半导体器件的制作方法

专利名称：半导体器件的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种半导体器件。
技术背景
在使用半导体器件的电功率变换器领域，本领域技术人员已知将矩阵式转换器作 为执行交流到交流转换(下文称为“AC/AC转换”)、交流到直流转换(下文称为“AC/DC转 换”)以及直流到交流转换(下文称为“DC/AC转换”)的直接转换器电路。
该矩阵式转换器包括交流开关。因为对交流开关施加交流电压，所以需要这些交 流开关在正向和反向呈现耐电压。换言之，这些交流开关需要呈现正向耐电压和反向耐电 压。从减小矩阵式转换器的大小、重量和成本以及提高其转换效率和响应速度的角度出发， 双向开关装置已经吸引了很多注意力。作为一种双向开关装置，本领域技术人员已知一种 包括相互并联的两个反向阻断绝缘栅双极晶体管(下文称为“反向阻断IGBT”)的开关。


图10是常规反向阻断IGBT的横截面图。在以下描述和附图中，在前置有“η型” 或“P型”的层和区域中，电子或空穴是多数载流子。
现参照图10，隔离部210在该反向阻断IGBT中的η型半导体衬底的边缘区域中形 成，以将由于将该半导体衬底切割成芯片时在半导体衬底的侧面引起的晶体缺陷与有源区 100隔离开。在有源区100中，形成了包括η型漂移区1、P型沟道区2、η型发射极区3以 及P型集电极区10的垂直IGBT。在隔离部210中，隔离区211被形成为从衬底正面穿过该 半导体衬底至衬底背面，以使该隔离区211覆盖该衬底侧平面。隔离区211连接至形成于 有源区100背面上的集电极区10。
通过如上所述地沉积隔离区211，当施加反向电压时，耗尽层从衬底背面上的集电 极区10沿隔离区211扩展。因此，防止了耗尽层到达衬底侧平面，且防止在如图10所示的 反向阻断IGBT中引起漏电流。因此，有可能提供具有反向耐电压的反向阻断IGBT。在隔离 区211与有源区100之间，形成了耐击穿结边缘终止区(以下简称为“耐击穿区”)200。耐 击穿区200使构成该半导体器件的pn结上的电场驰豫，并实现期望的耐电压。
图11是详细示出该半导体器件中的有源区100的横截面图。
在有源区100中，在构成η型半导体衬底的漂移区1的正面侧上的表面部分中选 择性地形成了 P型沟道区2。在该沟道区2表面部分中，选择性地形成了 η型发射极区3和 P型体区4。在漂移区1上，利用夹在漂移区1与栅电极7之间的栅绝缘膜6形成了栅电极 7。在栅电极7上，形成了层间绝缘膜8。形成发射极电极9以使发射极电极9与发射极区 3和体区4接触。发射极电极9通过层间绝缘膜8与栅电极7绝缘。在漂移区1的背面侧 上，形成了 P型集电极区10和集电极电极11。
图12是详细示出该半导体器件中的耐击穿结边缘终端区200的横截面图。
在耐击穿结边缘终端区(下文简称为“耐击穿区”)200中，在漂移区1正面侧上 的表面部分中形成了作为浮置P型区的多个场限制环(以下称为“FLR”)201。下方未形成 FLR 201的漂移区1正面被层间绝缘膜8覆盖。在层间绝缘膜8上，形成了场电极(下文称为“FP”) 202，该场电极是浮置导电膜。FP 202与FLR 201接触并电连接。在衬底边缘区域 中，具有与隔离区211电位相同的电位的场电极212(以下称为“等电位FP 212”)在层间 绝缘膜8上形成。等电位FP 211与隔离区212接触并电连接。
耐击穿区200包括在施加正向电压时主要提高正向耐电压的区域(下文称为“耐 正向击穿区”)以及在施加反向电压时主要提高反向耐电压的区域(下文称为“耐反向击穿 区”)。虽然未在图12中示出，但耐正向击穿区在耐击穿区200中的有源区100侧形成。耐 反向击穿区在耐击穿区200中的边缘区域侧形成。除耐正向击穿区和耐反向击穿区以外， 形成了上述的多个FLR 201和上述的多个FP 202。
图13是详细示出该半导体器件中的耐正向击穿区的横截面图。
