专利名称：处理设备、输送控制装置以及输送控制方法
技术领域：
本发明涉及一种具有在多个处理装置之间存在多个基板等被输送物的输送路径时，在这些输送路径上输送被输送物的输送单元的处理设备、控制该处理设备的输送单元的输送控制装置、控制该处理设备的输送单元的输送控制方法。
背景技术：
目前，具有这样一种处理设备在多个处理装置之间存在多个具有基板等被输送物的分支或合流的输送路径，并具有在这些输送路径上输送被输送物的输送单元，使多个被输送物对应于一个输送单元。
作为具有存在这样的分支或合流的输送路径的处理设备，一般是在各层设置有处理装置的房间内具有在各层之间升降的升降机，横跨各个处理装置之间对每个贮存箱输送被输送物的处理设备。
此外，作为一片一片地输送基板等被输送物的薄板输送的处理设备，如在专利文献1中记载的那样，提出了一种在各层设置有处理装置的房间内具有在各层之间升降的升降机，横跨各处理装置之间输送被输送物的处理设备。
此外，如在专利文献2中记载的那样，提出了这样一种多级结构的处理设备，该多级结构的处理设备具有具有升降功能的薄板输送车、以及进行该薄板输送车以及处理装置之间的被输送物传递的装载端口。在该处理设备中，还可以进行垂直地排列处理装置的节省安装空间的布局。
并且，如在专利文献3中记载的那样，提出了这样一种处理设备，该处理设备具有可以连续地进行输送的薄板输送机；以及设置在该薄板输送机以及处理装置之间，能够保管被输送物的保管架。
并且，在这样的处理设备中，为了实现高效的处理，关于将哪个被输送物输送给哪个处理装置，需要恰当地控制输送单元。
在现有的输送控制方法中，输送单元，按照到达该输送单元的顺序，根据到达时刻、输送时间以及等待时间等预约的顺序，或者按照根据负荷状况等预先调度的顺序，输送被输送物。
例如，在专利文献4中公开了一种使用以下技术的输送装置，亦即，在可以通过多个输送路径将被输送物输入到加工处理装置的设备中，在短时间内选择最佳的运行调度，由此使输送钢板在各个设备中的滞留成为最小的限度，来提高各个处理设备的运行效率。该输送装置，具有在生成设置在各个输送路径中的输送装置的运行调度时，一边修正已生成的调度的不良点一边生成多个调度，从多个调度中选择最佳的调度的运行调度装置。
此外，在专利文献5中提出了一种与下述这样的服务单元的调度有关的技术，该服务单元在对被输送物进行预定处理的多阶段工序中，根据来自各个工序的服务请求进行预定服务。该技术能够进行使整个系统的处理效率优先的调度。即，通过累计等待时间计算部对每个被输送物计算出在各个工序中的等待时间的累计，然后，关于处于等待状态的各个服务请求，通过允许等待时间计算部求出提出了服务请求的工序中的处理时间和每个工序的处理时间的最大值的偏差。并且，例如，将与紧急度相对应的修正值输入优先度修正值输入部。然后，通过优先度计算部求出优先度，按照该优先度选择一个服务请求。
并且，在专利文献6中，公开了一种以按照被制造物的到达顺序进行处理的先入先出方式为基本的，要解决在工期不稳定的基础上生产量降低等课题的半导体工厂的物流控制装置。在该物流控制装置中，作为延迟时间计算当前时刻和基准时刻的差，所述当前时刻是前级的物流控制单位的处理结束时刻，所述基准时刻是基于根据理论工期和实际的处理时间的比计算出的处理计划时间而计算出的时刻。然后，该物流控制装置通过从该延迟时间最大的被制造物开始优先进行处理，这样可以使被制造物的工期、单位时间的生产量稳定。
此外，在专利文献7中，公开了一种具有一边进行路径选择，一边使在制品、产品等被输送物在几个工序之间流动的多个工序的物流控制方法。在该物流控制方法中，设定以下的状态方程式使用在当前的各个工序中正在处理以及进行等待的被输送物数量的信息、以及在预定时间内可以向下一个工序输送的被输送物的信息，根据向下一个工序的输送指令预测下一时刻的各个工序的材料数量。根据使关于各个工序的被输送物数量以及控制指令的评价函数为最小的解，来求出输送指令值。对于该输送指令为正值且大于预定的值，并且被输送物是可输送的，输出输送指令，特别是在路径的分支点或合流点，对输送指令值最大的，输出输送指令。
专利文献1特开平07-022488号公报 专利文献2特许第4209572号公报 专利文献3特开2005-167083号公报 专利文献4特开平06-328112号公报 专利文献5特开2000-033542号公报 专利文献6特开平9-123041号公报 专利文献7特许第3400851号公报
发明内容
但是，在所述对每个贮存箱进行输送的现有的处理设备中，因为当在贮存箱内没有插入一定数量的被输送物时不进行输送，所以存在在制品量增加，研制周期变长的问题。
