专利名称：晶粒取放机构的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种取放晶粒的机构，尤指一种可准确且快速定位、避免摆臂抖震、晃 动，且结构简单、故障率低的机构。
背景技术：
利用摆臂取放元件的装置被广泛应用于不同技术领域制程中，就半导体制程而 言，必须利用到摆臂拾取集成电路，由于切割后的集成电路体积极小，因此用来拾取集成电 路的摆臂的定位必须十分精准，而为了提高生产率，又必须兼顾摆臂位移速度。一般半导体业者是采用四连杆机构带动摆臂，但是四连杆机构容易故障，且定位 性差、容易抖震、晃动，且连杆关节连结处容易故障。请参阅图1所示一种现有技术，其主要是由凸轮11推动从动件12，并使用回复弹 簧13顶推所述的从动件12，使所述的从动件12进行往复移动，但在进行过程中会因为所 述的凸轮11受到所述的回复弹簧13顶推所述的从动件12的阻力，因而降低所述的从动件 12往复移动的作动速度。请参阅图2所示中国台湾新型专利公告号582460“共轭凸轮取放机构”，其观念是 由传统的共轭凸轮21进行改良，但其缺点在于，其连结杆22的两端是枢接于主动连杆23 以及从动连杆24上，使所述的连结杆22与所述的主动连杆22之间的主动滚轮25可以旋 转，同样地，所述的连结杆22与所述的从动连杆24之间的从动滚轮26也可以旋转，但是， 这种结构使用一段时间后，所述的主动滚轮25以及从动滚轮26会被磨耗，使得精度下降， 且维修不易。
发明内容
有鉴于现有技术的缺失，本发明提出一种取放晶粒机构，可准确且快速定位、避免 摆臂抖震、晃动，且结构简单、故障率低。为实现上述目的，本发明采用的技术方案是一种晶粒取放机构，其特征在于，包含一固定结构，具有相对的一第一侧以及第二侧；一第一连杆，具有一第一活动端、一第一传动件以及一第一尾端，所述的第一传动 件设置在所述的第一连杆上，所述的第一尾端枢接于所述的固定结构的第一侧上，所述的 第一活动端在所述的固定结构的第二侧；一第二连杆，具有一第二活动端、一第二传动件以及一第二尾端，所述的第二传动 件设置在所述的第二连杆上，所述的第二尾端枢接于所述的固定结构的第一侧上，所述的 第二活动端在所述的固定结构的第二侧；一凸轮，设置在所述的第一传动件以及所述的第二传动件之间；以及一弹性件，连接所述的第一连杆与所述的第二连杆；其中，凭借所述的凸轮的转动，以分别推动所述的第一传动件以及所述的第二传动件，并凭借所述的弹性件拉动，以使所述的第一连杆以及所述的第二连杆产生周期性摆 动，凭借所述的第一活动端驱动一摆臂产生摆动，并作所述的晶粒的取放。与现有技术相比较，本发明具有的有益效果是本发明提供的晶粒取放机构，利 用弹性件吸收凸轮转动时所述的第一传动件以及所述的第二传动件的间距离的变化量，此 外，由于使用所述的弹性件，因此在所述的第一连杆以及第二连杆并不需要轴承，因此不会 影响结构的精度，可准确且快速定位、避免摆臂抖震、晃动，且其结构简单、故障率低，再配 合偏心轮组，可驱动摆臂作X、Y、Z三轴向摆动。
图1现有利用凸轮以及回复弹簧驱动从动件的结构示意图；图2是现有中国台湾新型专利公告号582460的结构示意图；图3是本发明实施例的立体结构图；图4是图3实施例除去固定结构以及偏心轮组的立体结构图；图5至图7是分别显示当凸轮旋转时，所述的摆臂位置变化的俯视图。附图标记说明11_凸轮；12-从动件；13-回复弹簧；21-共轭凸轮；22-连结杆； 23-主动连杆；24-从动连杆；25-主动滚轮；26-从动滚轮；30-晶粒取放机构；31-固定结 构；311-第一侧；312-第二侧；32-第一连杆；321-第一活动端；322-第一传动件；323-H 一尾端；324-第一转动机构；33-第二连杆；331-第二活动端；332-第二传动件；333-第 二尾端；334-第二转动机构；34-凸轮；341-轴心；342-中垂线；343-水平线；35-弹性 件；36-传动机构；361-滑块；362-滑轨；37-摆臂；371-嘴部；372-真空装置；38-偏心轮 组；381-弹性装置；382-偏心轮；383-驱动装置；384-基座；rl_第一半径；r2_第二半径； r3-第三半径；r4-第四半径；θ 1、θ 2-角度。
