专利名称：阻挡层的形成方法
技术领域：
本发明涉及半导体器件互连层制造技术领域，特别涉及一种阻挡层的形成方法。
背景技术：
目前，在半导体器件的后段(back-end-of-line，BE0L)工艺中，制作半导体集成 电路时，半导体器件层形成之后，需要在半导体器件层之上形成金属互连层，每层金属互连 层包括金属互连线和绝缘材料层，这就需要对上述绝缘材料层制造沟槽(trench)和连接 孔，然后在上述沟槽和连接孔内沉积金属，沉积的金属即为金属互连线，一般选用铜作为金 属互连线材料。绝缘材料层包括刻蚀终止层，例如氮化硅层，还包括形成在刻蚀终止层上 的低介电常数(Low-K)材料层，例如含有硅、氧、碳、氢元素的类似氧化物(Oxide)的黑钻石 (black diamond, BD)或者掺有氟离子的硅玻璃(FSG)。现有技术中，铜互连层可以为三层，包括顶层、中间层及底层铜互连层，在实际工 艺制程中，可根据不同需要设置多层铜互连层。如果是在多层铜互连层的情况下，可以按要 求复制多层中间层铜互连层，有时也会按需要复制两层顶层铜互连层。具有三层铜互连层 的半导体器件结构示意图如图1所示。图中绝缘材料层下是半导体器件层，图中未显示。图 中顶层铜互连层由钝化层104覆盖，每层铜互连层包括刻蚀终止层101，以及沉积于其上的 低介电常数材料层102 ；由沟槽和连接孔形成的铜互连线103掩埋在绝缘材料层中，用于连 接各个铜互连层。从图1中可以看出，底层铜互连层只有连接孔；中间层铜互连层的左侧， 是沟槽和位于其下的连接孔相接，而右侧只有沟槽。所以说每层互连层具体设置沟槽还是 连接孔，是根据具体器件需要而定的。为了防止铜扩散进入绝缘层，更好地限制在沟槽和连接孔内，一般采用钽(Ta)和 氮化钽(TaN)的叠层结构，作为金属互连线和绝缘层之间的阻挡膜。现有技术中可以在连接孔，或者同时在沟槽和连接孔内形成阻挡层。本申请文件 以同时在沟槽和连接孔内形成阻挡层为例进行说明，同时在沟槽和连接孔内形成阻挡层的 剖面示意图如图2a至2c所示。如图2a所示，在绝缘层100上刻蚀形成有沟槽和连接孔，所述连接孔与下层的铜 互连线连接。通过物理气相沉积(PVD)的方法，在沟槽的底部和侧壁上，连接孔的底部和 侧壁上，以及沟槽的外表面溅射形成TaN层201 ；接下来，在TaN层201表面溅射形成Ta层 202，TaN层201和Ta层202共同构成叠层阻挡层。然后，如图2b所示，依次刻蚀连接孔底部上的Ta层202和TaN层201，形成开口， 露出下层的铜互连线。该过程称为物理轰击(re-sputter)，这是一个比较重要的步骤。如 果叠层阻挡膜如图2a中的情形，也可以实现阻挡膜的作用，但是这样依次溅射形成TaN层 201和Ta层202之后，连接孔底部的侧壁上的台阶覆盖(step coverage)是比较差的，即由 于孔相对较窄，沉积到孔内侧壁的TaN层201和Ta层202比较薄，则该位置就难以阻挡铜 的扩散。如果如图2b所示，进行物理轰击，将连接孔底部打开，则刻蚀掉的底部Ta和TaN 会反溅到连接孔底部的侧壁上，恰好补充了连接孔底部的侧壁厚度。另一方面，将连接孔底部打开时，不但可以使前后层的铜金属线更好地接触，而且，为了确保完全打开连接孔的底 部，会在完全刻蚀去除底部的同时，稍微过刻蚀下层的铜互连线，将下层的铜互连线刻蚀形 成一个凹槽，这样在形成如图2c中所示的情形时，即在下层的铜互连线的凹槽表面溅射金 属Ta时，溅射面积比较大，这样相比于只有如图2a的情形就可以减小阻挡膜的接触电阻。但是需要注意的是，随着半导体技术的不断发展，在铜互连层内设置的铜互连线 也越来越密集，所以会选择更低K值的绝缘材料层来降低铜互连线间的寄生电容，这些 Low-K材料层都为多孔材料，例如BD、FSG等，机械强度较差，因此在re-sputter过程中，更 容易受到等离子刻蚀的损伤。