Al2O3的比例设定为15重量％的范围是因为在Al2O3的比例不足1重量％时，玻璃容易结晶化，玻璃没有了的流动性，第二层的第二电极的焊接浸润性降低时，超过5重量％时玻璃的软化点温度上升，在该情况下，上层侧的第二电极的焊接浸润性降低。将TiO2的比例设定为13重量％是因为，在TiO2的比例在不足1重量％时，玻璃的稳定性变差，超过3重量％时玻璃容易结晶化，玻璃的流动性及稳定性降低。即，通过将TiO2的比例设为13重量％，可以确保高温域下的玻璃的流动性及玻璃的稳定性。另外，CuO在用近红外炉加热时，提高玻璃自身的热的吸収，可以实现效率良好进行加热的功能。而且，玻璃自体的热的吸收变高时，不定形的玻璃料暂时变为球状，与Ag粉的浸润变差，因此，可以讲Ag电极的烧结开始温度转换至高温侧。其结果是，可以防止在从第一层的第一电极产生的粘合剂的分解气体等排尽前，第二二层的第二电极的烧结完成时的气泡等的产生。将该CuO的比例设为0.52重量％是因为，CuO的比例不足0.5重量％时，玻璃自身的热的吸收效率不会变得那样高，超过2重量％时玻璃容易结晶化，玻璃的流动性降低，焊接浸润性容易劣化。本发明的Ag电极浆料例如可以在将上述的Ag粒子、有机载体、无铅玻璃料充分混合后，进而通过三个辊式粉碎机进行混炼处理，其后，可以通过减压脱泡进行制造。[本发明的太阳电池单元]图1是使用本发明的Ag电极浆料形成受光面侧电极的太阳电池单元的平面图，图2为将截面放大表示的图。在该太阳电池单元中，作为半导体基板1，使用通过使磷在厚度为500μm程度的P型Si半导体基板的一主面侧扩散而形成的、具备深度0.30.5μm程度的η型杂质层2的基板(Si半导体基板)。另外，在半导体基板1的作为受光面起作用的一主面(形成η型杂质层2的面)形成有防反射膜3。另外，作为防反射膜3，通常使用由SiNx、Si02、Ti02等材料构成的膜。而且，在该半导体基板1的形成有防反射膜3的面(一主面)形成有用于从η层杂质层2取出负(负的)电位的受光面侧电极10。受光面侧电极10具备通过涂布Ag电极浆料并烧接(焼t付ItS)而形成的下层侧的电极即第一电极11、通过涂布本发明的Ag电极浆料并烧接而形成的上层侧的电极即第二电极12。而且，第一电极11形成为贯穿防反射膜3到达η层杂质层2。另外，构成受光面侧电极10的下层侧第一电极11的主要目的是确保与半导体基板1的欧姆接触、即确保构成受光面侧电极10的上层侧的第二电极和半导体基板1间的电气接触。另外，构成受光面侧电极10的上层侧的第二电极12的主要目的是降低受光面侧电极10的线电阻。另外，在半导体基板1的与上述一主面对向的面(另一主面)上形成有用于从半导体基板1的另一主面侧取出正(正的)电位的背面侧电极20。背面侧电极20通过涂布以Al粉末为导电成分的Al电极浆料并进行烧接而形成。另外，作为背面电极20，可以使用局部为Ag电极的由Al和Ag构成电极。而且，构成上述受光面侧电极10的第一电极11使用含有Ag粒子、具有以下组成的无铅玻璃料、有机载体的第一Ag电极浆料形成。<第一Ag电极浆料中含有的无铅玻璃料的组成>5士02:21.2重量％Bi2O3:54·7重量％Ba0:18.0重量％B2O36.1重量％该第一Ag电极浆料也在例如充分混合了上述Ag粒子、有机载体、无铅玻璃料、及具有除去防反射膜功能的ZnO、TiO2,ZrO2等氧化物后，进而通过3个辊式粉碎机进行混炼处理，其后，可以通过减压脱泡进行制造。另外，作为本实施例的第一Ag电极浆料，可以使用以Ag粒子为7585重量％、有机载体为1015重量％、上述无铅玻璃料为14重量％、上述Zn0、Ti02、Zr02等氧化物为26重量％的比例含有的浆料。