半导体器件及其制造方法、层离方法、以及转移方法

专利名称：：半导体器件及其制造方法、层离方法、以及转移方法
技术领域：
：本发明涉及到功能薄膜的层离方法，确切地说是涉及到各配备有各种元件的薄膜或层的层离方法。此外，本发明涉及到用于将分离的薄膜粘合到薄膜村底的转移方法。还涉及到包含根据转移方法制作的薄膜晶体管(以下成为TFT)的半导体器件及其制造方法。
背景技术：
：新近，利用制作在配备有绝缘表面的衬底上的半导体薄膜(厚度约为几十nm到几百nm)来制作TFT的技术正受到注意。TFT被广泛地应用于诸如集成电路或电光器件之类的电子器件，且特别被开发作为显示器件的开关元件或驱动电路。借助于执行切片来得到多个平板，能够大规模生产这种显示器件。多半采用玻璃衬底和石英衬底；但玻璃衬底和石英衬底的缺点是易碎且增大重量。因此，正在试验在典型为柔性塑料膜的柔性衬底上制作TFT元件。然而，当复杂的多晶硅薄膜被用作TFT的有源层时，在制造工艺中，几百。C高温下的工艺是必须的，致使多晶硅薄膜无法直接形成在塑料膜上。因此，提出了一种利用其间的分离层将层离层从衬底分离的方法。例如，提供了包含诸如非晶硅、半导体、氮化物陶瓷、或有机聚合物的分离层，并通过衬底将其暴露于激光束；衬底在分离层中被层离等分离(参考文献1:日本专利公开No.10-125929)。此外，有参考文献描述了一种借助于将层离层(称为待要转移的层)粘贴到塑料膜而完成液晶显示器件的例子(参考文献2:日本专利公开No.10-125930)。在有关柔性显示器的论文中，介绍了各个公司的技术(参考文献3:Nikkei8Microdevices,NikkeiBussinessPublications,pp.71-72，July1，2002)。然而，在上述文献所述的方法中，要求采用对光高度透明的村底。而且，为了赋予足够的能量以通过衬底释放包含在非晶硅中的氢，必须有能量相当高的激光束。这就引起损伤层离层的问题。而且，上述文献描述的结构中，为了防止对层离层的损伤而提供了抗光层或反射层；但在此情况下，就难以制造向下发光的透射液晶显示器件或发光器件。还有，利用上述方法难以分离大面积的层离层。
发明内容考虑到上述各种问题，提出了本发明，且本发明的目的是提供一种技术，在提供被形成在衬底上的金属膜，且提供形成在金属膜上包含包括上述金属的氧化物膜的层离层和包含硅的薄膜的状态下，利用物理方法或机械方法来执行衬底与层离层之间的分离。具体地说，制作了借助于在金属膜上形成包括上述金属的氧化物层，用热处理方法对上述氧化物层进行晶化，以及在氧化物层的层中或在上述氧化物层二个表面的界面处执行分离而得到的TFT。根据本发明制作的TFT能够被应用于顶部发射型或底部发射型的任何发光器件，或透射型、反射型、或半透射型的任何液晶显示器件等。图1A-1E示出了根据本发明的层离工艺。图2示出了本发明的实验样品。图3A和3B示出了本发明的实验样品A的TEM照片和框架格式。图4A和4B示出了本发明的实验样品B的TEM照片和框架格式。图5A和5B示出了本发明的实验样品C的TEM照片和框架格式。图6A和6B示出了本发明的实验样品D的TEM照片和框架格式。图7A和7B示出了本发明的实验样品E的TEM照片和框架格式。图8A和8B示出了本发明的实验样品A的EDX光谱和定量结果。图9A和9B示出了本发明的实验样品B的EDX光谱和定量结果。图IOA和IOB示出了本发明的实验样品C的EDX光谱和定量结果。图11A-11D示出了本发明的实验样品。图12A和12B示出了本发明的实验样品1的TEM照片和框架才各式。图13A和13B示出了本发明的实验样品2的TEM照片和框架格式。图14A和14B示出了本发明的实验样品3的TEM照片和框架冲各式。图15A和15B示出了本发明的实—验样品4的TEM照片和框架才各式。图16A-16C示出了本发明的实验样品A-C的XPS测量。图17A-17F是其中图16A-16C所示XPS测量净皮标准化的图。图18A-18C示出了本发明的实验样品A-C的XPS测量。图19A和19B示出了根据本发明分离之后的衬底侧的TEM照片和框架格式。图20A和20B示出了根据本发明分离之后的半导体薄膜侧的TEM照片和框架格式。图21示出了本发明的样品A的SIMS。图22示出了本发明的样品B的SIMS。图23示出了本发明的样品C的SIMS。图24A和24B示出了根据本发明分离之后的XPS测量。图25A和25B示出了图24A和24B所示XPS测量的波形分析。图26A和26B示出了根据本发明制作的发光器件。图27A和27B示出了根据本发明制作的液晶显示器件。图28示出了根据本发明制作的CPU。图29A-29E示出了根据本发明制作的电子器件。图30A和30B示出了本发明的实验结果。图31示出了本发明的实验结果。图32示出了本发明的实验结果。具体实施例方式参照附图来解释根据本发明的实施方案模式。实施方案模式1首先，如图1A所示，金属膜11被形成在第一衬底10上。然后注意，具有承受叠层工艺的刚性的任何衬底，例如玻璃衬底、石英衬底、陶瓷衬底、硅衬底、金属衬底、或不锈钢衬底，能够被用作第一衬底。选自W、Ti、Ta、Mo、Nd、Ni、Co、Zr、Zn、Ru、Rh、Pd、Os和Ir的元素；主要包含其合金材料或化合物材料的单层；或其叠层，能够被用作金属膜。可以用賊射方法，以金属作为把，将金属膜形成在第一衬底上。注意，金属膜的膜厚度为10-200nm，最好为50-75nm。可以用被氮化的金属膜(金属氮化物膜)来代替金属膜。还可以将氮和氧掺入到金属膜。