具体实施例方式以下将参照随附的图式来描述本发明为达成目的所使用的技术手段与功效，而以 下图式所列举的实施例仅为辅助说明，以利贵审查委员了解，但本案的技术手段并不限于 所列举图式。请参阅图3至图5所示，本发明提出的一种晶粒取放机构30，包含一固定结构31、 一第一连杆32、一第二连杆33、一凸轮34以及一弹性件35。所述的固定结构31具有相对的一第一侧311以及第二侧312。所述的第一连杆32具有一第一活动端321、一第一传动件322以及一第一尾端 323，所述的第一传动件322设置在所述的第一连杆32上，所述的第一尾端323枢接于所 述的固定结构31的第一侧311上，所述的第一活动端321在所述的固定结构31的第二侧 312 ；所述的第一传动件322位于所述的第一活动端321与所述的第一尾端323之间；所述 的第一连杆32具有一第一转动机构324，设置在所述的第一尾端323，所述的第一转动机构 324枢接于所述的固定结构31，在本实施例中，所述的第一转动机构324为轴承。所述的第二连杆33具有一第二活动端331、一第二传动件332以及一第二尾端 333，所述的第二传动件332设置在所述的第二连杆33上，所述的第二尾端333枢接于所 述的固定结构31的第一侧311上，所述的第二活动端331在所述的固定结构31的第二侧
5312 ；所述的第二传动件332位于所述的第二活动端331与所述的第二尾端333之间；所述 的第二连杆33具有一第二转动机构334，设置在所述的第二尾端333，所述的第二转动机构 334枢接于所述的固定结构31，在本实施例中，所述的第二转动机构334为轴承；所述的第 一连杆32以及第二连杆33概呈平行。所述的凸轮34设置在所述的第一传动件322以及所述的第二传动件332之间； 所述的凸轮34是通过一驱动装置驱动作全周或180度半周往复旋转；所述的凸轮34的外 围是弧形，所述的凸轮具有一轴心341，对应所述的轴心341，所述的凸轮34具有一中垂线 342以及一水平线343，如图5所示，对应所述的轴心341的中垂线342上，所述的轴心341 到所述的凸轮34的外围两端具有一第一半径rl、一第二半径r2，所述的第一半径rl不等 于所述的第二半径r2，如图所示，则所述的第一半径rl小于所述的第二半径r2，对应所述 的轴心341的水平线343上，所述的轴心341到所述的凸轮34的外围两端具有一第三半径 r3以及一第四半径r4，所述的第三半径r3约略等于所述的第四半径r4。对应轴心341的 所述的中垂线342以及水平线343，所述的凸轮34的外围两端的距离并不相等，即，第一半 径rl与一第二半径r2的加总距离，第三半径r3以及一第四半径r4的加总距离，两者并不 相等。所述的弹性件35连接所述的第一连杆32与所述的第二连杆33 ；第一连杆32以及 所述的第二连杆33凭借所述的弹性件35的拉力，使所述的第一传动件322以及第二传动 件332抵靠在所述的凸轮34的外围。在本实施例中，所述的弹性件35的一端枢接于所述 的第二连杆33的第二活动端331上，所述的弹性件35的另一端枢接于所述的第一连杆32 上，所述的弹性件35的另一端在第一连杆32位置，在所述的第一活动端321以及所述的第 二传动件332之间。所述的晶粒取放机构30更包括一传动机构36，所述的传动机构包括一滑块361、 一滑轨362，所述的滑块361的其中一端与所述的第一连杆32的第一活动端321枢接，所 述的滑轨362是与所述的滑块361相互嵌合，且所述的滑轨362的一端连接于一摆臂37尾 端，所述的滑块361可由所述的第一活动端321驱动在所述的滑轨362上往复位移，进而驱 动所述的滑轨362以及所述的摆臂37同步摆动。所述的摆臂37具有一嘴部371，所述的嘴部371连接一真空装置372，通过所述的 真空装置372提供负压，使所述的嘴部371具有吸力。在所述的晶粒取放机构30进行晶 粒取放的过程中，所述的摆臂37是摆动至预定吸取或摆放晶粒的位置，以进行晶粒取放。 例如在预定吸取晶粒的位置处，凭借所述的嘴部371将预定吸取的晶粒吸取至所述的嘴部 371上，的后再移动至预定摆放晶粒的位置，将嘴部371上吸取的晶粒放置在预定摆放晶粒 的位置。在半导体制程而言，预定吸取的晶粒是指在晶圆上被切割后的晶粒，而摆放晶粒的 位置是指晶粒分类需要被摆放的分类盒。 所述的晶粒取放机构30更包括一偏心轮组38 (如图3所示)，所述的偏心轮组38 设置在一基座384上，所述的偏心轮组38包括一弹性装置381、至少一偏心轮382以及一驱 动装置383，所述的弹性装置381设置在所述的摆臂37尾端；所述的偏心轮382抵靠在所 述的弹性装置381的顶部；所述的驱动装置383是用来驱动所述的偏心轮382转动，所述的 偏心轮382转动时可压制所述的弹性装置381上下往复位移，并同步驱动所述的摆臂37上 下往复位移。