在耐击穿区200中，ρ型沟道截断区231在耐正向击穿区220与耐反向击穿区240 之间形成。场电极232(下文称为中间FP 232)电连接至沟道截断区231。耐正向击穿区 220在有源区100与中间FP 232之间形成。在耐正向击穿区220中，形成了电连接至场限 制环221(下文称为“内FLR221”)的场电极222(下文称为“内FP 222”)，以使内FP 222 向耐击穿区200的边缘区域突出。
图14是详细示出该半导体器件中的耐反向击穿区的横截面图。
耐反向击穿区240从中间FP 232形成至耐击穿区200的边缘区域侧。在耐反向 击穿区MO中，形成了电连接至场限制环241 (下文称为“外FLR241”)的场电极M2 (下文 称为“外FP 242” )，以使外FP 242向有源区100突出。
以下的专利文献1提出了一种呈现如上述反向阻断IGBT的高耐电压的平面型半 导体器件。所提出的半导体器件包括第一导电类型的半导体衬底；从该半导体衬底的第 一主表面延伸至其第二主表面的第二导电类型的隔离扩散区；包括平面结的第二导电类型 的基区，该基区在该半导体衬底的第一主表面侧形成且被隔离扩散区包围；在基区与隔离 扩散区之间形成的结边缘终止结构；以及在半导体衬底的第二主表面侧形成并连接至隔离 扩散区的第二导电类型的集电极层。在所提出的半导体器件中，结边缘终止结构包括在基 区周围的外围表面部分中形成的第二导电类型的环形浮置保护环，且相邻的浮置保护环之 间留有间隔；在隔离扩散区与保护环之间的衬底表面上形成的场绝缘膜；在保护环之间的 衬底表面上形成的场绝缘膜；在保护环与基区之间的衬底表面上形成的场绝缘膜；与隔离 扩散区电接触的导电场电极；与保护环电接触的导电场电极；以及与基区电接触的导电场 电极。该导电场电极至少在最内场绝缘膜和相邻的场绝缘膜上向外突出。该导电场电极至 少在最外场绝缘膜和相邻的场绝缘膜上向内突出。
以下的专利文献2提出了另一种反向阻断半导体器件。在以下专利文献2中提出 的反向阻断半导体器件包括在第一导电类型的漂移层的表面部分中选择性形成的第二导 电类型的基区；在基区的表面部分中选择性形成的第一导电类型的发射极区；MOS栅结构， 包括涂敷在漂移层与发射极区之间的基区表面上的栅绝缘膜，以及涂敷在基区上的栅电 极，其中在栅电极与基区之间插入有栅绝缘膜；与发射极区和基区接触的发射极电极；所 形成的第二导电类型的隔离区，使得该隔离区经由漂移层包围MOS栅结构，并连接漂移层 的前后表面；在漂移层的背面上形成并连接至暴露给漂移层背面的隔离区的第二导电类型 的集电极层；以及与集电极层接触的集电极电极。该反向阻断半导体器件还包括在发射 极电极与隔离区之间的漂移层中的第二导电类型的环形场限制层；与该场限制层接触的浮置电位的环形场限制电极；在发射极电极侧的具有向外延伸的大延伸部分的多个场限制电 极；以及在隔离区侧的具有向内延伸的大延伸部分的多个场限制电极。
[描述现有技术的文献]
[专利文献]
[专利文献1]日本待审已公开专利申请No.2005-101254
[专利文献2]日本待审已公开专利申请No.2005-252212
本发明人进行的广泛和透彻的研究已经揭示了以下观点。
如果至少电连接至耐反向击穿区中最外的外FLR 241和毗邻的外FLR241的外FP 242如专利文献1和2所述地朝有源区100突出，则在施加反向电压时从隔离区211延伸的 耗尽层将容易朝有源区100延伸。因此，将在抑制耗尽层扩展的沟道截断区231中引起电 场局域化，并在其中引起电场强度升高。为避免此问题，必须延长隔离区211与沟道截断区 231之间的间距(耐反向击穿区240宽度)以及长度，从而耗尽层易于延伸更多。换言之， 有源区100与隔离区211之间的耐击穿区200长度(以下称为“耐击穿区200宽度”)将被 延长，且反向阻断IGBT的总大小将被扩大。因此，难以减小反向阻断IGBT面积。
一般而言，相比于排除耐击穿结边缘终止区，通过设置耐击穿结边缘终止区改善 了电流容量(耐电压)的上限。然而，因为主电流不流过耐击穿结边缘终止区，所以半导体 器件自身的电流容量未被提高。因此，为减小反向阻断IGBT面积，耐击穿区200的大小优 选尽可能小。