例如，可以对金属膜进行氮或氧的离子注入，或者可以在氮或氧气氛的成膜工作室中用溅射方法来形成金属膜。而且，氮化物金属可以被用作靶。于是，当上述金属的金属合金(例如W和Mo的合金WxMo卜x)被用作金属膜时，诸如第一金属(W)和第二金属(Mo)的多个靶，或第一金属(W)与第二金属(Mo)的合金靶，被排列在成膜工作室中，从而用溅射方法形成金属膜。当用溅射方法形成金属膜时，衬底外围的膜厚度有时变得不均匀。因此，最好用干法腐蚀方法清除外围部分的膜；此时，可以在第一衬底10与金属膜11之间形成大致100nm的诸如SiON膜或SiN0膜的绝缘膜，使第一衬底不被腐蚀。借助于如上所述恰当地设定金属膜的形成，层离过程能够被控制，并扩大了工艺范围。例如，当采用金属合金时，借助于控制合金的各个金属的组分比率，能够控制是否使用热处理以及热处理的温度。层离层12被形成在金属膜11上。层离层具有用来在金属膜11上形成包括上述金属的氧化物层的氧化物膜以及半导体膜。层离层的半导体膜可以处于这样一种状态，其中，TFT、有机TFT、薄膜二极管、包含硅的PIN结的光电变换器、硅电阻器、传感器元件(典型为采用多晶硅的压敏指紋扫描仪)之类在所希望的制造工艺中被制作。可以用溅射方法或CVD方法来形成氧化硅、氮氧化硅等作为氧化物膜。顺便说一下，氧化物膜的厚度最好二倍大于金属膜11的厚度。此处，用溅射方法，利用硅靶，氧化硅膜被形成为具有150-200nm的厚度。在本发明中，当氧化物膜被形成时，包括上述金属的氧化物层被形成在金属膜(未示出)上。此氧化物层可以被形成为膜厚度为Q.lrnn到1微米，优选是0.lnm到100nm，0.l認到5nm更好。上述方法之外的形成氧化物层的另一种方法可以采用借助于对具有硫酸、盐酸或硝酸的水溶液；其中硫酸、盐酸或硝酸与过氧化氢被混合的水溶液；或臭氧水进行处理而得到的薄氧化物膜。作为另一变通，可以用在氧气氛中等离子体处理方法，或借助于用紫外线在含氧的气氛中产生臭氧，来进行氧化，或可以借助于在洁净炉子中于大约200-350°C下进行加热，来形成薄的氧化物膜。在层离层12中，最好特别是在半导体膜下方提供包含诸如SiN或SiON的氮化物的绝缘膜作为基底膜，以便防止杂质或渗透金属膜或衬底外部的垃圾的浸入。然后，在380-41(TC，例如40(TC下进^f于热处理。^f昔助于这一热处理，氧化物层被晶化，且包含在层离层12中的氢，确切地说是半导体膜的氢被扩散。半导体器件制造工艺中的热处理可以与上述步骤的热处理同时进行，从而减少了工艺数目。当形成非晶半导体膜并用加热炉或用激光辐照方法来形成结晶半导体膜时，可以执行至少500。C的热处理来进行晶化，从而扩散氢以及形成结晶的半导体膜。如图1B所示，利用第一粘合材料(键合材料)14,固定层离层12的第二衬底13被粘贴到层离层12。注意，最好用刚性高于第一衬底10的衬底作为第二衬底13。例如，诸如可紫外层离的粘合剂的可层离粘合剂或用热清除的可热层离的粘合剂；可溶于水的粘合剂；或双面胶带，最好被用作第一键合材料14。接着，利用物理方法来分离配备有金属膜11的第一衬底IO(图1C)。虽然未示出，但由于图示出了框架格式，故分离发生在晶化的氧化物层中或氧化物层二个表面的界面处，亦即在氧化物层与金属膜之间的界面处或氧化物层与层离层之间的界面处。于是，层离层12能够从第一村底10被分离。如图1D所示，用第二键合材料15，将被分离的层离层12粘贴到是为转移体的第三衬底16。诸如环氧树脂粘合剂、树脂添加剂、双面胶带之类的可紫外线固化的树脂，可以被用作第二键合材料15。注意，当第三衬底的表面是粘合剂时，可以不必使用第二键合材津牛。而且，可以用第三衬底覆盖层离层12的侧表面。具有柔性和薄膜厚度的衬底(这种衬底以下被称为薄膜衬底)，例如诸如聚碳酸酯、多芳基化合物、聚醚砜衬底的塑料衬底；聚四氟乙烯衬底；或陶瓷衬底，可以被用作第三衬底16。随后，清除第一键合材料14，并层离第二衬底13(图1E)。具体地说，可以执行紫外线辐照、热处理、或水洗，来层离第一键合材料。而且，有可能用氩气和氧气来执行等离子体清洗或钟罩清洁清洗。配备有适合各种用途的TFT的多个层离层，可以被转移到待要成为转移体的第三衬底。例如，象素区的TFT和驱动电路的TFT的层离层可以被形成，且然后被转移到第三衬底的预定区域。被制作在如上得到的薄膜衬底上的TFT等，能够被用作发光器件和液晶显示器件的半导体元件。借助于在层离层12上形成发光元件，然后形成待要成为包封剂的保护膜，制作了发光器件。当发光元件被制作在层离层12上时，由于配备有TFT的薄膜衬底是柔性的，故用诸如胶带之类的键合材料，层离层可以;故固定到另一个玻璃衬底，从而用真空淀积方法形成各个发光层。注意，发光层、电极和保护膜被相继形成而不暴露于大气是优选的。制作发光器件的顺序没有特别的限制，可以采用下列顺序发光元件被形成在层离层上；粘合第二衬底；分离具有发光元件的层离层，并将其粘贴到用作第三村底的薄膜衬底。而且，在形成发光元件之后，整个器件可以在设计得更大的用作第三衬底的薄膜村底中被弯曲。当制造液晶显示器件时，在分离第二衬底之后，用密封材料将反衬底粘合，并可以将液晶材料注入其间。制作液晶显示器件的顺序没有特别的限制，也可以采用下列顺序第二衬底被粘合作为反衬底；粘合第三4于底；并将液晶注入其间。当制造液晶显示器件时，通常形成或撒布间隔体来保持衬底间距；但为了保持柔性衬底与反衬底之间的间距，可以形成或撒布具有大约3倍量的间隔体。而且，这些间隔体最好被形成得比应用于一般玻璃衬底的更柔软。而且，必须将间隔体固定成不会由于薄膜衬底是柔性的而运动。