此外，在垂直地排列在专利文献1中记载的处理装置时，因为是薄板输送，所以存在升降机的输送次数变多，升降动作次数和升降动作距离变长的问题。
此外，在专利文献2中记载的具备薄板输送车的多级结构的处理设备中，存在由于薄板输送车的能力限制了输送能力的问题。并且，因为需要用于装载端口的空间，所以存在处理设备大型化的问题。
并且，在专利文献3中记载的具备薄板输送机的处理设备中，因为在全部的处理装置之前需要保管架的空间，所以存在处理设备大型化的问题。
此外，在所述专利文献4或专利文献5中记载的输送控制方法中，因为按照调度预先决定了各个被输送物的输送目的地(处理顺序)，所以即使在被输送物的输送目的地的负荷高的情况下，也按照已决定的输送顺序进行处理。因此，有可能产生被输送物的阻塞，难以缩短整个输送控制的生产节拍时间。
此外，在专利文献6或者专利文献7中记载的输送控制装置或方法中，特别是在每次输送一个被输送物的所谓的薄板输送线中，需要进行运算处理的数据量巨大。因此，因为无法缩短运算处理所需要的时间，所以难以缩短作为处理装置的生产节拍时间。此外，还需要大规模的运算处理装置。
因此，本发明的目的在于，提供一种不会大型化、在制品量不会增益、以及研制周期不会变长，可以确保足够的输送能力的处理设备。并且，本发明的目的在于，提供一种输送控制装置以及输送控制方法，即使在被输送物的输送目的地的负荷高的情况下，也可以缩短整个处理装置的生产节拍时间，即使在所谓的薄板输送线中也不会增大需要进行运算处理的数据量，并且不需要大规模的运算处理装置，运算处理所需要的时间也不会变长。
为了解决上述的课题，达成上述目的，本发明具有以下某种结构。
(结构1) 本发明的处理设备在多个处理装置之间存在多个被输送物的输送路径，并具有沿着所述输送路径输送被输送物的输送单元，使多个被输送物与一个所述输送单元对应，该处理设备具备升降单元，该升降单元具有跨越所述多个输送单元之间使被输送物升降的功能，所述输送单元，被配置成多级，在所述处理装置之间输送被输送物。所述升降单元具有缓冲存取功能，能够用作向所述处理装置投入前后的缓冲器。
(结构2) 本发明的处理设备，在具有结构1的处理设备中，对应同一级的所述输送单元并列配置进行连续的处理的所述处理装置，通过同一级的所述输送单元输送所述被输送物。
(结构3) 本发明的处理设备，在具有结构1的处理设备中，对应同一级的输送单元并列配置被推定为输送量多的处理装置，由同一级的所述输送单元输送所述被输送物。
(结构4) 本发明的输送控制装置，在多个处理装置之间存在多个被输送物的输送路径，具有沿着所述输送路径输送被输送物的输送单元，使多个被输送物与一个所述输送单元对应的处理设备中，控制所述输送单元，具备控制所述各输送单元的控制单元，所述控制单元，对各时刻的所述各被输送物的待机时间、所述各被输送物的输送目的地处理装置的负荷状态、以及所述各被输送物的输送区域内全体的负荷状态的各自进行预定的加权，使用所述加权计算所述各被输送物的输送处理的优先度，根据该计算结果决定应该将各被输送物中的哪个被输送物输送到哪个处理装置，根据该决定控制所述输送单元。
(结构5) 本发明的输送控制单元，在具有结构4的输送控制单元中，还对所述各被输送物的输送源处理装置的负荷状态以及各个输送单元的负荷状态的各自进行预定的加权。
(结构6) 本发明的输送控制装置，在具有结构4或5的输送控制装置中，登录一个加权模式图，对应输送区域内的状况变动所述加权模式图内部的值来使加权变动。
(结构7) 本发明的输送控制装置，在具有结构4或5的输送控制装置中，登录多个加权模式图，对应输送区域内的状况选择一个加权模式图，由此使加权变动。
(结构8) 本发明的输送控制方法，在多个处理装置之间存在多个被输送物的输送路径，具有沿着所述输送路径输送被输送物的输送单元，使多个被输送物与一个所述输送单元对应的处理设备中，控制所述输送单元，对各时刻的所述各被输送物的待机时间、所述各被输送物的输送目的地处理装置的负荷状态、以及所述各被输送物的输送区域内全体的负荷状态的各自进行预定的加权，使用所述加权计算所述各被输送物的输送处理的优先度，根据所述计算结果决定应该将所述被输送物中的哪个被输送物输送到哪个处理装置，根据该决定控制所述输送单元。
(结构9) 本发明的输送控制方法，在具有结构8的输送控制方法中，还对所述各被输送物的输送源处理装置的负荷状态以及各个输送单元的负荷状态的各自进行预定的加权。