根据上述内容，期望消除上述问题。还需要提供便于减小反向阻断IGBT面积的半 导体器件。进一步需要提供便于提高其耐电压的半导体器件。发明内容
根据所附权利要求1的主题，提供了一种半导体器件，包括
包括第一导电类型的第一半导体区的半导体衬底；
该半导体衬底中的有源区；
在该有源区外部的耐击穿区；
在该半导体衬底的背面上的第二导电类型的集电极区；
在该耐击穿区的外围区域中的第二导电类型的第二半导体区，该第二半导体区从 该半导体衬底的正面穿过该半导体衬底形成到该半导体衬底的背面，该第二半导体区与集 电极区接触；
在该半导体衬底的正面上的耐击穿区的表面部分中的第二导电类型的第三半导 体区，该第三半导体区包围有源区；
在半导体衬底的正面上选择性地形成的层间绝缘膜；
与第三半导体区接触的导电膜，该导电膜在该层间绝缘膜上；以及
导电膜中的至少除了与最远侧的第三半导体区接触的导电膜以外的导电膜具有 第二半导体区侧边缘部分，该第二半导体区侧边缘部分比与相应导电膜接触的第三半导体 区的第二半导体区侧边缘部分向第二半导体区突出更多，其中该最远侧的第三半导体区与 第二半导体区相距最远，并且从第二半导体区朝有源区延伸的耗尽层到达该最远侧的第三 半导体区。
根据所附权利要求2的主题，该半导体器件进一步包括在半导体衬底的正面上的 耐击穿区的表面部分中的第二导电类型的第四半导体区，该第四半导体区抑制在施加了反 向电压时从第二半导体区朝有源区延伸的耗尽层扩展；以及
与位于第二半导体区和第四半导体区之间的第三半导体区接触的导电膜中的至 少除了与最远侧的第三半导体区接触的导电膜以外的导电膜具有第二半导体区侧边缘部 分，该第二半导体区侧边缘部分比与相应导电膜接触的第三半导体区的第二半导体区侧边 缘部分向第二半导体区突出更多，其中最远侧的第三半导体区与第二半导体区相距最远， 并且从第二半导体区朝第四半导体区延伸的耗尽层到达最远侧的第三半导体区。
根据所附权利要求3的主题，具有比第三半导体区的第二半导体区侧边缘部分向 第二半导体区突出更多的第二半导体区侧边缘部分的导电膜的数量大于具有比第三半导 体区的第四半导体区侧边缘部分向第四半导体区突出更多的第四半导体区侧边缘部分的 导电膜的数量。
根据所附权利要求4的主题，具有比第三半导体区的第四半导体区侧边缘部分向 第四半导体区突出更多的第四半导体区侧边缘部分的导电膜的数量为1。
根据所附权利要求5的主题，用20kGy或更高剂量的电子束辐照该半导体衬底，并 在晶格缺陷被引入该半导体衬底后对该半导体衬底进行热处理。
根据所附权利要求6的主题，当第三半导体区与第二半导体区相距更宽时，毗邻 的第三半导体区彼此相距更宽。
根据本发明，与第三半导体区接触的导电膜中的至少除了与最远侧的第三半导体 区接触的导电膜以外的导电膜形成为朝隔离区突出，其中从第二半导体区朝有源区延伸的 耗尽层到达最远侧的第三半导体区，该最远侧的第三半导体区与第二半导体区相距最远。 通过上述导电膜突出，在施加反向电压时从隔离区朝有源区的耗尽层扩展被抑制。因此，防 止了从隔离区扩展的耗尽层延伸过长，且防止了电场在第四半导体区附近升高。通过该方 案，比常规反向阻断IGBT更有效地提高反向耐电压是可能的。与常规反向阻断IGBT相比， 将耐反向击穿区缩短与反向耐电压的改善相对应的宽度也是可能的，因此缩短耐击穿区宽 度是可能的。因此，减小反向阻断IGBT面积是可能的。
根据本发明的半导体器件便于减小反向阻断IGBT面积。根据本发明的半导体器 件还便于提高其耐电压。
附图简述
图1是示出根据本发明的第一实施例的反向阻断IGBT中的耐击穿结边缘终止区 的横截面图。
图2是示出根据第一实施例的反向阻断IGBT中在施加反向电压时的耗尽层延伸 的横截面图。
图3是根据第一实施例的反向阻断IGBT中以及常规反向阻断IGBT中在施加反向 电压时将集电极电流密度与集电极电压相关联的一对曲线。
图4是描述根据本发明的第二实施例的反向阻断IGBT所呈现的反向耐压分布的 曲线图。
图5是将根据第二实施例的反向阻断IGBT的比电阻与离衬底表面的深度相关联 的一组曲线。
