专利名称：升降位置调节装置的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种动力传送机构，更具体地涉及用于对腔体内的器件进行升降
位置调节的升降位置调节装置。
背景技术：
升降位置调节装置运用的场合极为广泛，特别是应用于产品自动化生产线上，且 所述升降位置调节装置的设计常因使用目的的不同而不同。在现有的升降位置调节装置 中，大都是通过马达减速机驱动联轴器和滚珠丝杆工作，所述滚珠丝杆与导轨滑块配合进 而实现升降位置调节。然而，所述升降位置调节装置结构复杂、成本较高，且由于所述联轴 器、滚珠丝杆和导轨滑块在工作过程中不断发生摩擦，导致了传动精度低、噪音大、传动不 可靠以及占用空间大等问题。 另外，在半导体工艺中，特别是传输、光刻等生产过程大都需要在真空环境下进 行。在整个传输/光刻过程中，一方面需要保持真空腔体内有较高的真空度，即是保证整个 生产过程中真空气体不会泄露到外界；另一方面对所述真空腔体内的气体质量也有较高的 要求，即是防止由于运动摩擦造成零部件粒化的粉粒进入到所述真空腔体内，从而污染所 述真空腔体内的气体，进而影响到产品的质量。但是，所述升降位置调节装置并没有考虑到 半导体工艺中对真空气体的保护问题，因此将所述升降位置调节装置应用到半导体工艺中 时，容易导致所述真空腔体内的真空气体的泄露以及真空污染等问题，从而导致生产维护 成本增加以及产品质量问题。 因此，有必要提供一种改进的升降位置调节装置以克服上述缺陷。
实用新型内容本实用新型的目的是提供一种升降位置调节装置，所述升降位置调节装置结构简 单紧凑、成本较低、传动精确且占用空间小，还能满足半导体工艺中对真空度的要求。 为了实现上述目的，本实用新型提供了一种升降位置调节装置，适用于对腔体内 的器件进行升降位置调节，所述升降位置调节装置包括驱动机构、驱动机构固定板、导向 板、花键轴、花键套、推动轴及推动板。所述驱动机构与所述驱动机构固定板固定连接，所述 花键套安装于所述导向板上，所述花键轴的一端与所述驱动机构固定板固定连接，所述花 键轴的另一端滑动的穿过所述花键套并与所述腔体固定连接，所述驱动机构的驱动轴与所 述导向板连接，所述推动轴的一端与所述导向板固定连接，所述推动轴的另一端伸入所述 腔体并与所述推动板固定连接，所述推动板位于所述腔体内，所述驱动机构固定板、导向板 及推动板相互平行，所述驱动机构驱动所述导向板作直线往复运动，所述导向板带动所述 推动板作直线往复运动。 在本实用新型一优选实施例中，所述升降位置调节装置还包括花键轴固定板，所 述花键轴固定板与所述腔体固定连接，滑动的穿过所述花键套的花键轴的一端与所述花键 轴固定板固定连接，所述花键轴固定板与所述导向板平行。[0008] 较佳地，所述升降位置调节装置还包括波纹管，所述波纹管连接于所述导向板和 腔体之间，且所述波纹管的两端分别具有密封圈，所述推动轴穿过所述波纹管。采用这样的 所述波纹管与密封圈相配合的设计，满足了半导体工艺中对真空腔体内保证较高真空度的 要求，有效避免了真空腔体内的真空气体的泄露，同时还阻挡了外界气体进入所述真空腔 体内，因而保持了较好的工艺环境，进而提高了器件的质量。 较佳地，所述驱动机构为汽缸马达或电缸马达，所述驱动机构的驱动轴与所述导 向板固定连接。当所述驱动机构为汽缸马达，在调节过程中，可以有效地避免因器件过载而 损害所述升降位置调节装置的危险，并且结构比较简单、容易控制。当所述驱动机构为电缸 马达，在调节过程中，由于所述电缸马达推动的距离是可以控制的，即根据位置调节的需要 控制所述电缸马达达到在任一位置调节的目的，因而可以保证较高的调节行程精度。 可选地，所述驱动机构为电动马达，所述驱动机构的驱动轴与所述导向板啮合，从 而可以保证位置调节的精确性。 较佳地，所述花键轴为滚珠花键轴，所述花键套为滚珠花键套。所述滚珠花键套与 滚珠花键轴组成滚珠花键副以承受较大的负荷和动力，并且所述滚珠花键副寿命长、重量 轻，同时使得所述升降位置调节装置更加紧凑。 较佳地，所述波纹管为不锈钢波纹管。 较佳地，所述驱动机构固定板或花键轴固定板或腔体上设有位置传感器，所述位 置传感器检测所述推动板的位置，从而保证了传动的精度及传动可靠性，同时还提高了工 作效率。 与现有技术相比，由于本实用新型采用驱动机构驱动导向板在花键轴上作直线往 复运动，从而带动与所述导向板固定连接的推动轴及固定于所述推动轴的推动板作直线往 复运动，进而达到调节升降位置的目的，结构简单紧凑、成本较低、占用空间较小并且使用 过程中噪音较小。 通过以下的描述并结合附图，本实用新型将变得更加清晰，这些附图用于解释本 实用新型的实施例。