(结构10) 本发明的输送控制方法，在具有结构8或9的输送控制方法中，登录一个加权模式图，对应输送区域内的状况变动所述加权模式图内部的值来使加权变动。
(结构11) 本发明的输送控制方法，在具有结构8或9的输送控制方法中，登录多个加权模式图，对应输送区域内的状况选择一个加权模式图，由此使加权变动。
根据具有结构1的处理设备，可以一边进行输送(例如薄板输送)，一边减少在制品量，减少研制周期时间，并且某且节省空间。此外，因为可以缩短升降单元的移动距离，所以可以谋求节省能量。并且，因为升降单元具有缓冲存取功能，所以即使在由于维修等导致停止时也可以吸收输送处理的波动。
根据具有结构2的本发明的处理设备，可以减少在制品量，减少研制周期时间。
根据具有结构3的本发明的处理设备，可以减少在制品量。减少研制周期时间。
根据具有结构4的本发明的输送控制装置，可以降低阻塞的发生频度，实现整体效率高的输送，并且可以谋求缩短输送区域内的总和生产节拍时间。
根据具有结构5的本发明的输送控制装置，可以降低阻塞的发生频度，实现整体效率高的输送，并且可以谋求缩短输送区域内的总和生产节拍时间。
根据具有结构6的本发明的输送控制装置，可以选择与输送区域内的状态对应的最佳的输送指示，可以降低阻塞的产生频度。因此，可以实现整体效率高的输送，并且可以谋求缩短输送区域内的总和生产节拍时间。
根据具有结构8的本发明的输送控制方法，可以降低阻塞的发生频度，实现整体效率高的输送，并且可以谋求缩短输送区域内的总和生产节拍时间。
根据具有结构9的本发明的输送控制方法，可以降低阻塞的发生频度，实现整体效率高的输送，并且可以谋求缩短输送区域内的总和生产节拍时间。
根据具有结构10的本发明的输送控制方法，可以选择与输送区域内的状态对应的最佳的输送指示，可以降低阻塞的产生频度。因此，可以实现整体效率高的输送，并且可以谋求缩短输送区域内的总和生产节拍时间。
根据具有结构11的本发明的输送控制方法，可以选择与输送区域内的状态对应的最佳的输送指示，可以降低阻塞的产生频度。因此，可以实现整体效率高的输送，并且可以谋求缩短输送区域内的总和生产节拍时间。
即，本发明提供一种不会大型化、在制品量不会增益、以及研制周期不会变长，可以确保足够的输送能力的处理设备。此外，根据本发明，即使在被输送物的输送目的地的负荷高的情况下，也可以缩短整个处理装置的生产节拍时间。并且，本发明提供一种即使在所谓的薄板输送线中也不会增大需要进行运算处理的数据量，并且作为运算处理装置不需要大规模的装置，运算处理所需要的时间也不会变长的输送控制装置以及输送控制方法。
图1是表示本发明的处理装置的第一实施方式的结构的侧面图。
图2是表示本发明的处理装置的第二实施方式的结构的侧面图。
图3是表示本发明的处理装置的第三实施方式的结构的侧面图。
图4是表示执行本发明的输送控制方法的处理设备的结构的方框图。
图5是表示应用了本发明的输送控制装置的处理设备的结构的(a)平面图以及(b)侧面图。
图6是表示本发明的输送控制装置的结构的方框图。
图7是表示本发明的输送控制装置的指示管理部的动作的流程图。
图8是表示本发明的输送控制装置的最佳化处理的流程图。
符号说明 1控制单元；2工序管理部；3输送指示部；4指示管理部；5设备管理部；6设备状态部；102处理装置(处理B)；103处理装置(处理C)；104处理装置(处理D)；106输送单元；107输送单元
具体实施例方式 以下根据
本发明的实施方式。
(处理设备的第一实施方式) 图1是表示本发明的处理设备的第一实施方式的结构的侧面图 在本实施方式的处理设备中，如图1所示，在多个处理装置101、102、103、104之间存在多个被输送物的输送路径。此外，沿着该输送路径，设置有输送基板(被输送物)111的多个带有岔路功能的输送机(以下称为岔路输送机，FCV输送单元)107a、7、107b、107c、107d。使多个基板111对应于各个岔路输送机107a、7、107b、107c、107d。
在该处理设备中，多级地设置了各处理装置101、102、103、104以及各岔路输送机107a、7、107b、107c、107d。在上级设置第一处理装置101以及第三处理装置103，在下级设置第二处理装置102以及第四处理装置104。并且，在上级设置第一～第三岔路输送机107a、7、107b、107c，在下级设置第四以及第五岔路输送机107d、107e。
在该处理设备中，从工序之外经由送入输送机106a将基板111送入到第一岔路输送机107a。该第一岔路输送机107a可以与第一处理装置101进行基板111的传递。在该第一岔路输送机107a和第二以及第四岔路输送机107b、107d之间，设置了带有第一纵向输送(升降)功能的输送机(以下称为纵向输送机，纵向CV·升降机升降单元)108。