而且，构成受光面侧电极10的第二电极12使用含有Ag粒子、无铅玻璃料、有机载体的第二Ag电极浆料形成，作为该第二Ag电极浆料，可以使用如上述制造的本发明的Ag电极浆料。另外，受光面侧电极10在将上述的第一Ag电极浆料及第二Ag电极浆料通过丝网印刷法印刷为规定的图案后，通过在烧制炉中同时烧制而形成。第一及第二Ag电极浆料直接印刷在防反射膜3上并进行烧制，通过下层侧的第一电极11除去防反射膜3，确保第一电极11和半导体基板1(的n层杂质层2)的接触。另外，在受光面侧电极10，由于在模块组装时进行焊接，因此，构成受光面侧电极10的上层侧的第二电极12追求良好的焊接浸润性，同时，由含于第二电极12的玻璃在烧制时存在在第一电极11流动的情况，因此，需要不妨碍第一电极11和半导体基板(的n层杂质层2)的接触，但通过使用上述的第一及第二Ag电极浆料形成第一电极11及第二电极12，能够高效地制造具备可以满足上述要求的第一及第二电极的可靠性高的太阳电池单兀。S卩，由于在上述记载的第二Ag电极浆料中包含的无铅玻璃料含有适量的CuO，所以具有延缓电极的烧结开始的效果，并且，由于在玻璃中含有适量的Al203、Ti02，故而难以结晶化，具有适度的流动性。因此，在烧制时玻璃在第一电极侧及第一电极和半导体基板的界面侧适度流动。其结果是，玻璃难以在第二电极的表面浮出，得到良好的焊接浸润性。另外，可以防止在从第一电极排尽粘合剂分解气体等之前，第二电极烧结引起的气泡的产生。另外，第二Ag电极浆料中含有的无铅玻璃料即使在第一层的Ag电极中流动，由于不妨碍第一层的Ag电极和半导体基板间的欧姆接触，因此也不会降低结晶硅太阳电池单元的转换效率，不会产生气泡等。因此，通过将本发明的电极浆料作为第二层用的Ag电极浆料使用，可以降低电极的线电阻，同时，可以防止第一层的第一电极和半导体基板的界面电阻的上升。其结果可以得到转换效率高的太阳电池单元。实施例1下面公示本申请发明的实施例，将本发明的特征进一步详细说明。<Ag电极浆料的调制〉将Ag粒子100重量份、如表1所示的无铅玻璃料2.5重量份、使乙基纤维素溶解于松油醇的有机载体20重量份配合，充分混合后，通过三个辊式粉碎机进行混炼处理，其后，通过减压脱泡，调制第二电极形成用的第二Ag电极浆料。另外，表1试料编号19的无铅玻璃料为满足本发明的要件的无铅玻璃料，试料编号1018为不满足本发明的要件的比较例的无铅玻璃料。[表1]9<table>tableseeoriginaldocumentpage10</column></row><table>另外，作为用于形成构成受光面侧电极10的第一电极11的第一Ag电极浆料，使用相对于Ag粉100重量％添加了20重量％的有机载体的Ag电极浆料，该有机载体是使硼娃酸酸铋钡系玻璃料2.5重量％、Zn05.0重量％、乙基纤维素溶解于松油醇的有机载体。而且，在该实施例中，使用如上述调制的第一及第二Ag电极浆料，制造图1及2所示的具备由第一电极11及第二电极12构成的2层结构的受光面侧电极10的太阳电池单兀。另外，作为半导体基板1，使用具备作为防反射膜的SiNx膜的硅基板。另外，在形成受光面侧电极10时，如下形成第一电极11及第二电极12而得到由第一电极11及第二电极12形成的2层结构的受光面侧电极10卩，以规定的图案印刷第一电极形成用的Ag电极浆料后，在其上面以规定的图案印刷第二电极形成用Ag电极浆料，然后在750°C下同时烧制，由此形成第一电极11及第二电极12。