图6是示出根据本发明的第三实施例的反向阻断IGBT中的耐击穿结边缘终止区 的横截面图。
图7是示出根据第三实施例的反向阻断IGBT中在施加正向电压时的耗尽层延伸 的横截面图。
图8是示出根据本发明的第四实施例的反向阻断IGBT中的耐击穿结边缘终止区 的横截面图。
图9是示出根据本发明的第五实施例的反向阻断IGBT中的耐击穿结边缘终止区 的横截面图。
图10是常规反向阻断IGBT的横截面图。
图11是详细示出该半导体器件中的有源区的横截面图。
图12是详细示出该半导体器件中的耐击穿结边缘终端区的横截面图。
图13是详细示出该半导体器件中的耐正向击穿区的横截面图。
图14是详细示出该半导体器件中的耐反向击穿区的横截面图。
具体实施方式
以下将参照说明了本发明的优选实施例的附图来详细描述本发明。在说明优选实 施例的以下描述和附图中，使用与在图10到14中使用的附图标记相同的附图标记来指代 相同的组成元件，且为简洁起见不进行重复描述。
(第一实施例)
根据本发明的第一实施例的反向阻断绝缘栅双极晶体管(下文称为“反向阻断 IGBT”)包括包括η型(第一导电类型)漂移区的半导体衬底；该半导体衬底中的有源区； 在该有源区外部的耐击穿结边缘终止区(下文简称为“耐击穿区”)；以及在耐击穿区外围 区域中的P型(第二导电类型)隔离区。换言之，根据第一实施例的反向阻断IGBT具有其 中耐击穿区在有源区中的发射极区与隔离区之间形成的结构。该耐击穿区使构成该半导体 器件的ρη结上的电场强度驰豫，并实现所需的耐电压。漂移区对应于第一半导体区。隔离 区对应于第二半导体区。如上所述的反向阻断IGBT呈现约600V或约1200V的保证耐电压。
在有源区中，ρ型沟道区在漂移区的正面侧上的表面部分中选择性地形成。在该沟 道区的表面部分中，η型发射极区和P型体区选择性地形成。栅电极在发射极区和沟道区 之上以及漂移区上方形成，且在栅电极与这些区之间插入有栅绝缘膜。发射极电极被形成 为与发射极区和体区接触且电连接。发射极电极通过层间绝缘膜与栅电极绝缘。集电极区 在漂移区的背面上形成。集电极电极在集电极区上形成。换言之，如图11所示的垂直IGBT 在有源区中形成。
隔离区形成为从衬底正面穿过该半导体衬底到该衬底背面，以使该隔离区覆盖该 衬底侧平面。隔离区连接至形成于有源区背面上的集电极区。隔离区将由于将半导体衬底 切割成芯片而在衬底侧平面中引起的晶体缺陷与有源区隔离。通过如上所述地沉积隔离 区，当施加反向电压时，耗尽层从衬底背面上的集电极区沿隔离区延伸。因此，防止了耗尽 层到达衬底侧平面，且防止引起漏电流。因此，提供具有反向耐电压的反向阻断IGBT是可 能的。
图1是示出根据本发明的第一实施例的反向阻断IGBT中的耐击穿结边缘终止区的横截面图。
如图1所示，耐击穿结边缘终止区(下文简称为“耐击穿区”)200包括在施加正向 电压时主要提高正向耐电压的区域(下文简称为“耐正向击穿区”)220，以及在施加反向电 压时主要提高反向耐电压的区域(下文称为“耐反向击穿区”040。在耐正向击穿区220与 耐反向击穿区240之间的中部230中，ρ型沟道截断区31在漂移区1正面上的表面部分中 形成。下方未形成沟道截断区31的漂移区1正面被层间绝缘膜8覆盖。
在沟道截断区31上的层间绝缘膜8上，场电极(下文称为“中间FP”)32形成。中 间FP 32与沟道截断区31接触并电连接。中间FP 32边缘部分朝耐正向击穿区220和耐 反向击穿区240均等地突出。突出意味着FP边缘部分定位成比在FP同一侧上的FLR边缘 部分更向外。换言之，FP边缘部分不定位在与FP接触的FLR之上，而是定位在漂移区之上。
更详细地，耐正向击穿区220侧上的中间FP 32边缘部分定位成比耐正向击穿区 220侧上的沟道截断31边缘部分更靠近耐正向击穿区220。耐反向击穿区240侧上的中间 FP 32边缘部分定位成比耐反向击穿区240侧上的沟道截断区31边缘部分更靠近耐反向击 穿区M0。沟道截断区31对应于第四半导体区。