第四岔路输送机107d可以与第二处理装置102进行基板111的传递。在该第二以及第四岔路输送机107b、107d和第三以及第五岔路输送机107c、107e之间，设置了第二纵向输送机109。
第三岔路输送机107c可以与第三处理装置103进行基板111的传递。此外，第五岔路输送机107e可以与第四处理装置104进行基板111的传递。在第三以及第五岔路输送机107c、107e和向工序外送出基板111的送出输送机106b之间，设置了第三纵向输送机110。
在该处理设备中，第一以及第二纵向输送机108、109具有缓冲存取功能，可以用作向各处理装置101、102、103、104投入基板前后的缓冲器。即，在第一以及第二纵向输送机108、109中暂时滞留从某个处理装置直到向下一个处理装置进行输送为止的期间的基板111。
在该处理装置中，最好与同一级的岔路输送机对应地并列设置进行连续的处理的处理装置，使用同一级的岔路输送机输送基板111。通过如此地配置处理装置，可以减少在制品量，并且可以减少研制周期。
此外，在该处理设备中，最好与同一级的岔路输送机对应地并列设置被推定为输送量多的处理装置，使用同一级的岔路输送机输送基板111。通过如此地配置处理装置，可以减少在制品量，并且可以减少研制周期。
在该处理装置中，通过各个岔路输送机107a、107b、107c、107d以及各纵向输送机108、109，把从输入输送机106a送入的基板111输送到任意的处理装置101、102、103、104。此外，从各处理装置101、102、103、104送出基板111。在各处理装置101、102、103、104中，对基板111实施预定处理(检查)。各纵向输送机108、109根据需要进行升降动作(输送路径的分支)，将基板111输送给同级或者其他级的岔路输送机。
(处理设备的第二实施方式) 图2是表示本发明的处理设备的第二实施方式的结构的侧面图。
在本实施方式的处理设备中，如图2所示，在相同的一侧配置了基板111的送入口和送出口。即，在该处理设备中，在上级设置第一～第三处理装置101、102、103，在下级设置第四～第六处理装置104、115、116。并且，在上级设置第一～第三岔路输送机107a、107b、107c，在下级设置第四～第六岔路输送机107d、107e、107f。
在该处理设备中，从工序外对第一岔路输送机107a送入基板111。此外，从第六岔路输送机107f向工序外送出基板111。
第一岔路输送机107a可以与第一处理装置101进行基板111的传递。此外，第二岔路输送机107b可以与第二处理装置102进行基板111的传递。第三岔路输送机107c可以与第三处理装置103进行基板111的传递。第四岔路输送机107d可以与第四处理装置104进行基板111的传递。第五岔路输送机107e可以与第五处理装置115进行基板111的传递。第六岔路输送机107f可以与第六处理装置116进行基板111的传递。
在第一以及第六岔路输送机107a、107f和第二以及第五岔路输送机107b、107e之间配置了第一纵向输送机108。
此外，在第二以及第五岔路输送机107b、107e和第三以及第四岔路输送机107c、107d之间设置了第二纵向输送机109。并且，在第三以及第四岔路输送机107c、107d的端部设置了第三纵向输送机110。
在该处理设备中，第一～第三纵向输送机108、109、110具有缓冲存取功能，可以用作向各处理装置101、102、103、104、115、116投入基板前后的缓冲器。
在该处理装置中，最好与同一级的岔路输送机对应地并列设置进行连续的处理的处理装置，使用同一级的岔路输送机输送基板111。通过如此地配置处理装置，可以减少在制品量，并且可以减少研制周期。
此外，在该处理设备中，最好与同一级的岔路输送机对应地并列设置被推定为输送量多的处理装置，使用同一级的岔路输送机输送基板111。通过如此地配置处理装置，可以减少在制品量，并且可以减少研制周期。
在该处理装置中，通过各个岔路输送机107a、107b、107c、107d、107e、107f以及各纵向输送机108、109、110，把送入到第一岔路输送机107a中的基板111输送到任意的处理装置101、102、103、104、115、116。此外，从各处理装置101、102、103、104、115、116送出基板111。在各处理装置101、102、103、104、115、116中，对基板111实施预定处理(检查)。各纵向输送机108、109、110根据需要进行升降动作(输送路径的分支)，将基板111输送给同级或者其他级的岔路输送机。