图1为本实用新型的升降位置调节装置的一实施例结构示意图。 图2为本实用新型的升降位置调节装置的另一实施例的结构示意图。 图3为图2所示的升降位置调节装置翻转180度后的结构示意图。 图4为图2所示的升降位置调节装置顺时针翻转90度后的结构示意图。
具体实施方式现在参考附图描述本实用新型的实施例，附图中类似的元件标号代表类似的元 件。如上所述，由于本实用新型采用驱动机构驱动导向板在花键轴上作直线往复运动，从而 带动与所述导向板固定连接的推动轴及固定于所述推动轴的推动板作直线往复运动，进而 达到升降调节位置的目的，结构简单紧凑、成本较低、占用空间较小并且使用过程中噪音较 小。 本实用新型的升降位置调节装置可应用于不需要真空环境和/或对气体流动不做限制的场合。参考图l所示的本实用新型的升降位置调节装置的一优选实施例的结构示 意图。如图所示，所述升降位置调节装置包括驱动机构10、驱动机构固定板12、导向板14、 花键套16、花键轴18、花键轴固定板20、推动轴22、推动板24以及位置传感器26。所述驱 动机构10与所述驱动机构固定板12固定连接，所述花键套16安装于所述导向板14上，所 述花键轴固定板20与腔体28固定连接，所述花键轴18的一端与所述驱动机构固定板12 固定连接，所述花键轴18的另一端可滑动的穿过所述花键套16并与所述花键轴固定板20 固定连接，所述驱动机构10的驱动轴30与所述导向板14连接，所述推动轴22的一端与所 述导向板14固定连接，所述推动轴22的另一端伸入所述腔体28并与所述推动板24固定 连接，所述位置传感器26设于所述驱动机构固定板12上，所述位置传感器26检测所述推 动板24的位置。所述驱动机构固定板12、导向板14、花键轴固定板20及推动板24相互平 行，所述驱动机构10驱动所述导向板14作直线往复运动，所述导向板14带动所述推动板 24作直线往复运动。 可选地，在本实用新型另一实施例中，所述花键轴18的一端可滑动的穿过所述花 键套16并与所述腔体28固定连接，所述位置传感器26设于所述花键轴固定板20或腔体 28上。 在本实施例中，所述驱动机构10为电缸马达，具体地为直线电缸马达，所述驱动 机构10的驱动轴30与所述导向板14固定连接。由于所述电缸马达推动的距离是可以控 制的，即根据位置调节的需要控制所述电缸马达达到在任一位置调节的目的，因而可以保 证较高的调节行程精度。可选地，所述驱动机构io为汽缸马达，具体地为直线汽缸马达，所 述驱动机构10的驱动轴30与所述导向板14固定连接。在调节过程中，可以有效地避免因 器件过载而损害所述升降位置调节装置的危险，并且结构比较简单、容易控制。可选地，所 述驱动机构10为电动马达，所述驱动机构10的驱动轴30与所述导向板14啮合。这样可以 保证位置调节的精确性。所述花键轴18为滚珠花键轴，所述花键套16为滚珠花键套。所 述滚珠花键轴和滚珠花键套组成滚珠花键副，可以承受较大的负荷和动力，并且所述滚珠 花键副寿命长、重量轻，同时使得所述升降位置调节装置更加紧凑。 采用图1所示的升降位置调节装置进行升降位置调节时，在所述推动板24上安装 吊钩以钩取待进行升降位置调节的器件，所述驱动机构10驱动所述导向板14沿图示箭头A 的方向作直线往复运动，从而带动一端与所述导向板14固定连接的推动轴22 —起沿图示 箭头A的方向作直线往复运动，进而带动固定连接于所述推动轴22的另一端的推动板24 一起沿图示箭头A的方向作直线往复运动，最终实现对放置于所述推动板24上的器件的垂 直方向的升降位置调节。并且在所述导向板14、推动轴22及推动板24 —起在垂直方向上 作直线往复运动的过程中，设于所述驱动机构10上的位置传感器26还可以实时检测所述 推动板24的位置，从而保证了传动的精度及传动可靠性，同时还提高了工作效率。 参考图2所示的本实用新型的另一优选实施例，本实施例中的升降位置调节装置 主要应用于对真空度要求较高的半导体工艺中。如图所示，所述升降位置调节装置还包括 波纹管32，所述波纹管32连接于所述导向板14和腔体28之间，且所述波纹管32的两端 分别通过o形密封圈34安装在所述导向板14和腔体板28上。需要注意的是，在本实施例 中，所述腔体28为真空腔体。