对于如上述制造的太阳电池单元的受光面侧电极10，对焊接浸润性、与半导体基板1的接触电阻、有无产生气泡进行调查，对其特性进行评价。其结果如表1所示。另外，表1的各试料编号的试料(太阳电池单元)为使用配合了对应于表1的试料编号的无铅玻璃料的第二Ag电极浆料形成受光面侧电极10的第二电极12的试料，试料编号19的试料(太阳电池单元)为满足本发明的要件的太阳电池单元，试料编号1018的试料为不满足本发明的要件的比较例的太阳电池单元。另外，在焊接浸润性的评价中，将各试料编号的试料在设定为220°C的焊接槽中浸渍2秒钟，其后，对焊接浸渍面进行目视观察，将70%以上的区域焊接浸润的试料标记为〇(合格)、不足70%的试料标记为X(不合格)。另外，在与半导体基板1的接触电阻的评价中，首先，分别准备通过与各试料编号的试料相同的工序将第一电极形成用Ag电极浆料和第二电极形成用Ag电极浆料印刷、烧结于半导体基板上而形成的具有受光面侧电极的接触电阻评价用的半导体基板、以及各试料。图3是表示该接触电阻评价用的试料(半导体基板)的结构的图，在基板(半导体基板)1的表面具有隔开如图3所示的规定的间隔(电极间距离L)配设有多个受光面侧电极10的结构。接着，通过TLM法测定接触电阻值。具体而言，由于在电极间距离L和测定电阻值R之间满足下述式(1)的关系，因此，在各种条件下对电极间距离L和测定电阻值R的关系进行评价，通过向L—0外插，对接触电阻RC进行评价。R=(L/Z)XRsh+2Rc......(1)(在此，R测定电阻值、L电极间距离、Rsh:n层Si的片电阻、Z邻接的受光面侧电极的相互对向的部分的长度(电极长度)、Rc为接触电阻。)通过以上的评价，将接触电阻Rc为3Q以下的电阻标记为〇(合格)，将超过3Q的电阻标记为X(不合格)。另外，在有无气泡产生的评价中，将各试料编号的试料用光学显微镜进行确认，观察受光面侧电极10的表面的气泡的有无，将没有气泡产生的试料标记为〇(合格)、产生气泡的试料标记为X(不合格)。如表1所示，在试料编号19的试料(即包含在本发明的技术范围的实施例19的太阳电池单元)的情况下，使用在构成受光面侧电极的第二电极的形成中配合试料编号19的无铅玻璃料的第二Ag电极浆料，可以确认焊接浸润性良好，接触电阻低、且也没有气泡产生。与此相对，在使用不含CuO的无铅玻璃料的试料编号10(比较例1)的试料的情况下，确认在受光面侧电极产生气泡。另外，在使用含有CuO超过本发明的范围(0.52重量％)3重量％的玻璃料的试料编号11(比较例2)的试料的情况下，确认受光面侧电极的焊接浸润性变差。另外，在使用构成无铅玻璃料的A1203、Ti02任一种在本发明的范围以外的无铅玻璃料的试料编号1215(比较例36)的试料的情况下，玻璃均容易结晶化，确认在第二电极的表面玻璃停留，焊接浸润性低下。另外，在试料编号14(比较例5)的试料的情况下，Bi203也超过本发明的范围。另外，在使用Si02的含量超过本发明的范围的无铅玻璃料的试料编号16(比较例7)的试料的情况下，确认玻璃的软化点变高，在第二电极的表面玻璃停留，焊接浸润性降低。另外，在使用B203的含量超过本发明的范围的无铅玻璃料的试料编号17(比较例8)的试料的情况下，及使用Bi203的含量超过本发明的范围的无铅玻璃料的试料编号18(比较例9)的试料的情况下，确认玻璃的软化点低，在第一层的第一电极和半导体基板的界面玻璃流动，接触电阻变高。另外，在试料编号18(比较例9)的试料的情况下，超过本发明的范围。