(处理设备的第三实施方式) 图3是表示本发明的处理设备的第三实施方式的结构的侧面图。
在本实施方式的处理设备中，如图3所示，分三级地设置了处理装置以及岔路输送机。即，在该处理设备中，在上级设置第一以及第二处理装置101、102，在中级设置第三以及第四处理装置103、104，在下级设置第五以及第六处理装置115、116。并且，在上级设置第一～第三岔路输送机107a、107b、107c，在中级设置第四～第六岔路输送机107d、107e、107f，在下级设置第七～第九岔路输送机107g、107h、107i。
在该处理设备中，从工序外对第一岔路输送机107a送入基板111。此外，从第四或第七岔路输送机107d、107g向工序外送出基板111。
第一岔路输送机107a可以与第一处理装置101进行基板111的传递。此外，第二岔路输送机107b可以与第二处理装置102进行基板111的传递。第四岔路输送机107d可以与第四处理装置104进行基板111的传递。第六岔路输送机107f可以与第三处理装置103进行基板111的传递。第八岔路输送机107h可以与第五处理装置115进行基板111的传递。第九岔路输送机107i可以与第六处理装置116进行基板111的传递。
在第一、第四以及第七岔路输送机107a、107d、107g和第二、第五以及第八岔路输送机107b、107e、107h之间配置了第一纵向输送机108。
此外，在第二、第五以及第八岔路输送机107b、107e、107h和第三、第六以及第九岔路输送机107c、107f、107i之间设置了第二纵向输送机109。并且，在第三、第六以及第九岔路输送机107c、107f、107i的端部设置了第三纵向输送机110。并且，在第一、第四以及第七岔路输送机107a、107d、107g的端部(送入口和送出口)设置了送入送出纵向输送机112。
在该处理设备中，第一～第三纵向输送机108、109、110具有缓冲存取功能，可以用作向各处理装置101、102、103、104、115、116投入基板前后的缓冲器。
在该处理装置中，最好与同一级的岔路输送机对应地并列设置进行连续的处理的处理装置，使用同一级的岔路输送机输送基板111。通过如此地配置处理装置，可以减少在制品量，并且可以减少研制周期。
此外，在该处理设备中，最好与同一级的岔路输送机对应地并列设置被推定为输送量多的处理装置，使用同一级的岔路输送机输送基板111。通过如此地配置处理装置，可以减少在制品量，并且可以减少研制周期。
在该处理装置中，通过各个岔路输送机107a、107b、107c、107d、107e、107f、107g、107h、107i以及各纵向输送机108、109、110，把送入到第一岔路输送机107a中的基板111输送到任意的处理装置101、102、103、104、115、116。此外，从各处理装置101、102、103、104、115、116送出基板111。在各处理装置101、102、103、104、115、116中，对基板111实施预定处理(检查)。各纵向输送机108、109、110对应输送路径的分支等，并且根据需要进行升降动作，将基板111输送给同级或者其他级的岔路输送机。
(输送控制方法的实施方式) 图4是表示执行本发明的输送控制方法的处理设备的结构的方框图。
如图4所示，本实施方式的输送控制方法是在处理设备(例如所述第一～第三实施方式的处理设备)中控制输送单元的输送控制方法，该处理设备在多个处理装置101、102、103、104之间存在多个被输送物的输送路径，具有沿着该输送路径进行被输送物的输送的多个输送单元，使多个被输送物对应一个输送单元。
在该处理设备中，按照从上位系统取得的处理装置101、102、103、104(处理A、处理B、处理C、处理D)之间的输送信息，依次在处理装置101、102、103、104之间输送线内的被输送物(例如，FPD或在半导体中使用的玻璃基板等)。本实施方式的输送控制方法改善这样的处理设备的输送效率。
在这样的处理设备中，投入到出入口105的被输送物，依次被输送到各处理装置101、102、103、104，实施预定处理，并且再次返回到出入口105。但是，在该处理设备中，有可能对应各处理装置中的处理结果(例如，检查结果)变更下一个输送到的处理装置(工序)。此外，在该处理装置中，因为有时将多个被输送物输送到同一处理装置(例如检查装置)，所以在各个处理装置之间存在多个分支或合流。