利用这种层离方法，TFT等能够被制作在柔性薄膜衬底上，在整个表面上获得层离和高成品率。此外，在本发明中，激光器等引起的负荷不被加到TFT上。这样，具有TFT等的发光器件、液晶显示器件、或其它的显示器件就变薄，即使跌落也不容易破损，且重量轻。而且，在弯曲表面上或以畸形显示也变得有可能。提供在根据本发明形成的薄膜衬底上的TFT，能够达到显示装置的扩大以及大规模生产。本发明使第一衬底能够重复使用，并借助于采用低成本的薄膜衬底而达到显示装置的成本降低。实施方案13下面描述本发明的实验结果、根据本发明制造的发光器件、液晶显示器件、以及其它电子器件。[实施方案1]在本实施方案中，将描述层离实验的结果以及透射电子显微镜(TEM)的片企查》见测。首先，对于图2所示的样品，作为衬底的AN100玻璃衬底(126x126mm2)与作为金属膜的用'减射方法淀积的主要由鴒组成的薄膜(以下称为W膜)，被层叠。然后，用濺射方法淀积的作为保护膜形成层离层的二氧化硅膜、用CVD方法淀积的作为基底膜的SiON膜、以及用CVD方法淀积的作为半导体膜的非晶硅膜，被层叠在其上。在上述样品中，对其不执行热处理的样品是A,对其在220。C下执行1小时热处理的另一个样品是B，而对其在500。C下执行1小时然后在550°C下执行4小时热处理的其它样品是C。用TEM对各个样品进行观测。结果被示于图3A-5A中。对应于各个TEM照片(TEM照片像)的框架格式^L示于图3B-5B中。发现在用作金属膜的W膜202与保护膜203之间形成了一个界面。注意，此层不总是一个完整的层，某些情况下被分散开。执行EDX测量，以便确定层的组成。图8A-10B示出了对样品A-C的EDX测量的光谱和定量结果。注意，Al和Mo的峰值是测量过程中样品固定夹具造成的。图8A-10B中的结果表明在层(以下称为氧化物层)中存在鴒和氧。在对图3A-5A中的TEM照片进行比较的过程中，发现样品C具有沿特定方向排列的晶格。还发现A和B的氧化物层具有大约3nm的膜厚度；同时，样品C的氧化物层被形成为具有甚至更薄的厚度(至多3nm)。对样品A-C的这些层离实验的结果表明，仅仅其中氧化物层具有晶格的样品C才能够被分离。图6A和7A示出了图2所示的在400。C下热处理1小时之后待要成为样品D的样品的TEM照片以及图2所示的在430。C下热处理1小时之后待要成为样品E的样品的TEM照片。图6B和7B示出了对应于各个TEM照片的框架格式。注意，施加到样品D的温度400。C可望是晶化的边界温度，亦即能够引起分离的边界温度。图6A和6B示出了晶格被形成在样品D中部分氧化物层上以及晶格被形成在样品E中整个氧化物层上。作为上述样品D和E的层叠实验结果，发现仅仅样品E被分离。上述层离实验的结果和TEM照片表明，氧化物层被形成在金属膜与保护膜之间的界面处，且氧化物膜大致在400。C下开始出现晶化。当氧化物层具有结晶性时，就认为是可能出现分离的状态。亦即发现需要形成金属膜上的氧化物膜，具体地说是提供在W膜上的包含W的氧化物层。因此，由于在氧化物层被晶化的样品中分离是可能的，故当用热处理来晶化氧化物膜时，就产生晶体畸变剂晶格缺陷(点缺陷，线缺陷，面缺陷(例如由氧空位聚集形成的结晶学切平面造成的面缺陷)，膨胀缺陷)，且认为分离从其界面发生。接着，在制造保护膜的不同条件下，即当W膜上的保护膜不存在或存在的情况被改变时，进行层离实验。如图11A-IID所示，制备了借助于相继层叠用CVD方法形成在衬底300上的SiON膜301和用溅射方法形成的W膜302而形成的样品1(图11A);包含利用溅射方法用氩气形成在W膜上的硅膜303作为保护膜的样品2(图11B);包含利用溅射方法用氩气和氧气形成的二氧化硅膜304来代替硅膜的样品3(图11C);以及包含利用CVD方法用硅烷气体和氮气形成的二氧化硅膜305的样品4(图IID)。图12A-15A示出了各个样品1-4的剖面的TEM照片。图12B-15B示出了对应于各个TEM照片的框架格式。如图12A-l"所示，在样品3中，氧化物层被形成在W膜上；但在其它样品中不形成氧化物层。注意，天然氧化物膜被形成在样品1中；但膜厚度是如此之薄，以致于在TEM照片中此膜未被清楚地显现。此氧化物层被认为由于制作样品3时所用的氧气而被形成在W膜上。另一方面，当在样品2中形成保护膜时，认为仅仅使用了氩气，致使氧化物层不形成在W膜上。当考虑到膜厚度时，形成在样品3中的氧化物层被认为不同于形成在样品1中的天然氧化物膜。可以想像当保护膜开始形成时，氧化物层就被形成。而且，至于样品4，用CVD方法，二氧化硅膜被形成在W膜上，借以可以形成氧化物层；但如图15A所示，氧化物层未被观察到。此处考虑其中形成氧化物层的样品3和样品4。与样品3中二氧化硅膜制造工艺中所用的源气体相比，CVD方法所用的用来形成样品4的二氧化硅膜的硅烷气体包含有氢。亦即，由于存在氢，故氧化物层被设计成不形成在样品4中。因此，虽然氧化物层被形成在W膜上，但样品4的状态能够被认为由于氢而被改变了。作为上述情况的结果，可以想像，当保护膜被形成在金属膜上时，不同于天然氧化物膜的氧化物层被形成。注意，当采用W膜时，认为氧化物层最好约为3nm厚。而且最好形成不含氬的保护膜，从而确定无误地形成氧化物膜。根据上述结果，为了执行层离，认为必须在金属层上形成包括上述金属的氧化物层(金属氧化物层)用来执行层离。确切地说，当W膜被用作金属膜时，发现必须至少在40(TC下进行热处理，从而晶化厚度约为3nm的氧化物层。而且，根据实验结果，发现要使氧化物层的晶化到处扩展，故最好至少在43(TC下进行热处理。