当耗尽层在施加正向电压时到达中间FP 32时，中间FP 32被固定于比形成于中 间FP 32的耐正向击穿区220侧上的FP更高的电位。该电位分布使得对从耐正向击穿区 220到耐反向击穿区240延伸的耗尽层的进一步扩展的抑制成为可能。当耗尽层在施加反 向电压时到达中间FP 32时，中间FP 32被固定于比形成于中间FP 32的耐反向击穿区MO 侧上的FP更高的电位。该电位分布使得对从耐反向击穿区240到耐正向击穿区220延伸 的耗尽层的进一步扩展的抑制成为可能。因此，当该半导体器件处于截止状态时，防止耗尽 层在沟道截断区31上方扩展是可能的。
耐正向击穿区220在耐击穿区200中的有源区(未示出)侧上形成。毫无疑问， 耐正向击穿区220可具有与图13中所示的反向阻断IGBT中的耐正向击穿区结构相同的结 构。
耐反向击穿区240在耐击穿区200中的边缘区侧上形成。在耐反向击穿区240中， 作为浮置P型区的场限制环(下文称为“外FLR”) 41在漂移区1正面上的表面部分中形成， 以使外FLR 41包围有源区。换言之，外FLR 41在沟道截断区31与隔离区12之间形成，以 使外FLR 41包围沟道截断区31且与沟道截断区31分开。当外FLR 41定位成离隔离区12 更远时，毗邻的外FLR 41可分开更远。通过设置外FLR 41，由ρ型沟道区和η型漂移区形 成的ρη结(下文称为“主结”)上的转角部分中的电场被驰豫。外FLR 41对应于第三半导 体区。
下方未形成任何外FLR 41的漂移区1正面被层间绝缘膜8覆盖。在外FLR 41上 的层间绝缘膜8上，场电极(下文称为“外FP”)42形成。外FP 42与外FLR 41接触并电 连接。外FP 42包括与最接近有源区的外FLR 41接触的第一外FP 43，以及与除了最接近 有源区的外FLR 41之外的相应外FLR 41接触的第二外FP 44。最接近有源区的外FLR 41 例如是邻接其隔离区12侧的沟道截断区31的外FLR 41。通过设置外FP 42，主结表面附 近的耗尽层边缘部分中的电场被驰豫。外FP 42对应于导电膜。
第一外FP 43被形成为使其在有源区侧上的边缘部分朝有源区突出。换言之，有 源区侧上的第一外FP 43边缘部分被定位成比与第一外FP 43接触的外FLR 41的有源区侧边缘部分更靠近有源区。第二外FP 44被形成为使其在隔离区12侧上的边缘部分朝隔 离区12突出。换言之，隔离区12侧上的第二外FP 44边缘部分被定位成比与第二外FP 44 接触的外FLR 41的隔离区12侧边缘部分更靠近隔离区12。
第一外FP 43可被形成为与外FLR 41即离隔离区12最远的外FLR接触，在施加反 向电压时从隔离区12朝有源区延伸的耗尽层能到达该最远的外FLR。在该情况下，第二外 FP 44可在形成于与第一外FP 43接触的外FLR 41的隔离区12侧上的外FLR 41上形成。 第一外FP可在形成于与第一外FP 43接触的外FLR 41的有源区侧上的外FLR上形成。替 代地，PF可在外FLR 41的有源区侧上的与第一外FP 43接触的外FLR上形成，该PF既不 朝隔离区12突出又不朝有源区突出。
毫无疑问，可形成多个第一外FP 43。更详细地，第一外FP 43可在最接近有源区 的外FLR 41上以及在最接近有源区的外FLR 41的隔离区12侧上的各毗邻外FLR 41上形 成。在该情况下，第二外FP 44在其他外FLR 41上形成，在这些其他外FLR 41上未形成任 何第一外FP 43。优选设置比第一外FP 43更多的第二外FP 44。
在半导体衬底的边缘区域中，电位与隔离区12电位相同的场电极(下文称为“等 电位FP”) 13在层间绝缘膜8上形成。等电位FP 13与隔离区12接触并电连接。等电位FP 13边缘部分可被形成为不朝有源区突出。通过等电位FP 13边缘部分不朝有源区突出，防 止了在施加反向电压时从隔离区12朝有源区延伸的耗尽层易于延伸。
图2是示出根据第一实施例的反向阻断IGBT中在施加反向电压时的耗尽层延伸 的横截面图。