本实施方式的输送控制方法，特别适合于每次输送一张被输送物的薄板输送线。在薄板输送线中，因为同时进行输送控制的被输送物的数量变得巨大，所以在现有的输送控制方法中控制极为困难。
(输送控制装置的结构) 图5是表示应用了本发明的输送控制装置的处理设备的结构的(a)平面图以及(b)侧面图。
在应用了本实施方式的输送控制装置的处理设备中，如图5(a)所示，从成为出入口105的端口A～E投入被输送物。通过输送机(输送单元)106、107在多个处理装置101、102、103、104之间输送被输送物。
如图5(b)所示，输送机107由岔路输送机(FCV)107和纵向输送机(纵向CV)108、109、110构成。岔路输送机107水平地输送被输送物，并且与处理装置101、102、103、104进行被输送物的传递。纵向输送机108、109、110具有缓冲存取功能。
在该处理装置中，上下装载地配置了处理A的处理装置101和处理D的处理装置104，此外，上下装载地配置了处理B的处理装置102和处理C的处理装置103。并且，分别在输送线的起始端以及终端、处理装置101以及处理装置104和处理装置102以及处理装置103之间，设置了纵向输送机108、109、110。在这些纵向输送机108、109、110中暂时滞留从某个处理装置直到向下一个处理装置进行输送为止的期间的被输送物。
在该处理装置中，通过本实施方式的输送控制装置控制输送机106、107，由此将各个被输送物输送到各处理装置101、102、103、104以及各纵向输送机108、109、110这样的任意场所，在各处理装置101、102、103、104中对各个被输送物实施预定处理(检查)。
图6是表示本实施方式的输送控制装置的结构的方框图。
如图6所示，本实施方式的输送控制装置具有控制输送单元106、107的控制单元1。该控制单元1具有从上位系统201接收处理之间的输送信息的工序管理部2。该工序管理部2生成被输送物的输送区域内的处理装置之间的输送指示信息，并积存在输送指示部3中。通过指示管理部4读出积存在输送指示部3中的输送指示信息，发送给设备管理部5。
另一方面，从各输送单元106、107送出动作结果信息以及设备状态信息(跟踪数据)，经由设备管理部5积存在设备状态部(跟踪数据DB)6中。由指示管理部4读出积存在设备状态部6中的动作结果信息以及设备状态信息，将其用于生成输送指示信息。
设备管理部5，根据接收到的输送指示信息，生成控制各输送单元106、107的动作指示信息，并将其发送给各输送单元106、107。然后，根据动作指示信息控制各输送单元106、107来使其进行动作。
在该输送控制装置中，指示管理部4在生成输送指示信息时计算被输送物的处理优先度，进行应该将多个被输送物中的哪个被输送物输送给哪个处理装置的最佳化处理。
在该最佳化处理中，在计算被输送物的处理优先度时，从各输送单元106、107的动作结果信息以及设备状态信息中抽出决定优先度的多个项目，并且对这些项目中的每个项目设定加权。关于加权的设定，登录一个模式图，对应输送区域内的状况变动该一个模式图。或者可以登录多个模式图，对应输送区域内的状况选择一个模式图。
即，指示管理部4对各时刻的各个被输送物的待机时间、各个被输送物的输送目的地处理装置101、102、103.104的负荷状态、各个被输送物的输送源处理装置101、102、103、104的负荷状态、各被输送物的输送区域内全体的负荷状态、以及各输送单元的负荷状态的各自进行预定的加权(对应输送区域内的状况使加权变动)，计算出各个被输送物的输送处理的优先度。然后，指示管理部4根据该计算结果，决定把各个被输送物中的哪个被输送物输送给哪个处理装置101、102、103、104，根据该决定控制输送单元106、107。
(输送控制装置的动作(输送控制方法)) 图7是表示输送控制装置的指示管理部4的动作的流程图。
在步骤st1中，确认在设备状态部6中积存的动作结果信息以及设备状态信息。在步骤st2中，判断有无处理已完成的被输送物。如果具有处理已完成的被输送物，则进入到步骤st9，如果没有处理已完成的被输送物，进入到步骤st3。在步骤st9中，将输送指示已完成的被输送物的状态信息变更为“完成”。
在步骤st3中，判断有无待机中的被输送物，如果存在待机中的被输送物，则进入到步骤st4，如果没有待机中的被输送物，则进入到步骤st13中处理结束。