而且发现，当保护膜被形成时，金属层上的上述金属氧化物层被形成，并在不包括氢或氢的浓度低的状态下形成保护膜，是可取的。当W膜被给定为具体例子时，发现最好利用'践射方法，用包含氧气的源气体来形成保护膜。[实施方案3]在本实施方案中，将用TEM示出对衬底侧和非晶半导体膜侧上的氧化物层在分离之后的观察结果。用溅射方法，厚度为50nm的W膜被形成在玻璃衬底上；然后用'减射方法，形成厚度为200nm的氧化硅膜；随后用等离子体CVD方法，形成厚度为100nm的氮氧化硅膜作为基底膜；并用等离子体CVD方法，形成厚度为50nm的非晶膜作为半导体膜。然后，在50(TC下进行1小时热处理以及在550。C下进行4小时热处理；利用环氧树脂作为粘合剂来粘合石英衬底；并用物理方法进行分离。此时的W膜和衬底侧上的氧化物层的TEM照片被示于图19A和19B。半导体膜上的氧化物层和氮氧化硅膜的TEM照片被示于图20A和20B。在图19A和19B中，氧化物层仍然不均匀地保留在金属膜上。因此，如图20所示，氧化物层仍然不均匀地保留在氧化硅膜上。二个照片表明分离发生在氧化物层中或氧化物层的界面处，且氧化物层仍然不均匀地粘合到金属膜和氧化硅膜。[实施方案4]在本实施方案中，示出了用XPS(x射线光电子谱术)方法考察氧化物层组成的结果。图16A-16C分别示出了样品A-C的结果。在图16A-16C中，水平刻度示出了深度方向(氧化物层内部被离子溅射暴露。探测到1%原子比的钨的情况是位置l;探测到2%原子比的鴒的情况是位置2;而探测到3%原子比的钨的情况是位置3)，垂直刻度示出了所占键比率(％)。当对图16A-16C进行比较时，与样品A和B相比，样品C中用圆圈示出的鵠(W)的相对比率更高。亦即，样品C具有高的鴒比例和低的氧化鴒比例。图17A-17F示出了图16A-16C的数据的标准化结果。图17A和17D对应于样品A的结果。图17B和17E对应于样品B的结果。图17C和17F对应于样品C的结果。图17A-17C示出了其中W03为1,而其它组分的所占4走比率^皮标准化的曲线。图17D-17F示出了其中W02为1，而其它组分的所占键比率被标准化的曲线。当对图17A-17C进行比较时，与样品A和B相比，样品C中用叉号示出的W02的相对比率更高。亦即，样品C具有高的02比例，且随着深度从位置1增大到位置3，W02的比例变得更高。而且，样品C具有低的W0x比例，且发现随着深度从位置1增大到位置3,W02的比例变得更低。当对图17D-17F进行比较时，样品A和B具有至少2°/。的W02含量，同时，样品C具有至多2°/的含量。如/人冊3的标准化曲线可见，与样品A和B相比，样品C具有较高的W02比例。图18A-1SC示出了当探测到1%原子比的鴒(位置1)且氧化物层内部被离子溅射暴露时观察到的键能和光谱的波形分析。图18A示出了样品A在4分钟15秒溅射工艺之后的结果。图18B示出了样品B在4分钟溅射工艺之后的结果。图18C示出了样品C在5分钟賊射工艺之后的结果。在图18A-18C中，至于各个4种状态Wl(鴒W)，W2(氧化鴒W0"x接近2)，W3(氧化鴒W0"2<x<3)，以及W4(氧化鴒卵3等)，面积比率(％)等于组分比率。表1示出了从图18A-18C得到的样品A-C的各个状态Wl-W4的面积比率。表1还用比率示出了其中W2和W3对W4被标准化了的曲线。在表1中，样品A和B具有10°/。的Wl比例，而样品C的比例高达35%。亦即，样品C具有高的鴒比例和低的氧化鴒比例。根据标准化数值，发现样品C与样品A和B相比，在氧化鴒中具有高的W2(W02)比例。样品C具有高的W2(W02)组分比率，且认为氧化物层的组分由于热处理而^皮改变。因此，W4(W03)的组分^L改变到W2(W02)或W3(W0X)，并可想像由于晶体结构的这种差别而分离发生在不同的晶体结构之间。表l样品深度WlW2W3W4在各种状态下对W03标准化的WOxW2W3W4A位置l9.5718.9124.5846.9440.29%52.36%100.00%位置212.5418.8322.1946.4440.55%47,78%100,00%位置314.4520,4921.4943.5747.03%49.32%100.00%B位置l11.3219.6822.4246.5842.25%48.13%100.00%位置214.5719.1521.9144.3843.15%49.37%100.00%位置315.4621.222.174U851.48%53馬ioo雄C位置l35.5116.3716.133251遍50.41%100.00%位置237.4417.215.829.5758.17%53.43%ioo腦位置340.9417.4313.328.3361.52%46.95%ioo扁接着，用XPS测量分离之后的衬底侧和分离之后的半导体膜侧。图24A和24B示出了光谱测量和光谱的波形分析。而且，样品1的XPS测量及其波形分析被一起示出，以便比较氧化物层和天然氧化物膜。图24和24B各示出了XPS测得的被分离表面的光谱。图24A示出了半导体膜侧的被分离表面的光谱。图24B示出了衬底侧的被分离表面的光语。表2示出了从图24A和24B得到的被探测到的元素和定量结果。表2表明保留在衬底侧上的鴒为保留在半导体膜侧上的鴒的大约10倍。表2<table>tableseeoriginaldocumentpage19</column></row><table>随后，图25A示出了半导体膜侧上的光谱的波形分析。图25B示出了衬底侧上的光谱的波形分析。