虽然re-sputter在理想状况下，只会对准连接孔的位置进行 轰击，但是实际上还是会影响到连接孔外侧的区域，由于Low-K材料层机械强度较差，无法 很好地抵抗等离子体的轰击，导致在沟槽与连接孔的交叠处以及连接孔的底部，都被严重 损伤，示意图如图2b所示。接着，如图2c所示，在上述形状被损坏的结构基础上，采用PVD的方法淀积第二 Ta 层203，覆盖露出的下层的铜互连线，以及沟槽和连接孔的其他位置，与之前的Ta层202相 连为一体。至此，现有技术的阻挡层已经形成。从上述可以看出，沟槽和连接孔内形成阻挡层之后，具有较差的形状，后续在阻挡 层表面形成铜种子层及进行电化学电镀(Electrical Chemical Plating，ECP)，都会产生 阻碍，因此将对半导体器件的电学性能带来不利的影响。
发明内容
有鉴于此，本发明解决的技术问题是形成阻挡层时，降低对Low-K材料层以及下 层铜互连线的损伤，形成较好的互连层形貌。为解决上述技术问题，本发明的技术方案具体是这样实现的本发明公开了一种阻挡层的形成方法，所述阻挡层形成在连接孔内或者同时形成 在沟槽和连接孔内，该方法包括依次淀积氮化钽TaN层和钽Ta层，形成由TaN层和Ta层构成的叠层阻挡层，所述 叠层阻挡层的厚度在10 50埃；对连接孔的底部进行物理轰击re-sputter，依次刻蚀连接孔底部的Ta层和TaN 层，显露出下层的铜互连线；将上述形成叠层阻挡层和re-sputter步骤循环执行N次，然后在第N层叠层阻挡 层表面及下层铜互连线表面淀积第二 Ta层，其中2 < N < 10。TaN层在具有金属靶Ta的反应腔内形成，通入反应腔内的气体包括氩气Ar和氮气
N2,所述Ar的流量为2 20标准立方厘米每分钟sccm ；所述N2的流量为10 30sccm。所述反应腔内直流功率为10 30千瓦；射频功率为0 1000瓦。Ta层或者第二 Ta层在具有金属靶Ta的反应腔内形成，通入反应腔内的气体包括 氩气Ar,所述Ar的流量为2 20sccm。所述反应腔内直流功率为10 30千瓦；射频功率为0 1000瓦。
re-sputter时，通入反应腔内的气体包括Ar，所述Ar的流量为10 30sccm。所述反应腔内直流功率为400 2000千瓦；射频功率为400 1200瓦。当N = 2时，形成叠层阻挡层的厚度为10 50埃，进行re-sputter时，去除连接 孔底部所述叠层阻挡层的厚度在10 40埃。经过N次循环之后，所述叠层阻挡层经过N次淀积之后的厚度在50 300埃。由上述的技术方案可见，本发明采用比较柔和的方法，通过多次沉积TaN/Ta阻挡 层以及re-sputter过程，来降低对Low-K材料层的损伤。与现有技术相比，在现有技术中是 一次性沉积TaN/Ta阻挡层以及进行re-sputter过程，所以TaN/Ta阻挡层沉积厚度较厚， 进而在进行re-sputter时，轰击程度就必须重一些，才可以刻蚀显露出下层的铜互连线， 这样长时间的轰击，自然会损伤到Low-K材料层。而本发明由于每次淀积TaN/Ta阻挡层的 厚度较薄，所以每次进行re-sputter时，需要刻蚀的时间比较短，对Low-K材料层的损伤就 比较小，而且也不会过多地刻蚀下层的铜互连线，最终经过多次循环形成了所需要的阻挡 层厚度，也同时得到了较好的互连层形貌。
图1为具有三层铜互连层的半导体器件结构示意图。图2a至2c为同时在沟槽和连接孔内形成阻挡层的剖面示意图。图3a至图3e为本发明优选实施例的形成阻挡层的具体结构示意图。图4为本发明优选实施例的形成阻挡层的方法流程示意图。