在步骤st4中，确认输送单元106、107的状态。在步骤st5中，判断是否需要进行输送单元106、107的最佳化处理。如果需要进行最佳化处理，则进入到步骤st10中，如果不需要进行最佳化处理则进入到步骤st6中。
在步骤st10中，进行最佳化处理。在该最佳化处理中，如后述那样，从各个输送单元106、107的动作结果信息以及设备状态信息中抽出决定优先度的多个项目，对这些项目中的每个项目设定加权。在步骤st111中，变更输送指示信息中的输送目的地。
在步骤st6中，决定针对移动单元106、107的作业命令中的输送目的地。在步骤st7中，生成针对移动单元106、107的作业命令。
在步骤st8中，判断输送指示信息是否为待机中。如果是待机中，则进入步骤st12，如果不是待机中，则进入步骤st13，处理结束。
在步骤st12中，将开始了输送指示的被输送物的状态信息变更为“输送中”，进入到步骤st13中处理结束。
图8是表示输送控制装置中的最佳化处理(图7的st10)的流程图。
如图8所示，所述的最佳化处理在步骤st21中受理最佳化请求。在步骤st22中，读取各种信息数据。然后，在步骤st23中，抽出针对成为对象的输送单元106、107的各个输送指示。然后，在步骤st24中，确认可否执行输送指示。
然后，如果能够执行输送指示，则在步骤st25中，临时决定输送指示中的输送目的地。然后，在步骤st26中，计算输送指示的优先度。然后，在步骤st27中，选择要执行的输送指示。然后，在步骤st28中，输出要执行的输送指示，最佳化处理结束。
如以下的表(1)所示，对每个项目进行加权，根据该加权计算优先度。
表1 被输送物的前后的优先度条件
即，关于每个批量，越是在先开始进行处理的批量，越是使优先度高使加权成为“大”。由此，对每个批量执行优先的处理。在同一批量内成为相同的优先度。还可以适用于紧急批量等。此外，关于输送目的地，使不使用缓冲器的处理装置的优先度高，使加权成为“大”。由此，可以进行尽量不使用缓冲器的选择。
关于被输送物的待机时间，待机时间越长，使优先度越高，使加权成为“大”。在把被输送物退避在缓冲器中时，因为无法超越，所以不考虑待机时间。
关于输送目的地装置以及输送目的地CV的可接受状态，其数量越多使优先度越高，使加权成为“中”。由此，确认输送线下游的装置的负荷状态。在具有多个可接受的装置时，使用各个装置的负荷状态的总计。在输送目的地相同时，优先度相同。
关于输送源装置以及输送源CV的可接受状态，其数量越少使优先度越高，使加权成为“中”。由此，确认输送线上游的装置的负荷状态。在存在多个可接受装置时，使用各装置的负荷状态的总计。在输送源相同时，优先度相同。
关于向缓冲器退避的个数，在被输送物处于缓冲器中时，其个数越多使优先度越高，因为能够进行超越所以影响小，使加权成为“小”。此外，在被输送物处于CV中时，其个数越多使优先度越低，因为能够进行超越所以影响小，使加权成为“小”。
关于输送单元的输送需要时间，需要时间越短使优先度越高，使加权成为“小”。由此，管理输送处理花费的时间。无论是从CV还是从缓冲器，认为需要时间不会有太大变化。
关于来自贮存箱的送出顺序，因为不拘泥于从贮存箱的送出顺序，所以越是在先开始处理的被输送物使优先度越高。因为能够进行超越所以影响小，使加权成为“小”。
并且，关于整个输送线的优先度条件，表示在以下的“表2”中。关于工序内的被输送物的个数，个数越多使送出方向的优先度越高，使加权成为“大”。由此，考虑输送线的整个流程，预防阻塞和死锁。
关于其他的输送单元的输送指令状况，越是面向分配少的，使优先度越高，使加权成为“中”。由此，考虑输送线的整个流程，预防阻塞和死锁。在上游以及下游两侧没有其他的输送单元时，不需要考虑。
表2 整个输送线的优先度条件 表3 优先度计算用各项目的加权表(固定设定) 此外，在使加权变动时，如以下的“表4”所示，对应计算优先度时的输送线的状况，使加权变化。
表4 优先度计算用各项目的加权表(加权变动方法) 此外，在从多个模式图中选择加权时，如以下的“表5”所示，对应计算优先度时的输送线的状况，选择恰当的加权模式图。
表5 优先度计算用各项目的权重表(多个模式图登录方法)
然后，如下那样计算优先度。在固定设定加权时或者在使加权变动时(表4)，从上述表(表3或表4)中取得加权，通过下式计算优先度。
(输送指示的优先度) ＝(优先度计算用项目1)×(权重1) +(优先度计算用项目2)×(权重2) +…… +(优先度计算用项目N)×(权重N) 然后，在从多个模式图中选择加权时(表5)，根据工序内的状态从加权表中选择权重模式图，通过下式计算优先度。
