专利名称：兼具批次与连续作业的真空装置的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种真空装置，特别是涉及一种可用于进行批次镀膜、批次电浆
清洁作业，或是与生产线配合进行连贯生产作业的兼具批次与连续作业的真空装置。
背景技术：
真空设备广泛应用于半导体相关制程，其中一种主要用于批次作业的真空装置， 其腔体内部通常设有多个靶材，以及用于轰击靶材的电子枪或离子枪，该真空装置内部可 供多片基板摆置，以对所述基板进行批次镀膜作业，或是在基板镀膜之前，利用电浆预先轰 击以进行基板表面清洁。 然而，上述真空装置没有与生产线上的其它机台相连结或互相传输的构造，因此 该真空装置为独立装置，并只能用于进行批次镀膜作业，而无法与生产线上其它作业流程 整并以完成连续作业，欲进行连续作业时，则必须使用另一种专用于连续作业的真空装置。 也就是说，目前真空装置的设计，不是只单独作为批次作业使用，就是只单独供连续作业使 用，尚没有任何单一装置兼具有批次作业与连续作业的功能，使用上不尽理想。
实用新型内容本实用新型的目的是在提供一种应用性广、使用方便的兼具批次与连续作业的真 空装置。 本实用新型兼具批次与连续作业的真空装置，包含一腔体、一批次作业机构以及 一连续作业机构。 该腔体包括上下间隔的一底壁与一顶壁、一连接在所述底壁与顶壁之间的围壁， 以及一由所述底壁、顶壁与围壁共同界定出的腔体空间。该批次作业机构包括一设置在该 腔体空间的主轴单元、一连结并驱动该主轴单元转动的第一动力源，以及至少一个受该主 轴单元带动而运作的从动轴单元。该连续作业机构设置在该腔体空间，并包括至少一个输 送单元，该输送单元包括一第二动力源，以及至少一受该第二动力源驱动而转动的输送轮。 本实用新型的有益效果在于借由同时设置该批次作业机构及连续作业机构，操 作者可视作业需求而选择进行批次作业或连续作业，达到双重使用、应用性广等优点。
图1是一局部剖视的立体图，显示本实用新型兼具批次与连续作业的真空装置的 一最优选实施例； 图2是该最优选实施例的一前侧的外壳取下后的前视图，且图2的底部局部剖视 以显示一主动齿轮与多个从动轴单元的连结关系； 图3是取自图2的局部放大图； 图4是该最佳实施例的俯视剖视图。
具体实施方式
以下结合附图及实施例对本实用新型进行详细说明。 参阅图1、2、3、4，本实用新型兼具批次与连续作业的真空装置的最优选实施例，可 用于带动多片第一基板41在原地转动，以及输送二片第二基板42前后移动，而且该真空装 置包含一腔体1、一批次作业机构2，以及一连续作业机构3。 该腔体1是由两个前后对接的外壳10所组成，所述外壳10对接后，该腔体1包括 上下间隔的一底壁11与一顶壁12、一围绕一中心轴线Ll并连接在所述底壁11与顶壁12 之间的围壁13，以及一由所述底壁11、顶壁12与围壁13共同界定出的腔体空间14。所述 围壁13具有一个直立设置的连通口 131，以及多个彼此间隔的安装部132。该连通口 131 用于连结生产线上的其它机台，并供由其它机台输送而来的第二基板42经由该连通口 131 进入该腔体空间14。所述安装部132都可供一靶材进行溅镀，或是供用于清洁腔体或清洁 基板的装置摆置。 该批次作业机构2包括一主轴单元21、一第一动力源22，以及多个从动轴单元23。 其中，该主轴单元21包括一个直立延伸于该腔体空间14的中央的长杆状主轴211，以及一 个与该主轴211连动固结的主动齿轮212。该主轴211具有一个向下突出于该主动齿轮212 的下表面的动力连接部213。该主动齿轮212围绕连结在该主轴211的外周，并且位于该腔 体1的底壁11的上表面。该第一动力源22为一个马达，且该第一动力源22的一第一动力 轴221透过一图未示出的联轴器连结该主轴211的动力连接部213，以驱动该主轴211与该 主动齿轮212同步地绕自身中心轴线转动，也就是绕该中心轴线L1转动。 所述从动轴单元23都围绕该中心轴线Ll与主轴单元21而彼此间隔排列，并且都 包括一个啮合在该主动齿轮212的外周缘的第一齿轮231、一个与该第一齿轮231啮合并 位于该第一齿轮231的外周缘的第二齿轮232、一个与该第二齿轮232连动地结合的从动轴 233，以及多个上下间隔地设置在该从动轴233上的置物件234。所述第一齿轮231受该主 轴单元21带动而绕自身中心轴线转动，进而连动所述第二齿轮232与从动轴233绕自身中 心轴线转动。所述从动轴233为上下直立延伸，并围绕排列在该主轴211的外围，且所述从 动轴233各别对应该腔体1的所述安装部132的位置。所述置物件234连动地设置在该从 动轴233上而可随着从动轴233同步转动，所述置物件234都可以各别供一片或多片第一 基板41摆置(图2只示意三片第一基板41)，并带动第一基板41同步地在原地转动。 该连续作业机构3设置在该腔体空间14的中央处，并包括一水平的基壁31、两个 自该基壁31的左右两侧向上延伸的侧壁32，以及两组左右间隔设置的输送单元33，所述输 送单元33各别对应左侧及右侧的侧壁32，并且都包括三个前后间隔地位于与其对应的侧 壁32的内侧的传动轮331、一个间隔地位于该基壁31的下方的第二动力源332、一个连结 该第二动力源332的一第二动力轴335与最前侧的传动轮331的第一皮带333、两个连结所 述三个传动轮331的第二皮带336，以及三个各别与所述传动轮331同步转动地衔接并位于 侧壁32的外侧的输送轮334。 