具体实施例方式为使本发明的目的、技术方案、及优点更加清楚明白，以下参照附图并举实施例， 对本发明进一步详细说明。本发明的核心思想是采用比较柔和的方法，通过多次沉积TaN/Ta阻挡层以及 re-sputter过程，每次沉积的TaN/Ta阻挡层都相对较薄，那么re-sputter时就可以相对容 易地刻蚀显露出下层的铜互连线，通过多次重复操作，来降低对Low-K材料层以及对下层 铜互连线的损伤。本发明执行上述循环步骤的次数可以为2 10次，从节省成本以及生产效率的角 度考虑，本发明的优选实施例为进行两次循环。下面对进行两次循环形成阻挡层的方法，进 行详细说明。图4为本发明优选实施例的形成阻挡层的方法流程示意图，具体结构示意图请参 阅图3a至图3e。该方法包括以下步骤步骤31、在沟槽和连接孔内形成TaN层和Ta层的叠层。当然也可以只形成TaN层 或者Ta层的单层，本实施例不再赘述。由于TaN与氧化物(Oxide)的粘合性相比Ta要好， Low-K材料层的成分就是Oxide，而且TaN阻挡铜扩散的能力也相比Ta要好，但是Ta与铜 的粘合性相比TaN要好，所以综合几方面的因素，优选为形成TaN层和Ta层的叠层。如图3a所示，在绝缘层100上刻蚀形成有沟槽和连接孔，所述连接孔与下层的铜 互连线连接。通过PVD的方法，在沟槽的底部和侧壁上，连接孔的底部和侧壁上，以及沟槽
5的外表面溅射形成TaN层；接下来，在TaN层表面溅射形成Ta层，TaN层和Ta层共同构成 叠层阻挡层300。其中，TaN层和Ta层在反应腔内通过PVD溅射形成，TaN层和Ta层共同构成叠层 阻挡层300的厚度在10 50埃。首先，氩气(Ar)辉光放电产生等离子体，轰击由金属Ta 构成的靶材料，撞击出Ta与通入的氮气(N2)结合，淀积TaN层。Ar的流量为2 20标准 立方厘米每分钟(sccm)；通入N2的流量为10 30sccm ；反应腔的直流(DC)功率在10 30千瓦；射频(RF)功率0 1000瓦。接着，淀积Ta层时，只需通入Ar，辉光放电产生等离 子体，轰击由金属Ta构成的靶材料，撞击出Ta，在TaN层的表面形成Ta层。此时，反应腔内 的具体工艺参数为Ar的流量为2 20sCCm ；反应腔的直流功率在10 30千瓦；射频功 率在0 1000瓦。步骤32、进行re-sputter，依次刻蚀连接孔底部上的Ta层和TaN层，即刻蚀连接 孔底部上的叠层阻挡层300，形成开口，露出下层的铜互连线。如图3b所示。实际上步骤 31中PVD溅射时，由于连接孔相对较窄，虽然淀积叠层阻挡层的厚度在10 50埃，但实 际上覆盖在连接孔底的厚度要相对薄一些，所以进行re-sputter时，去除连接孔底部叠层 阻挡层300的厚度在10 40埃，就可以显露出下层的铜互连线，其去除厚度的控制通过 re-sputter的时间确定。re-sputter针对连接孔的底部进行刻蚀，但仍会削薄其他位置的 厚度，从图3b可以看出，在沟槽的外表面，以及沟槽的底部，淀积于其上的叠层阻挡层相比 于图3a中要薄。进行re-sputter的具体刻蚀工艺参数为Ar的流量为10 30sCCm ；反应 腔的直流功率在400 2000瓦；射频功率在400 1200瓦。步骤33、如图3c所示，再次进行叠层TaN层和Ta层的淀积，形成第二叠层阻挡层 301，所述叠层覆盖沟槽的底部和侧壁，连接孔的底部和侧壁，以及沟槽的外表面。该步骤中 形成叠层的厚度及反应腔内的具体工艺参数都与步骤31中相同，在此不再赘述。步骤34、如图3d所示，依照步骤32中的工艺参数再次进行re-sputter，依次刻蚀 连接孔底部上的Ta层和TaN层，即刻蚀连接孔底部上的第二叠层阻挡层301，形成开口，再 次露出下层的铜互连线。步骤35、如图3e所示，采用PVD的方法淀积第二 Ta层303，覆盖露出的下层的铜 互连线，以及沟槽和连接孔的其他位置，与之前的Ta层相连为一体。形成第二 Ta层303的 具体工艺参数与步骤31中形成Ta层相同，同样在具有金属Ta的靶室中溅射形成，其中，Ar 的流量为2 20sccm ；反应腔的直流功率在10 30千瓦；射频功率在0 1000瓦。至此， 本发明的阻挡层已经形成。现有由于是一次性形成叠层TaN层201和Ta层202，所以厚度在50 300埃，而 本发明具体实施例中分为两次淀积TaN/Ta叠层，无论分为几次淀积该叠层，最终确保形成 图3d中的叠层厚度也在50 300埃即可。