(输送指示的优先度) ＝(优先度计算用项目1)×(权重模式图N-1) +(优先度计算用项目2)×(权重模式图N-2) +…… +(优先度计算用项目N)×(权重模式图N-N) 此外，如上所述，优先度计算用项目，例如为输送目的地处理装置的负荷、被输送物的待机时间、工序内的被输送物的个数等。
本发明适用于当在多个处理装置之间存在多个被输送物的输送路径时，用于控制在该输送路径上输送被输送物的输送单元的输送控制装置以及输送控制方法。
权利要求
1.一种处理设备，在多个处理装置之间存在多个被输送物的输送路径，并具有多个沿着所述输送路径输送被输送物的输送单元，使多个被输送物与一个所述输送单元对应，该处理设备的特征在于，
具备升降单元，该升降单元具有跨越所述多个输送单元之间使被输送物升降的功能，
所述输送单元，被配置成多级，在所述处理装置之间输送被输送物，
所述升降单元，具有缓冲存取功能，能够用作向所述处理装置投入被输送物前后的缓冲器。
2.根据权利要求1所述的处理设备，其特征在于，
对应同一级的所述输送单元并列配置进行连续的处理的所述处理装置，通过同一级的所述输送单元输送所述被输送物。
3.根据权利要求1所述的处理设备，其特征在于，
对应同一级的输送单元并列配置被推定为输送量多的处理装置，由同一级的所述输送单元输送所述被输送物。
4.一种输送控制装置，其用于在下述的处理设备中控制输送单元，所述处理设备在多个处理装置之间存在多个被输送物的输送路径，并具有多个沿着所述输送路径输送被输送物的输送单元，使多个被输送物与一个所述输送单元对应，该输送控制装置的特征在于，
具备控制所述各输送单元的控制单元，
所述控制单元，对各时刻的所述各被输送物的待机时间、所述各被输送物的输送目的地处理装置的负荷状态、以及所述各被输送物的输送区域内全体的负荷状态的各自进行预定的加权，使用所述加权计算所述各被输送物的输送处理的优先度，根据该计算结果决定应该将所述各被输送物中的哪个被输送物输送到哪个处理装置，根据该决定控制所述输送单元。
5.根据权利要求4所述的输送控制装置，其特征在于，
所述控制单元，还对所述各被输送物的输送源处理装置的负荷状态以及各个输送单元的负荷状态的各自进行预定的加权。
6.根据权利要求4或5所述的输送控制装置，其特征在于，
所述控制单元，登录一个加权模式图，对应输送区域内的状况使所述加权模式图内部的值变动来使加权变动。
7.根据权利要求4或5所述的输送控制装置，其特征在于，
所述控制单元，登录多个加权模式图，对应输送区域内的状况选择一个加权模式图，由此使加权变动。
8.一种输送控制方法，其用于在下述的处理设备中控制输送单元，该处理设备在多个处理装置之间存在多个被输送物的输送路径，并具有多个沿着所述输送路径输送被输送物的输送单元，使多个被输送物与一个所述输送单元对应，该输送控制方法的特征在于，
对各时刻的所述各被输送物的待机时间、所述各被输送物的输送目的地处理装置的负荷状态、以及所述各被输送物的输送区域内全体的负荷状态的各自进行预定的加权，使用所述加权计算所述各被输送物的输送处理的优先度，
根据所述计算结果决定应该将所述各被输送物中的哪个被输送物输送到哪个处理装置，根据该决定控制所述输送单元。
9.根据权利要求8所述的输送控制方法，其特征在于，
还对所述各被输送物的输送源处理装置的负荷状态以及各个输送单元的负荷状态的各自进行预定的加权。
10.根据权利要求8或9所述的输送控制方法，其特征在于，
登录一个加权模式图，对应输送区域内的状况变动所述加权模式图内部的值来使加权变动。
11.根据权利要求8或9所述的输送控制方法，其特征在于，
登录多个加权模式图，对应输送区域内的状况选择一个加权模式图，由此使加权变动。
全文摘要
本发明提供一种处理设备、输送控制装置以及输送控制方法。处理设备在各个处理装置之间具有多个输送路径。处理设备对各时刻的各被输送物的待机时间、输送目的地以及输送源的处理装置的负荷状态、各被输送物的输送区域内全体的负荷状态、以及各输送单元的负荷状态的各自进行加权，对应输送区域内的状况使加权变动来计算输送处理的优先度，决定将哪个被输送物输送到哪个处理装置来控制输送单元。上述处理设备不会大型化，不会增加在制品量和研制周期，具有足够的输送能力。根据上述的处理设备，在被输送物的输送目的地的负荷高时，可以缩短整个处理装置的生产节拍时间。
文档编号H01L21/677GK101607634SQ200910142508
公开日2009年12月23日 申请日期2009年6月22日 优先权日2008年6月20日
发明者志田伦教 申请人:株式会社Ihi