在图25A和25B中，至于各个4种状态Wl(鹌W),W2(氧化鴒W0x，x接近2)，W3(氧化鴒WO"2<x<3),以及W4(氧化鴒W03等)，面积比率(％)等于组分比率。其中形成了天然氧化物膜的样品1的光谱，被示于图31的XPS测量中。此光谱的波形分析被示于图32中。在样品1中各种状态的面积比率和各个样品中对W4标准化了的W2与W3的强度比率，被示于表3中。而且，半导体膜侧表面的测量与衬底侧表面的测量被一起示于表3中。表3<table>tableseeoriginaldocumentpage19</column></row><table>而且，图30A示出了基于表1和3的Wl和W4中各个组分的强度比率。图30B示出了对W4标准化了的W2和W3的强度比率。分离之后半导体膜侧的所占4建比率如下W1和W2为0%，W3为16%，W4为84%;同时，在衬底侧上，Wl为44°/。，W2为5%，W3为10%,而W4为46%。发现样品1中天然氧化物膜的所占键比率如下Wl为70，W2为6，W3为1,而W4为23。此外，发现与其它样品相比，样品1中的Wl(钨)比例更高。还发现W2-W4(氧化物)的比例低，而W3的比例明显地低。发现在分离之后，与样品C中的Wj)2相比，半导体膜侧和村底侧上的W02总量更低。因此，能够认为分离之前的氧化物层状态在能量上是活跃的(不稳定的)，且W4(W03)以及天然氧化物膜成为主要组分，从而在分离之后稳定了状态。当用图30A和30B对能够被分离的样品C以及其中形成了天然氧化物膜的样品1进行比较时，发现样品C包含更多的W2-W4(氧化物)。因此，当在氧化物层与金属膜之间的界面处，在氧化物层与氧化硅膜之间的界面处，或在氧化物层的层中进行分离时，发现所有的W1(金属W)和W2(W0"x接近2)保留在衬底侧上；2/3的W4(WO,等)保留在半导体膜侧上；且其1/3保留在衬底侧上。而且，发现氧化物层与天然氧化物膜的组分比率彼此不同。于是认为在氧化物层的层中，特别是在W02与W0x之间或在罚2与W03之间的界面处，能够容易地进行分离。因此，在实验中，W02不保留在半导体膜侧上，而是粘合到衬底侧；然而，W02有可能粘合到半导体膜侧而不存在于衬底侧上。在本实施方案中，用图21-23来描述对样品A-C执行的二次离子组分分析方法(SIMS)的结果。当提到非晶硅膜中的氢分布时，样品A和B中的氢浓度约为每立方厘米1.Oxio"原子，而样品C中的氬浓度约为每立方厘米1.Ox102°原子，几乎是样品A和B的2倍。当观察氮氧化硅膜(SiON)和氧化硅膜(Si02)时，显示了不均匀的浓度分布，例如在样品A和B中倾向于在0.2微米深度附近降低。另一方面，样品C显示沿深度方向均匀的浓度分布而没有降低的倾向。于是，比样品A和B更多的氬存在于样品C中。根据上述结果，认为氢的离化效率是不同的，且样品C的表面组分比率不同于才羊品A和B。接着，当提到氧化硅膜(Si02)与W膜之间界面处的氮浓度时，样品A和B中的氮浓度约为每立方厘米1.0x1021原子，而样品C中的氮浓度约为每立方厘米6.5x1021原子，大约比样品A和B的浓度大1个数量级。因此，与样品A和B相比，样品C在氧化硅膜(Si02)与W膜之间界面处具有氧化物层的不同组分。[实施方案6]在本实施方案中，参照图26A和26B来描述根据本发明的层离方法的配备有制造在薄膜村底上的TFT的发光器件。图26A示出了发光器件的俯视图；信号线驱动电路1201、扫描线驱动电路1203、以及象素区1202，被提供在薄膜衬底1210上。图26B示出了发光器件沿A-A，线的剖面，且氧化物层1250被其间的键合材料1240提供在薄膜衬底1210上。注意，氧化物层可以是分散的而不是被形成为薄膜衬底背面上的一个层。当如上述实施方案所述，W膜被用作金属膜时，氧化物层具体用作包含鴒作为主要组分的氧化物W03。示出了形成在薄膜衬底上的配备有包含n沟道TFT1223和p沟道TFT1224的CMOS电3各的信号线驱动电路1201。形成信号线驱动电路或扫描线驱动电路的TFT可以由CMOS电路、PMOS电路、或固OS电路组成。而且，在本实施方案中，示出了其中信号线驱动电路和扫描线驱动电路被形成在衬底上的一种内置驱动器类型；但各个电路可以被代之以形成在衬底外部。而且，示出了包含开关TFT1221和电流控制TFT1212且还包含覆盖TFT的预定位置处的窗口的绝缘膜1214;连接到电流控制TFT1212布线之一的第一电极1213;提供在第一电极上的有机化合物层1215;包含提供成与第一电极相对的第二电极1216的发光元件1218;以及包含用来防止水或氧引起的发光元件退化的保护层1217的象素区1220。由于其中第一电极1213接触到电流控制TFT1212的漏的结构，故希望至少第一电极1213的底部由能够与半导体膜的漏区形成欧姆接触来形成。例如，^采用氮化钛膜/包含大比例铝的膜/氮化钛膜的三层结构时，能够得到低的布线电阻和形成良好欧姆接触的性能。而且，第一电极1213可以是氮化钛膜的单层或具有3层以上的叠层。而且，利用透明导电膜作为第一电极1213，能够制造双面发射型的发光器件。绝缘膜1214可以由有机树脂膜或包含硅的绝缘膜制成。此处，正性光敏丙烯酸膜被用作绝缘膜1214。绝缘膜1214的顶部边沿和底部边沿最好被形成为具有一定曲率的弯曲的表面，从而改善包含有机化合物和第二电极的发光层的覆盖。例如，当正性光敏丙烯酸膜被用作绝缘膜1214时，绝缘膜1214的顶部边沿最好仅仅具有曲率为0.2-3孩t米的弯曲表面。而且，无论光照下成为不溶于腐蚀剂的负性还是光照下成为可溶于腐蚀剂的正性，都能够被采用。