根据不同的工艺要求最终形成的叠层阻挡层厚 度是不同的，如果叠层阻挡层的厚度很厚，就需要根据本发明的方法，多进行几次循环，总 之，每次淀积叠层阻挡层的厚度在10 50埃最佳，确保re-sputter在短时间内，以较柔和 的方式刻蚀显露出下层的铜互连线，否则又有可能出现现有技术中re-sputter时损伤互 连层形貌的问题。采用本发明的方法，分为多次循环形成阻挡层，由于每次淀积TaN/Ta阻挡层的厚 度较薄，所以每次进行re-sputter时，需要刻蚀的时间比较短，对Low-K材料层以及下层铜互连线的损伤就比较小，最终经过多次循环形成了所需要的阻挡层厚度。需要说明的是，本发明的具体实施例所列举的是同时在沟槽和连接孔内形成阻挡 层的示意图，显然，如果在如图1所示的底层铜互连层内形成阻挡层时，由于图1中底层铜 互连层只有连接孔，为了达到本发明的目的，在连接孔内形成阻挡层的方法，也与上述基本 相同，不再一一介绍。以上所述，仅为本发明的较佳实施例而已，并非用于限定本发明的保护范围。凡在 本发明的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护 范围之内。
权利要求
1.一种阻挡层的形成方法，所述阻挡层形成在连接孔内或者同时形成在沟槽和连接孔 内，该方法包括依次淀积氮化钽TaN层和钽Ta层，形成由TaN层和Ta层构成的叠层阻挡层，所述叠层 阻挡层的厚度在10 50埃；对连接孔的底部进行物理轰击re-sputter，依次刻蚀连接孔底部的Ta层和TaN层，显 露出下层的铜互连线；将上述形成叠层阻挡层和re-sputter步骤循环执行N次，然后在第N层叠层阻挡层表 面及下层铜互连线表面淀积第二 Ta层，其中2彡N < 10。
2.如权利要求1所述的方法，其特征在于，TaN层在具有金属靶Ta的反应腔内形成，通 入反应腔内的气体包括氩气Ar和氮气N2,所述Ar的流量为2 20标准立方厘米每分钟sccm ； 所述N2的流量为10 30sccm。
3.如权利要求2所述的方法，其特征在于，所述反应腔内直流功率为10 30千瓦；射 频功率为ο 1000瓦。
4.如权利要求1所述的方法，其特征在于，Ta层或者第二Ta层在具有金属靶Ta的反 应腔内形成，通入反应腔内的气体包括氩气Ar，所述Ar的流量为2 20sccm。
5.如权利要求4所述的方法，其特征在于，所述反应腔内直流功率为10 30千瓦；射 频功率为ο 1000瓦。
6.如权利要求1所述的方法，其特征在于，re-sputter时，通入反应腔内的气体包括Ar,所述Ar的流量为10 30sccm。
7.如权利要求6所述的方法，其特征在于，所述反应腔内直流功率为400 2000千瓦； 射频功率为400 1200瓦。
8.如权利要求1至7任一项所述的方法，其特征在于，当N= 2时，形成叠层阻挡层的 厚度为10 50埃，进行re-sputter时，去除连接孔底部所述叠层阻挡层的厚度在10 40埃。
9.如权利要求1所述的方法，其特征在于，经过N次循环之后，所述叠层阻挡层经过N 次淀积之后的厚度在50 300埃。
全文摘要
本发明公开了一种阻挡层的形成方法，所述阻挡层形成在连接孔内或者同时形成在沟槽和连接孔内，包括依次淀积氮化钽TaN层和钽Ta层，形成由TaN层和Ta层构成的叠层阻挡层，所述叠层阻挡层的厚度在10～50埃；对连接孔的底部进行物理轰击re-sputter，依次刻蚀连接孔底部的Ta层和TaN层，显露出下层的铜互连线；将上述形成叠层阻挡层和re-sputter步骤循环执行N次，然后在第N层叠层阻挡层表面及下层铜互连线表面淀积第二Ta层，其中2≤N≤10。该方法在形成阻挡层时，有效降低对Low-K材料层以及对下层铜互连线的损伤，形成较好的互连层形貌。
文档编号H01L21/768GK102005411SQ20091019495
公开日2011年4月6日 申请日期2009年9月1日 优先权日2009年9月1日
发明者聂佳相 申请人:中芯国际集成电路制造(上海)有限公司