此外，如图4所示，所述的凸轮34与所述的第一传动件322以及第二传动件332 是以点对点方式接触，可以增加摆臂37摆动时的精度，若不使用所述的第一传动件322以 及第二传动件332，则所述的凸轮34的外围将抵靠所述的第一连杆32、第二连杆33，以进行 凸轮34与两连杆32、33之间面的接触，摆臂37摆动时的精度无法满足晶粒取放机构30的 需求，所以需使用所述的第一传动件322以及第二传动件332与所述的凸轮34抵靠。需要注意的是，在凸轮34作全周或180度半周往复旋转时，若凸轮34直接抵靠两 连杆32、33，会使凸轮34受到极大的磨耗，在使用一段时间之后，将使摆臂37摆动时的精度 下降。因此，本发明使用第一传动件322以及第二传动件332，分别以枢接方式设置在第一 连杆32以及第二连杆33上，即第一传动件322以及第二传动件332为滚子，在凸轮34作 全周或180度半周往复旋转时，凸轮34抵靠所述的第一传动件322以及第二传动件332，并 带动所述的第一传动件322以及第二传动件332转动，凭借所述的第一传动件322以及第 二传动件332的转动，将使凸轮34的磨耗减少，即可维持摆臂37摆动时的精度。请参阅图5至图7，分别显示当所述的凸轮34被驱动旋转不同角度时，所述的摆臂 37位置的变化；当所述的凸轮34被驱动旋转至图5所示状态时，所述的第一传动件322以 及第二传动件332分别抵靠在所述的凸轮34的第一半径rl以及第二半径r2外围两侧，所 述的摆臂37则偏摆一定角度θ 1至第一位置；当所述的凸轮37旋转90度，如图6所示，所 述的第一连杆32、第二连杆33以及摆臂37呈现平行状态，此时，所述的第一传动件322以 及第二传动件332分别抵靠在所述的凸轮34的第四半径r4以及第三半径r3外围两侧；当 所述的凸轮34继续旋转90度，如图7所示，所述的第一传动件322以及第二传动件332分 别抵靠在所述的凸轮34的第二半径r2以及第一半径rl外围两侧，所述的摆臂37则偏摆 一定角度θ 2至第二位置；当所述的凸轮34持续被驱动作单方向全周连续旋转，或作180 度半周往复旋转时，所述的摆臂37可在所述的第一位置以及第二位置间往复摆动，至于所 述的摆臂37摆动的角度θ 1、θ 2，则依所述的凸轮34尺寸设计不同而异，凭借所述的凸轮 34的转动，以分别推动所述的第一传动件322以及所述的第二传动件332，并凭借所述的弹 性件35拉动，以使所述的第一连杆32以及所述的第二连杆33产生周期性摆动，凭借所述 的第一活动端32驱动所述的摆臂37产生摆动，而在所述的摆臂37摆动的同时，图3所示 所述的偏心轮组38也同时作动，因此，可驱动所述的摆臂37做X、Y、Z三轴向摆动，如此达 到取放晶粒的目的。综上所述，本发明提供的晶粒取放机构，利用弹性件吸收凸轮转动时所述的第一 传动件以及所述的第二传动件的间距离的变化量，此外，由于使用所述的弹性件，因此在所 述的第一连杆以及第二连杆并不需要轴承，因此不会影响结构的精度，可准确且快速定位、 避免摆臂抖震、晃动，且其结构简单、故障率低，再配合偏心轮组，可驱动摆臂作X、Y、Z三轴 向摆动。以上说明对本发明而言只是说明性的，而非限制性的，本领域普通技术人员理解， 在不脱离权利要求所限定的精神和范围的情况下，可作出许多修改、变化或等效，但都将落 入本发明的保护范围之内。
权利要求
一种晶粒取放机构，其特征在于，包含一固定结构，具有相对的一第一侧以及第二侧；一第一连杆，具有一第一活动端、一第一传动件以及一第一尾端，所述的第一传动件设置在所述的第一连杆上，所述的第一尾端枢接于所述的固定结构的第一侧上，所述的第一活动端在所述的固定结构的第二侧；一第二连杆，具有一第二活动端、一第二传动件以及一第二尾端，所述的第二传动件设置在所述的第二连杆上，所述的第二尾端枢接于所述的固定结构的第一侧上，所述的第二活动端在所述的固定结构的第二侧；一凸轮，设置在所述的第一传动件以及所述的第二传动件之间；以及一弹性件，连接所述的第一连杆与所述的第二连杆；其中，凭借所述的凸轮的转动，以分别推动所述的第一传动件以及所述的第二传动件，并凭借所述的弹性件拉动，以使所述的第一连杆以及所述的第二连杆产生周期性摆动，凭借所述的第一活动端驱动一摆臂产生摆动，并作所述的晶粒的取放。