该第二动力源332的动力透过该第一皮带333传递给该最前侧的传动轮331 ，再借 由第二皮带336将动力传递给后面两个传动轮331 ，以驱动所述传动轮331各别绕一水平轴 线L2而在原地转动，进而连动该输送轮334也绕该水平轴线L2转动，用以运输前述第二基 板42。[0019] 本实用新型使用时，如果要进行批次作业，可以在每一个置物件234上都置放一 片或多片第一基板41，并借由该第一动力源22的动力，驱动该主轴单元21带动所述从动 轴单元23转动，使第一基板41同步地在原地转动，设置在腔体l中且图未示出的离子枪或 溅镀枪，将靶材材料溅射出而披覆形成于第一基板41上，以完成第一基板41的批次镀膜作 业。另外，在第一基板41镀膜之前，也可以先以电浆轰击第一基板41表面，以进行第一基 板41的批次电浆清洁作业。所述第一基板41持续以固定转速转动，可提升镀膜膜层的均 匀性。 本实用新型另外可供连续作业使用，左右两侧的第二动力源332启动后，各别驱 动左右两侧的输送单元33运转，使得由生产线上其它机台输送而来的第二基板42，经由该 连通口 131进入后，可以受到输送轮334转动带动而传输进入该腔体空间14中，而且本实 施例设置两个输送单元33，可同时且各别地运输一片直立的第二基板42，并将第二基板42 相对该腔体1前后移动输送。 需要说明的是，主轴单元21与从动轴单元23的连结方式不须加以限制，只要能达 到带动第一基板41转动的目的就可以，同样地，输送单元33的连结构造与运作方式不限于 本实施例所述，例如，输送单元33不以两个为必要，每一个输送单元33也不以设置三个传 动轮331与三个输送轮334为必要。 由以上说明可知，借由在该腔体1中同时设置该批次作业机构2及连续作业机构 3，当其中一机构运作时，另一机构就停止运作，使用时可视作业需求而选择进行批次作业 或连续作业，因此本实用新型可供作为批次镀膜、批次电浆清洁作业，或是与生产线配合进 行连贯生产作业，达到双重使用、应用性广等优点。
权利要求一种兼具批次与连续作业的真空装置，包含一个腔体，包括上下间隔的一个底壁与一个顶壁、一个连接在所述底壁与顶壁之间的围壁，以及一个由所述底壁、顶壁与围壁共同界定出的腔体空间，其特征在于，所述兼具批次与连续作业的真空装置还包含一个批次作业机构，包括一个设置在所述腔体空间的主轴单元、一个连结并驱动所述主轴单元转动的第一动力源，以及至少一个受所述主轴单元带动而运作的从动轴单元；及一个连续作业机构，设置在所述腔体空间，并包括至少一个输送单元，所述输送单元包括一个第二动力源，以及一个受所述第二动力源驱动而转动的输送轮。
2. 根据权利要求1所述的兼具批次与连续作业的真空装置，其特征在于所述主轴单 元包括一支直立延伸的主轴，以及一个与所述主轴连动地组装的主动齿轮，所述第一动力 源是一个马达，并连结所述主轴以驱动所述主轴与所述主动齿轮绕自身中心轴线转动。
3. 根据权利要求2所述的兼具批次与连续作业的真空装置，其特征在于所述从动轴 单元包括一个与所述主动齿轮啮合的第一齿轮、一个与所述第一齿轮啮合的第二齿轮、一 个与所述第二齿轮连动地结合而可受带动而绕自身中心轴线转动并直立延伸的从动轴，以 及多个上下间隔地设置在所述从动轴上的置物件。
4. 根据权利要求1所述的兼具批次与连续作业的真空装置，其特征在于所述批次作 业机构包括多个彼此间隔并且都连结所述主轴单元且受所述主轴单元带动而运作的从动 轴单元，所述腔体的围壁具有多个各别对应所述从动轴单元的安装部。
5. 根据权利要求1所述的兼具批次与连续作业的真空装置，其特征在于所述输送单 元还包括一个带动所述输送轮同步转动的传动轮，以及一个连结所述第二动力源及所述传 动轮的第一皮带，所述第二动力源带动所述传动轮绕一条水平轴线转动，进而连动所述输 送轮绕所述水平轴线转动。
6. 根据权利要求5所述的兼具批次与连续作业的真空装置，其特征在于所述连续作 业机构还包括一个水平的基壁、两个自所述基壁的左右两侧向上延伸的侧壁，以及两个左 右间隔设置并各别对应所述侧壁的输送单元，所述输送单元的传动轮与输送轮各别位于所 述侧壁的内侧及外侧。
专利摘要一种兼具批次与连续作业的真空装置，包含一腔体、一批次作业机构以及一连续作业机构。该批次作业机构包括一设置在该腔体中的主轴单元、一连结并驱动该主轴单元转动的第一动力源，以及至少一个受该主轴单元带动而运作并供多片第一基板摆放的从动轴单元。该连续作业机构包括至少一个输送单元，该输送单元包括一第二动力源，以及一受该第二动力源驱动而转动并用于输送一第二基板的输送轮。借由同时设置该批次作业机构及连续作业机构，可视作业需求而选择进行批次或连续作业，达到双重使用、应用性广等优点。
文档编号H01L21/00GK201549480SQ20092016189
公开日2010年8月11日 申请日期2009年7月20日 优先权日2009年7月20日
发明者许建志, 郑博仁, 黄泳钊 申请人:北儒精密股份有限公司