而且，可以用保护膜来覆盖绝缘膜1214。此保护膜可以是利用成膜系统用溅射(直流系统或射频系统)或远程等离子体方法得到的氮化铝膜；氮氧化铝膜；诸如包含大比例氮化硅或氮氧化硅的氮化硅膜之类的绝缘膜；或包含大比例碳的薄膜。保护膜的膜厚度尽可能小，致使光能够透过保护膜，是可取的。包含有机化合物的层被选择性地形成在第一电极1213上，其中利用使用蒸发掩模的蒸发方法或喷墨方法，得到了R、G、B的发光。而且，第二电极被形成在包括有机化合物1215的层上。当发光元件1218发射白色光时，需要形成由彩色层和黑色掩模组成的滤色器。第二电极1216通过提供在连接区中绝缘膜1214上的窗口(接触)被连接到连接布线1208。连接布线1208被各向异性导电树脂(ACF)连接到柔性印刷电路(FPC)1209。/人作为外部输入端口的FPC1209接收视频信号和时钟信号。此处仅仅示出了FPC;但印刷布线板(PWB)可以被固定到FPC。当FPC借助于施加压力或热利用ACF被连接时，要注意的是，应该防止由热引起的衬底柔性或软化造成的破裂。例如，硬度大的衬底可以被排列在与薄膜衬底1210粘合FPC的部分相对的部分上作为一种辅助。衬底的边沿部分配备有密封材料1205，且衬底被粘贴到第二薄膜衬底1204，并被包封。最后用环氧树脂作为密封材料1205。在本实施方案中，除了玻璃衬底和石英衬底之外，可以采用由FRP(纤维加固的塑料)、PVF(聚氟乙烯)、mylar、聚酯、丙烯酸之类组成的衬底作为用来形成第二薄膜衬底1204的材料。虽然未示出，但可以用包含诸如聚乙烯醇或乙烯基乙烯醇共聚物之类的有机材料；诸如聚硅氮烷、氧化铝、氧化硅、或氮化硅之类的无机材料；或它们的叠层的势垒膜覆盖薄膜衬底，以便防止水或氧通过薄膜衬底渗透。保护膜可以被提供在薄膜衬底上，以便在制造工艺中保护薄膜衬底免受药剂影响。可以用紫外线可固化的树脂或热塑树脂作为此保护层。如上所述，完成了包含提供在薄膜衬底上的TFT的发光器件。根据本发明的包含TFT的发光器件即使在跌落时也不容易破裂，且重量轻。薄膜衬底使得能够扩大发光器件以及大规模生产。在本实施方案中，参照图27A和27B来描述根据本发明的包含用层离方法形成在薄膜衬底上的TFT的液晶显示器件。图27A示出了液晶显示器件的俯视图；信号线驱动电路1301、扫描线驱动电路1303、以及象素区1302，被提供在第一薄膜衬底1310上。图27B示出了液晶显示器件沿A-A，线的剖面，且氧化物层1350被其间的键合材料1340形成在薄膜村底1310上。注意，氧化物层可以是分散的而不是被形成为薄膜衬底背面上的一个层。当如上述实施方案所述，W膜被用作金属膜时，氧化物层具体用作包含钨作为主要组分的氧化物W03。配备有包含n沟道TFT1323和p沟道TFT1324的CMOS电路的信号线驱动电路1301,被形成在薄膜衬底上。形成信号线驱动电路或扫描线驱动电路的TFT可以由CMOS电路、PMOS电路、或丽OS电路组成。而且，在本实施方案中，示出了其中信号线驱动电路和扫描线驱动电路被形成在衬底上的一种内置驱动器类型；但各个电路可以被形成在衬底外部。而且，示出了配备有包含开关TFT1321和保留体积1312且还包含覆盖TFT的预定位置处的窗口的层间绝缘膜1314。定向膜1317被提供在层间绝缘膜1314上，并用摩擦方法对其进行处理。第二薄膜衬底1304被制备成反衬底。第二薄膜衬底1304在被树脂之类分隔成矩阵形式的区域内配备有RGB的滤色器1330、反电极1316、以及被摩擦方法处理了的定向膜1317。偏振片1331被提供在第一和第二薄膜村底上，并被密封材料1305粘合。液晶材料1318被注入到第一与第二薄膜衬底之间。虽然未示出，但恰当地提供了间隔体，以便保持第一与第二薄膜衬底之间的间隙。虽然未示出，但可以用包含诸如聚乙烯醇或乙烯基乙烯醇共聚物之类的有机材料；或诸如聚硅氮烷、或氧化硅之类的无机材料；或它们的叠层的势垒膜覆盖薄膜衬底，以便防止水或氧通过薄膜衬底渗透。可以提供保护膜，以便在制造工艺中保护薄膜衬底免受药剂的影响。可以用紫外线可固化的树脂或热塑树脂作为此保护层。如在图26A和26B中那样，布线和柔性印刷电路(FPC)被各向异性导电树脂(ACF)连接到一起，且接收视频信号和时钟信号。注意，借助于施加压力或热与FPC的连接需要注意防止产生破裂。如上所述，完成了包含提供在薄膜衬底上的TFT的液晶显示器件。根据本发明的包含TFT的液晶显示器件即使在跌落时也不容易破裂，且重量轻。薄膜衬底使得能够扩大发光器件以及大规模生产。下面参照图28来描述根据本发明的一个实施方案。在本实施方案中，将解释具有象素区的平板、用来控制象素区的驱动电路、以及包含绝缘表面上的控制装置和运算装置的CPU。图28示出了平板的外貌。此平板具有象素区3000，其中，多个象素在衬底3009上被排列成矩阵。扫描线驱动电路3001,扫描线驱动电;洛3001用来控制象素区3000、以及信号线驱动电路3002，被提供在象素区3000外围。在象素区3000中，根据馈自驱动电路的信号来显示图象。反衬底可以仅仅被4是供在象素区3000以及驱动电路3001和3002上，或可以被提供在整个表面上。注意，可能产生热的CPU最好邻近配备有热沉。而且，平板还具有VRAM3003(视频随机存取存储器)，用来控制VRAM3003外围处的驱动电路3001和3002以及i奪码器3004和3005。此外，平板具有RAM(随机存取存储器)3006、RAM3006外围处的i,码器3007、以及CPU3008。