2.根据权利要求1所述的晶粒取放机构，其特征在于所述的凸轮的外围是弧形，所述 的凸轮具有一轴心，对应所述的轴心的中垂线以及水平线，所述的凸轮的外围两端的距离 不相等。
3.根据权利要求1所述的晶粒取放机构，其特征在于所述的凸轮的外围是弧形，所述 的凸轮具有一轴心，对应所述的轴心的中垂线上，所述的轴心到所述的凸轮的外围两端具 有一第一半径以及一第二半径，所述的第一半径不等于所述的第二半径。
4.根据权利要求1所述的晶粒取放机构，其特征在于所述的凸轮的外围是弧形，所述 的凸轮具有一轴心，对应所述的轴心的水平线上，所述的轴心到所述的凸轮的外围两端具 有一第三半径以及一第四半径，所述的第三半径等于所述的第四半径。
5.根据权利要求1所述的晶粒取放机构，更包括一传动机构，所述的传动机构枢接所 述的第一连杆的第一活动端以及所述的摆臂的尾端。
6.根据权利要求5所述的晶粒取放机构，其特征在于所述的传动机构包括一滑块，所述的滑块的其中一端与所述的第一连杆的第一活动端枢接；以及一滑轨，是与所述的滑块相互嵌合，且所述的滑轨的一端连接于所述的摆臂尾端，所述 的滑块可由所述的第一活动端驱动在所述的滑轨上往复位移，进而驱动所述的滑轨以及所 述的摆臂同步摆动。
7.根据权利要求1所述的晶粒取放的机构，其特征在于进一步包括一偏心轮组，所述 的偏心轮组包括一弹性装置，其设置在所述的摆臂尾端；至少一偏心轮，其抵靠在所述的弹性装置的顶部；一驱动装置，是用来驱动所述的偏心轮转动，所述的偏心轮转动时可压制所述的弹性 装置上下往复位移，并同步驱动所述的摆臂上下往复位移。
8.根据权利要求7所述的晶粒取放机构，其特征在于所述的偏心轮组设置在一基座上。
9.根据权利要求1所述的晶粒取放机构，其特征在于所述的第一传动件位于所述的 第一活动端与所述的第一尾端之间，所述的第二传动件位于所述的第二活动端与所述的第二尾端之间。
10.根据权利要求1所述的晶粒取放机构，其特征在于所述的第一连杆具有一第一转 动机构，设置在所述的第一尾端，所述的第二连杆具有一第二转动机构，设置在所述的第二 尾端，所述的第一转动机构以及所述的第二转动机构枢接于所述的固定结构。
11.根据权利要求10所述的晶粒取放机构，其特征在于所述的第一转动机构以及所 述的第二转动机构为轴承。
12.根据权利要求1所述的晶粒取放机构，其特征在于所述的第一连杆以及所述的第 二连杆凭借所述的弹性件的拉力，使所述的第一传动件以及第二传动件抵靠在所述的凸轮 的外围。
13.根据权利要求1所述的晶粒取放机构，其特征在于所述的第一连杆以及第二连杆概呈平行。
14.根据权利要求1所述的晶粒取放机构，其特征在于所述的凸轮是通过一驱动装置 驱动作全周连续旋转。
15.根据权利要求1所述的晶粒取放机构，其特征在于所述的凸轮是通过一驱动装置 驱动作180度半周往复旋转。
16.根据权利要求1所述的晶粒取放机构，其特征在于所述的摆臂具有一嘴部，所述 的嘴部连接一真空装置，通过所述的真空装置提供负压，使所述的嘴部具有吸力。
全文摘要
本发明是一种取放晶粒机构，包含一固定结构、一第一连杆、一第二连杆以及一弹性件连接所述的第一连杆以及第二连杆，所述的固定结构具有一第一侧以及第二侧，所述的第一连杆具有一第一活动端在所述的第二侧、一第一尾端枢接于所述的第一侧，以及一第一传动件设置在所述的第一连杆上，所述的第二连杆具有一第二活动端在所述的第二侧、一第二尾端枢接于所述的第一侧，以及一第二传动件设置在所述的第二连杆上，所述的第一传动件以及第二传动件间设有一凸轮，由所述的凸轮转动推动所述的第一传动件以及第二传动件，并由所述的弹性件拉动所述的第一连杆以及第二连杆周期性摆动，由所述的第一活动端驱动一摆臂产生摆动并作晶粒的取放。
文档编号H01L21/00GK101882563SQ20091013768
公开日2010年11月10日 申请日期2009年5月7日 优先权日2009年5月7日
发明者杨天德 申请人:旺矽科技股份有限公司