通过以上的结果，通过使用本发明的Ag电极浆料，确认可以有效制造具备焊接浸润性良好，接触电阻低，不产生气泡的受光面侧电极的可靠性高的太阳电池单元。另外，本发明不限定于上述实施例，在涉及构成太阳电池单元的的半导体基板的材质及构成、Ag电极浆料的烧制条件、无铅玻璃料的组成等本发明的范围内可以施加各种应用及变形。工业上的可利用性如上所述，根据本发明，可以有效制造具备焊接浸润性良好、接触电阻低、没有气泡产生的受光面侧电极的可靠性高的太阳电池单元。因此，本申请发明可以广泛使用于涉及经由涂布导电性浆料并通过烧接方法而形成受光面侧电极的工序制造的太阳电池单元的
技术领域：
。权利要求一种Ag电极浆料，其特征在于，用于太阳电池单元的受光面侧电极的形成，该太阳电池单元具备半导体基板、配设于在所述半导体基板的相互对向的一对主面中作为受光面起作用的一主面的所述受光面侧电极和配设于另一主面的背面侧电极，所述Ag电极浆料含有(A)Ag粒子、(B)有机载体、和(C)以SiO213～17重量％B2O30～6重量％Bi2O365～75重量％Al2O31～5重量％TiO21～3重量％CuO0.5～2重量％的范围包含SiO2、B2O3、Bi2O3、Al2O3、TiO2及CuO的无铅玻璃料。2.如权利要求1所述的Ag电极浆料，其特征在于，在所述受光面侧电极具备烧制第一Ag电极浆料而成的第一电极以及烧制形成于第一电极上的第二Ag电极浆料而成的第二电极的情况下，作为所述第二Ag电极浆料使用。3.一种太阳电池单元，其具备半导体基板、配设于在所述半导体基板的相互对向的一对主面中作为受光面起作用的一主面的受光面侧电极和配设于另一主面的背面侧电极，其特征在于，所述受光面侧电极具备烧制第一Ag电极浆料而成的第一电极以及烧制形成于第一电极上的第二Ag电极浆料而成的第二电极，其中，作为所述第二Ag电极浆料使用权利要求1或2所述的Ag电极浆料。4.一种太阳电池单元的制造方法其特征在于，所述太阳电池单元具备半导体基板、配设于在所述半导体基板的相互对向的一对主面中作为受光面起作用的一主面的受光面侧电极和配设于另一主面的背面侧电极，所述受光面侧电极具有具备烧制第一Ag电极浆料而成的第一电极以及烧制形成于所述第一电极上的第二Ag电极浆料而成的第二电极的结构，所述太阳电池单元的制造方法包括将第一Ag电极浆料以规定的图案赋予所述半导体基板上，形成所述第一电极用Ag电极浆料图案的工序；将权利要求1或2所述的Ag电极浆料以规定的图案赋予所述第一电极用Ag电极浆料图案上，形成所述第二电极用Ag电极浆料图案的工序；和同时烧制所述第一电极用Ag电极浆料图案和所述第二电极用Ag电极浆料图案的工序。全文摘要本发明提供一种可以得到具备线电阻小的受光面侧电极的转换效率高的太阳电池单元的、受光面侧电极形成用Ag电极浆料、使用其制造的特性良好的太阳电池单元、及其制造方法。作为用于形成受光面侧电极(10)的Ag电极浆料，含有(A)Ag粒子、(B)有机载体、(C)以SiO213～17重量％、B2O30～6重量％、Bi2O365～75重量％、Al2O31～5重量％、TiO21～3重量％、CuO0.5～2重量％的范围包含SiO2、B2O3、Bi2O3、Al2O3、TiO2、及CuO的无铅玻璃料。将所述Ag电极浆料用于具备第一电极(11)、形成于第一电极上的第二电极(12)的受光面侧电极(10)的第二电极的形成。文档编号H01L31/04GK101809758SQ200880108438公开日2010年8月18日申请日期2008年8月18日优先权日2007年9月27日发明者川口义博申请人:株式会社村田制作所