形成衬底3009上的电路的所有元件，由场效应迁移率和开态电流比非晶半导体更高的多晶半导体(多晶硅)形成。因此，多个电路能够被制作成一个绝缘表面上的集成电路。首先，象素区3000、驱动电路3001和3002、以及其它电路被形成在支持衬底上，并用根据本发明的层离方法来分离，然后被彼此粘贴，从而得到柔性衬底3009上的集成结构。象素区中多个象素的结构借助于对各个多个象素提供SRAM而被形成，24^旦不局限于此。于是，可以省略VRAM3003和RAM3006。[实施方案9]本发明能够被应用于各种电子器件。电子器件的例子有个人数字助理(蜂窝电话，移动计算机、便携式游戏机、电子书等)、摄象机、数码相机、风镜式显示器、显示器、导航系统等。图29A-29E示出了这些电子器件。图29A示出了一种显示器，它包括框架4001、声音输出单元4002、显示单元4003等。本发明#1用于显示单元4003。此显示器包括诸如个人计算机、电视广播、以及广告显示器之类的所有信息显示器。图29B示出了一种移动计算机，它具有主体4101、记录笔4102、显示单元4103、操作按钮4104、外部接口4105等。本发明被用于显示单元4103。图29C示出了一种游戏机，它包括主体4201、显示单元4202、操作4姿4丑4203等。本发明;陂用于显示单元4202。图29D是一种蜂窝电话，它包括主体4301、声音输出单元4302、声音输入单元4303、显示单元4304、#:作开关4305、天线4306等。本发明被用于显示单元4304。图29E示出了一种电子书阅读器，它包括显示单元4401等。本发明;陂用于显示单元4401。由于本发明的应用范围极为广阔，故本发明能够被应用于所有领域的各种电子器件。特別是使器件能够更薄和/或更轻的本发明对于图29A-"E所示的电子器件是非常有效的。利用根据本发明的层离方法，TFT等能够被制作在柔性薄膜衬底上，由于能够在整个表面上进行分离而得到了高的成品率。而且，在本发明的TFT中不存在激光器等引起的负荷。于是，具有TFT等的发光器件、液晶显示器件的显示单元等能够被制作得薄，即使在跌落时也不容易破裂，且重量轻。而且，能够得到弯曲表面上或畸变形状中的显示。根据本发明制作的薄膜衬底上的TFT能够得到显示单元的扩大以及大规模生产。本发明使转移之前其上要制作TFT等的第一衬底能够重复使用，从而借助于采用低成本的薄膜衬底而达到了半导体膜的成本降低。权利要求1.一种制造半导体器件的方法，包含以下步骤在第一衬底上形成包含金属的膜；形成包括氧化物膜与含有半导体膜的TFT的层离层；在所述包含所述金属的膜上形成包含所述金属的氧化物层，其中，所述包含所述金属的膜与所述氧化物层的底侧接触形成；执行热处理，以便晶化所述氧化物层；以及将所述层离层与所述包含所述金属的膜分离，其中，所述分离出现在所述氧化物层中或在所述氧化物层与同所述氧化物层接触的所述包含所述金属的膜之间的界面处。2.—种制造半导体器件的方法，包含以下步骤在第一衬底上形成包含W的膜；形成包括氧化物膜与含有半导体膜的TFT的层离层；以及将所述包含W的膜与所述氧化物膜分离，其中，在形成所述氧化物膜时，包含W的氧化物层与所述包含W的膜接触形成，其中，所述氧化物层包括W02与W03，其中，用热处理晶化所述氧化物层，以及其中，所述分离出现在所述氧化物层的层中或在所述氧化物层与同所述氧化物层接触的所述包含W的膜之间的界面处。3.如权利要求1-2中任一项所述的制造半导体器件的方法，其中，所述热处理至少在430。C进行。4.如权利要求1-2中任一项所述的制造半导体器件的方法，还包括以下步骤将第二衬底粘贴到所述层离层；将所述层离层与所述第一衬底分离；将第三衬底粘贴到所述层离层的底侧；以及将所述第二村底与所述层离层分离。5.如权利要求2中所述的制造半导体器件的方法，其中，在所述分离之后，在所述衬底侧的所述氧化物层上\￥03多于W02，以及其中，在所述分离之后，在所述层离层侧的所述氧化物层上\￥03多于wo2。6.—种制造光电变换器的方法，包含以下步骤在第一衬底上形成包含金属的膜；形成包括氧化物膜与包含Si的PIN结的光电变换器的层离层；在所述包含所述金属的膜上形成包含所述金属的氧化物层，其中，所述包含所述金属的膜与所述氧化物层的底侧接触形成；执行热处理，以便晶化所述氧化物层；以及将所述层离层与所述包含所述金属的膜分离，其中，所述分离出现在所述氧化物层中或在所述氧化物层与同所述氧化物层接触的所述包含所述金属的膜之间的界面处。7.—种制造光电变换器的方法，包含以下步骤在第一衬底上形成包含W的膜；形成包括氧化物膜与包含Si的PIN结的光电变换器的层离层；以及将所述包含W的膜与所述氧化物膜分离，其中，在形成所述氧化物膜时，包含W的氧化物层与所述包含W的膜接触形成，其中，所述氧化物层包括\￥02与W03，其中，用热处理晶化所述氧化物层，以及其中，所述分离出现在所述氧化物层的层中或在所述氧化物层与同所述氧化物层接触的所述包含W的膜之间的界面处。8.如权利要求6-7中任一项所述的制造光电变换器的方法，其中，所述热处理至少在430。C进行。9.如权利要求6-7中任一项所述的制造光电变换器的方法，还包括以下步骤将第二衬底粘贴到所述层离层；将所述层离层与所述第一衬底分离；将第三衬底粘贴到所述层离层的底侧；以及将所述第二衬底与所述层离层分离。10.如权利要求7中所述的制造光电变换器的方法，其中，在所述分离之后，在所述衬底侧的所述氧化物层上\￥03多于wo2,以及其中，在所述分离之后，在所述层离层侧的所述氧化物层上W03多于wo2。11.