在耐反向击穿区240中，耗尽层51在施加反向电压时从隔离区12延伸，并以箭头 A所示方向沿漂移区1表面从隔离区12向沟道截断区31扩展。当从隔离区12延伸的耗尽 层51到达与第二外FP 44接触的外FLR 41时，第二外FP 44被固定于比定位于第二外FP 44的隔离区12侧上的FP(包括等电位FP)的电位更高的电位。由于该电位分布，耗尽层 51在第二外FP 44下方的漂移区1中被朝隔离区12推回。因此，耗尽层51延伸被抑制，使 得相比于常规耐反向击穿区中的从隔离区的耗尽层延伸，耗尽层51延伸适中。因此，提高 该反向阻断IGBT的反向耐电压是可能的。以下将描述其原因。
耗尽层51还从集电极区10延伸，并以箭头B所示方向从漂移区1背面向漂移区1 正面扩展。因为当耗尽层51也从集电极区10延伸时漂移区1中的多数载流子减少，所以 电场强度被驰豫。即使耗尽层51从隔离区的延伸通过设置第二外FP 44得到了抑制，将有 可能防止电场局域化至隔离区12侧上的第二外FP 44边缘部分且使电场强度急剧升高引 起的击穿更难出现。
现在将在下文中描述根据第一实施例的反向阻断IGBT的反向耐电压的研究结 果。图3是根据第一实施例的反向阻断IGBT中以及常规反向阻断IGBT中在施加反向电压 时将集电极电流密度与集电极电压相关联的一对曲线。
制备包括根据第一实施例(参照图1)的耐反向击穿区的反向阻断IGBT。(下文 中，所制备的根据第一实施例的反向阻断IGBT将被指代为“实施例”)。为比较目的，制备 了包括常规耐反向击穿区(参照图14)的反向阻断IGBT。(下文中，所制备的常规反向阻 断IGBT将被指代为“常规”。)实施例反向阻断IGBT和常规反向阻断IGBT仅在外FP 42 结构上相互不同。实施例和常规反向阻断IGBT中的其他结构相同。换言之，实施例反向阻9断IGBT包括具有第一外FP 43和第二 FP 44的外FP 42。另一方面，边缘区侧的最外侧的 外FP 242和最外侧的外FP 242的内侧上的外FP 242被形成为朝有源区突出。
图3示出实现约700V反向耐电压的实施例反向阻断IGBT。图3也示出实现约600V 反向耐电压的常规反向阻断IGBT。因此，该实施例反向阻断IGBT实现的反向耐电压高于该 常规反向阻断IGBT呈现的反向耐电压。该结果的原因如下文所述地评估。在常规反向阻 断IGBT中，边缘区侧的最外侧的外FP 242和最外侧的外FP 242的内侧上的外FP 242朝 有源区突出。因此，从隔离区延伸的耗尽层延伸过长，且常规反向阻断IGBT中的沟道截断 区中的电场强度升高。
研究了实施例和常规反向阻断IGBT的有源区与隔离区之间的耐击穿结边缘终止 区长度(下文称为“耐击穿区宽度”)，其保证耐电压被设置为600V。在该研究中采用了器件 模拟技术。研究结果表明，如果实施例反向阻断IGBT中的有源区与隔离区之间的长度(下 文称为“反向阻断IGBT宽度”)被设置为1，则常规反向阻断IGBT中的反向阻断IGBT宽度 将为约1. 2。上述结果表明，相比于常规反向阻断IGBT，实施例反向阻断IGBT便于提高反 向耐电压，并减小其面积。
通过如上联系第一实施例所述的在耐反向击穿区中设置第一外FP和第二外FP， 抑制在施加反向电压时从隔离区朝有源区的耗尽层延伸是可能的。因此，防止耗尽层从隔 离区延伸过长且防止沟道截断区附近的电场强度升高是可能的。因此，相比于常规反向阻 断IGBT，根据第一实施例的反向阻断IGBT提高反向耐电压是可能的。相比于常规反向阻 断IGBT，根据第一实施例的反向阻断IGBT将耐反向击穿区缩短与反向耐电压的提高相对 应的宽度从而缩短耐击穿区宽度是可能的。因此，减小反向阻断IGBT面积是可能的。
(第二实施例)
在根据第一实施例的反向阻断IGBT中，可使用经过电子束辐照的半导体衬底。在 电子束辐照之后，可对该半导体衬底进行热处理。其他结构与根据第一实施例的反向阻断 IGBT结构(参照图1)相同。