采用波纹管32的设计满足了半导体工艺中对真空腔体内保 证较高真空度的要求，有效避免了真空腔体内的真空气体的泄露，同时还阻挡了外界气体进入所述真空腔体内，因而保持了较好的工艺环境，进而提高了器件的质量。另外，本实施 例中采用的o形密封圈与所述波纹管32和所述推动轴22的形状相匹配，因而达到了更好 的密封效果。因此，本实施例中的升降位置调节装置特别适合用于对真空度要求较高的半 导体工艺中。 需要注意的是，由于本实施例中的升降位置调节装置的其他部件的连接关系与图 1所示的实施例类似，在此不在赘述。另外，本实施例的升降位置调节装置用于对真空腔体 内的器件进行升降位置调节的工作原理及操作过程与图1所示的实施例类似，在此不再赘 述。 需要注意的是，采用本实用新型的升降位置调节装置进行升降位置调节时，除了 采用如图1和2所示的方向外，还可以将图1和2所示的升降位置调节装置旋转180度和 90度，如图3和4所示。图3为图2所示升降位置调节装置旋转180度的结构示意图，此时 毋须在所述推动板24上安装挂钩便可实现对器件的升降位置调节；图4为图2所示升降位 置调节装置旋转90度的结构示意图，此时可在所述推动板24上安装挂钩，由所述驱动机构 10驱动所述导向板14沿图示箭头B方向作直线往复运动，从而带动所述推动板24沿图示 箭头B方向作直线往复运动进而实现对器件的横向位置调节。当将所述升降位置调节装置 旋转180度或90度时，实现升降位置调节的具体过程与上述实施例类似，在此不在赘述。 以上结合最佳实施例对本实用新型进行了描述，但本实用新型并不局限于以上揭 示的实施例，而应当涵盖各种根据本实用新型的本质进行的修改、等效组合。
权利要求一种升降位置调节装置，适用于对腔体内的器件进行升降位置调节，其特征在于所述升降位置调节装置包括驱动机构、驱动机构固定板、导向板、花键轴、花键套、推动轴及推动板，所述驱动机构与所述驱动机构固定板固定连接，所述花键套安装于所述导向板上，所述花键轴的一端与所述驱动机构固定板固定连接，所述花键轴的另一端滑动的穿过所述花键套并与所述腔体固定连接，所述驱动机构的驱动轴与所述导向板连接，所述推动轴的一端与所述导向板固定连接，所述推动轴的另一端伸入所述腔体并与所述推动板固定连接，所述推动板位于所述腔体内，所述驱动机构固定板、导向板及推动板相互平行，所述驱动机构驱动所述导向板作直线往复运动，所述导向板带动所述推动板作直线往复运动。
2. 如权利要求1所述的升降位置调节装置，其特征在于还包括花键轴固定板，所述花键轴固定板与所述腔体固定连接，滑动的穿过所述花键套的花键轴的一端与所述花键轴固定板固定连接，所述花键轴固定板与所述导向板平行。
3. 如权利要求l所述的升降位置调节装置，其特征在于还包括波纹管，所述波纹管连接于所述导向板和腔体之间，且所述波纹管的两端分别具有密封圈，所述推动轴穿过所述波纹管。
4. 如权利要求1所述的升降位置调节装置，其特征在于所述驱动机构为汽缸马达或电缸马达，所述驱动机构的驱动轴与所述导向板固定连接。
5. 如权利要求l所述的升降位置调节装置，其特征在于所述驱动机构为电动马达，所述驱动机构的驱动轴与所述导向板啮合。
6. 如权利要求1所述的升降位置调节装置，其特征在于所述花键轴为滚珠花键轴，所述花键套为滚珠花键套。
7. 如权利要求3所述的升降位置调节装置，其特征在于所述波纹管为不锈钢波纹管。
8. 如权利要求1所述的升降位置调节装置，其特征在于所述驱动机构固定板或花键轴固定板或腔体上设有位置传感器，所述位置传感器检测所述推动板的位置。
专利摘要本实用新型公开了一种升降位置调节装置，包括驱动机构、驱动机构固定板、导向板、花键轴、花键套、推动轴及推动板，所述驱动机构与所述驱动机构固定板固定连接，所述花键套安装于所述导向板上，所述花键轴的一端与所述驱动机构固定板固定连接，另一端滑动的穿过所述花键套并与腔体固定连接，所述驱动机构的驱动轴与所述导向板连接，所述推动轴的一端与所述导向板固定连接，另一端伸入所述腔体并与所述推动板固定连接，所述推动板位于所述腔体内，所述驱动机构固定板、导向板及推动板相互平行。由于本实用新型采用驱动机构驱动导向板作直线往复运动，从而带动所述推动板作直线往复运动，结构简单紧凑、成本较低、占用空间较小并且使用过程中噪音较小。
文档编号H01L21/00GK201540879SQ20092019338
公开日2010年8月4日 申请日期2009年8月25日 优先权日2009年8月25日
发明者刘惠森, 杨明生, 王勇, 王曼媛, 范继良, 雷振宇 申请人:东莞宏威数码机械有限公司