一种制造发光器件的方法，包含以下步骤在第一衬底上形成包含金属的膜；形成包括氧化物膜与含有半导体膜的TFT的层离层；在所述层离层上形成发光元件；在所述包含所述金属的膜上形成包含所述金属的氧化物层，其中，所述包含所述金属的膜与所述氧化物层的底侧接触形成；执行热处理，以便晶化所述氧化物层；以及将所述层离层与所述包含所述金属的膜分离，其中，所述分离出现在所述氧化物层中或在所述氧化物层与同所述氧化物层接触的所述包含所述金属的膜之间的界面处。12.—种制造发光器件的方法，包含以下步骤在第一衬底上形成包含W的膜；形成包括氧化物膜与包含半导体膜的TFT的层离层；在所述层离层上形成发光元件；以及将所述包含W的膜与所述氧化物膜分离，其中，在形成所述氧化物膜时，包含W的氧化物层与所述包含W的膜接触形成，其中，所述氧化物层包括\￥02与W03,其中，用热处理晶化所述氧化物层，以及其中，所述分离出现在所述氧化物层的层中或在所述氧化物层与同所述氧化物层接触的所述包含W的膜之间的界面处。13.如权利要求11-12中任一项所述的制造发光器件的方法，其中，所述热处理至少在43(TC进行。14.如权利要求12中所述的制造发光器件的方法，其中，在所述分离之后，在所述衬底侧的所述氧化物层上\￥03多于wo2,以及其中，在所述分离之后，在所述层离层侧的所述氧化物层上W03多于wo2。15.—种制造传感器的方法，包含以下步骤在笫一衬底上形成包含金属的膜；形成包括氧化物膜与含有半导体膜的传感器元件的层离层；在所述包含所述金属的膜上形成包含所述金属的氧化物层，其中，所述包含所述金属的膜与所述氧化物层的底侧接触形成；执行热处理，以便晶化所述氧化物层；以及将所述层离层与所述包含所述金属的膜分离，其中，所述分离出现在所述氧化物层中或在所述氧化物层与同所述氧化物层接触的所述包含所述金属的膜之间的界面处。16.—种制造传感器的方法，包含以下步骤在第一衬底上形成包含W的膜；形成包括氧化物膜与包含半导体膜的传感器的层离层；以及将所述包含W的膜与所述氧化物膜分离，其中，在形成所述氧化物膜时，包含W的氧化物层与所述包含W的膜接触形成，其中，所述氧化物层包括\￥02与W03,其中，用热处理晶化所述氧化物层，以及其中，所述分离出现在所述氧化物层的层中或在所述氧化物层与同所述氧化物层接触的所述包含W的膜之间的界面处。17.如权利要求15-16中任一项所述的制造传感器的方法，其中，所述热处理至少在430。C进行。18.如权利要求15-16中任一项所述的制造传感器的方法，还包括以下步骤将第二衬底粘贴到所述层离层；将所述层离层与所述第一衬底分离；将第三衬底粘贴到所述层离层的底侧；以及将所述第二衬底与所述层离层分离。19.如权利要求15-16中任一项所述的制造传感器的方法，其中，所述传感器元件为采用多晶硅的压敏指紋扫描器。20.如权利要求16中所述的制造传感器的方法，其中，在所述分离之后，在所述衬底侧的所述氧化物层上W03多于wo2，以及其中，在所述分离之后，在所述层离层侧的所述氧化物层上\￥03多于wo2。21.—种制造电子书阅读器的显示单元的方法，包括以下步骤在第一衬底上形成包含金属的膜；形成包括氧化物膜与含有半导体膜的TFT的层离层；在所述包含所述金属的膜上形成包含所述金属的氧化物层，其中，所述包含所述金属的膜与所述氧化物层的底侧接触形成；执行热处理，以便晶化所述氧化物层；以及将所述层离层与所述包含所述金属的膜分离，其中，所述分离出现在所述氧化物层中或在所述氧化物层与同所述氧化物层接触的所述包含所述金属的膜之间的界面处。22.—种制造电子书阅读器的显示单元的方法，包含以下步骤在第一衬底上形成包含W的膜；形成包括氧化物膜与包含半导体膜的TFT的层离层；以及将所述包含W的膜与所述氧化物膜分离，其中，在形成所述氧化物膜时，包含W的氧化物层与所述包含W的膜接触形成，其中，所述氧化物层包括W02与wo3，其中，用热处理晶化所述氧化物层，以及其中，所述分离出现在所述氧化物层的层中或在所述氧化物层与同所述氧化物层接触的所述包含W的膜之间的界面处。23.如权利要求21-22中任一项所述的制造电子书阅读器的显示单元的方法，其中，所述热处理至少在430。C进行。24.如权利要求21-22中任一项所述的制造电子书阅读器的显示单元的方法，还包括以下步骤将第二衬底粘贴到所述层离层；将所述层离层与所述第一衬底分离；将第三衬底粘贴到所述层离层的底侧；以及将所述第二衬底与所述层离层分离。25.如权利要求22中所述的制造电子书阅读器的显示单元的方法，其中，在所述分离之后，在所述衬底侧的所述氧化物层上\￥03多于W02，以及其中，在所述分离之后，在所述层离层侧的所述氧化物层上W03多于wo2。全文摘要本申请为半导体器件及其制造方法、层离方法、以及转移方法。试验了一种用来在典型为柔性塑料膜的具有柔性的衬底上制作TFT元件的技术。当结构中用光阻挡层或反射层来防止对层离层的损伤时，难以制造透射型液晶显示器件或向下发光的发光器件。在金属膜形成在衬底上的状态下，用物理方法或机械方法分离了衬底与层离膜，且提供了包含包括金属的氧化物膜的层离层和形成在金属膜上的包含硅的膜。具体地说，制作了一种TFT，此TFT借助于在金属膜上形成包括金属的氧化物层；用热处理方法晶化氧化物层；以及在氧化物层中或在氧化物层的二个界面处进行分离而得到。文档编号H01L29/76GK101615593SQ20091016141公开日2009年12月30日申请日期2003年12月29日优先权日2002年12月27日发明者丸山纯矢,大野由美子,山崎舜平,高山彻申请人:株式会社半导体能源研究所