根据第二实施例，可按照4. SMeV的加速电压和20kGy或更高的剂量对用于制造反 向阻断IGBT的半导体衬底辐照电子束。该电子束辐照可在整个半导体衬底上进行。通过 对整个半导体衬底辐照电子束，可向该半导体衬底中有意地引入晶体缺陷(晶格缺陷)。电 子束辐照之后的热处理可在300至380°C下进行约一小时。通过在电子束辐照之后进行热 处理，降低衬底表面部分中的比电阻是可能的。以下将描述其原因。根据第二实施例的反 向阻断IGBT具有与根据第一实施例的反向阻断IGBT结构相同的结构。具体地，耐击穿区 中的耐反向击穿区包括外FP 42，其中外FP 42包括第一外FP 43和第二外FP 44(参照图 1)。如上所述的反向阻断IGBT呈现约1200V的保证耐电压。
研究了如上所述的反向阻断IGBT所呈现的反向耐电压。图4是描述根据第二实 施例的反向阻断IGBT所呈现的反向耐压分布的曲线图。
制备了使用未被任何电子束辐照的半导体衬底制造的反向阻断IGBT(下文称为 “第一样本”)。制备了使用经过电子束辐照的半导体衬底制造的反向阻断IGBT (下文称为 “第二样本”)。制备了使用经过电子束辐照以及在电子束辐照之后经过热处理的半导体衬 底制造的反向阻断IGBT (下文称为“第三样本”)。在包括4. SMeV的加速电压和20kGy剂量 的条件下辐照电子束。对整个半导体衬底辐照电子束。电子束辐照之后的热处理在330°C下进行一小时。第一到第三样本具有根据第一实施例的反向阻断IGBT结构。制备了第一 到第三样本的多个样本，且测量了各个样本上的击穿电压，以研究反向阻断IGBT样本中的 反向耐电压分布。图4中的纵轴表示处于测得的击穿电压的第一到第三样本的样本数量。
图4中描述的结果表明，第一样本便于获得高达1200V的反向耐电压。第二样本 便于获得高达1200V的反向耐电压。第三样本便于获得高达1400V的反向耐电压。第三样 本实现的反向耐电压是第一和第二样本实现的反向耐电压的1.2倍。以下将描述其原因。
图5是将根据第二实施例的反向阻断IGBT的比电阻与离衬底表面的深度相关联 的一组曲线。
对第一到第三样本从衬底表面(Ομπι)到20μπι深度测量了比电阻。通过一般扩 展电阻测量在各个样本中的斜抛光的耐反向击穿区上测量了比电阻。
如图5中所述的结果表明，第一和第二样本中从衬底表面到20μπι深度的比电阻 几乎不改变。另一方面，在第三样本中，离衬底表面15μπι深度处的比电阻降低。该结果表 明，第三样本便于使耗尽层在离衬底表面15 μ m深度处扩展，且使半导体衬底表面中的电 场强度驰豫。因此，可得出评估结果相比于使用未经过任何电子束辐照也未经过热处理的 半导体衬底的反向阻断IGBT，使用经电子束辐照以及在电子束辐照之后经过热处理的半导 体衬底的反向阻断IGBT便于更高效地提高反向耐电压。
如上所述，根据第二实施例的反向阻断IGBT呈现与根据第一实施例的反向阻断 IGBT所呈现的效果相同的效果。根据第二实施例，通过对半导体衬底辐照电子束以引入晶 格缺陷并通过热处理该衬底，衬底正面上的表面部分中的比电阻降低。因为半导体衬底表 面中的电场强度被驰豫，所以相比于使用未经过电子束辐照也未经过热处理的半导体衬底 的反向阻断IGBT，耐反向击穿区中的反向耐电压被提高。因此，相比于使用未经过任何电子 束辐照也未经过热处理的半导体衬底的反向阻断IGBT，根据第二实施例的反向阻断IGBT 将耐反向击穿区缩短与反向耐电压的提高相对应的宽度从而缩短耐击穿区宽度是可能的。 因此，根据第二实施例的反向阻断IGBT便于减小其面积。
(第三实施例)
图6是示出根据本发明的第三实施例的反向阻断IGBT中的耐击穿结边缘终止区 的横截面图。
如图6所示，根据第一实施例的反向阻断IGBT中的耐反向击穿区中的耐击穿结构 (参照图1)可被应用于当施加正向电压时主要获得正向耐电压的耐正向击穿区。
如图6所示，耐正向击穿区220在耐击穿结边缘终止区(下文简称为“耐击穿 区”)200中的有源区100侧形成。更具体地，在耐击穿区200中，耐正向击穿区220在有源 区100与耐反向击穿区240和耐正向击穿区220的中段230之间形成。在耐正向击穿区 220中，作为浮置ρ型区的多个场限制环(下文称为“内FLR”)21在漂移区1正面上的表面 部分中形成，以使内FLR 21包围有源区100。
换言之，内FLR 21在沟道截断区31与ρ型沟道区2之间形成，在有源区100中形 成且毗邻耐击穿区200，以使内FLR 21与有源区100和沟道截断区31分开并包围有源区 100。内FLR 21可被形成为毗邻的内FLR 21彼此相距较远，同时内FLR 21与有源区100 相距较远。这种内FLR 21布置呈现出与根据第一实施例的外FLR 41布置所呈现的效果相 同的效果。
下方未形成任何内FLR 21的漂移区1正面被层间绝缘膜8覆盖。场电极(下文 称为“内FP”) 22在内FLR 21上方在层间绝缘膜8上形成。内FP 22与内FLR 21接触并电 连接。内FP 22包括与最接近边缘区的内FLR 21接触的第一内FP 23，以及与除了最接近 边缘区的内FLR 21之外的相应各内FLR 21接触的第二内FP 24。最接近边缘区的内FLR 21是在沟道截断区31的有源区100侧毗邻沟道截断区31的内FLR 21。这种内FP 22布 置呈现出与根据第一实施例的外FP 42布置所呈现的效果相同的效果。
第一内FP 23被形成为使其在边缘区侧的边缘部分朝边缘区突出。换言之，边缘 区侧上的第一内FP 23边缘部分被定位成比与第一内FP 23接触的内FLR 21的边缘区侧 边缘部分更靠近边缘区。另一方面，第二内FP M被形成为使其在有源区100侧的边缘部 分朝有源区100突出。换言之，有源区100侧上的第二内FP M边缘部分被定位成比与第 二内FP对接触的内FLR 21的有源区100侧边缘部分更靠近有源区100。
如上所述，内FP 22与根据第一实施例的耐反向击穿区240中的外FP42以中间FP 32作为对称中心对称地形成。替代地，毫无疑问，内FP 22可以不与根据第一实施例的耐反 向击穿区MO中的外FP 42以中间FP 32作为对称中心对称地形成。
替代地，第一内FP 23可被形成为与离有源区100最远侧的内FLR 21接触，其中 在施加正向电压时从有源区100延伸的耗尽层能到达该最远侧的内FLR 21。在这种情况 下，第二 FP M在形成于与第一 FP 23接触的内FLR 21的有源区100侧的内FLR 21上形 成。再或者，第一内FP可在与第一 FP 23接触的内FLR 21的边缘区侧的内FLR上形成。再 或者，FP可在与第一 FP 23接触的内FLR 21的边缘区侧上的内FLR上形成，以使该PF既 不朝有源区100突出又不朝边缘区突出。
可形成多个第一内FP 23。换言之，第一内FP 23可在最接近边缘区的内FLR 21 上以及在有源区100侧的毗邻内FLR 21上形成。第二内FP M在不与第一 FP 23接触的 内FLR 21上形成。优选设置比第一内FP 23更多的第二内FP 24。
可采用如根据第二实施例的相同方式通过电子束辐照引入了晶格缺陷以及在电 子束辐照之后经过热处理的半导体衬底来制造根据第三实施例的反向阻断IGBT。根据第三 实施例的反向阻断IGBT中的耐反向击穿区结构可以与根据第一和第二实施例的反向阻断 IGBT中的耐反向击穿区结构相同。
图7是示出根据第三实施例的反向阻断IGBT中在施加正向电压时的耗尽层延伸 的横截面图。
在施加正向电压时，耗尽层52在耐正向击穿区220中从有源区100中的沟道区2 延伸，并以箭头C所示方向从有源区100中的沟道区2向漂移区1表面部分中的沟道截断 区31扩展。当从沟道区2延伸的耗尽层52到达与第二内FP M接触的内FLR 21时，第二 内FP M被固定于高电位。因此，耗尽层52在第二内FP M下方在漂移区1中被朝有源区 100推回。因此，耗尽层52延伸被抑制，使得相比于常规耐正向击穿区中的耗尽层延伸，耗 尽层52延伸适中。其原因与根据第一实施例的耗尽层延伸抑制的原因相同。
如上所述，根据第三实施例，与最接近边缘区的内FLR接触的内FP(第一内FP)朝 边缘区突出，而与除了最接近边缘区的内FLR之外的内FLR接触的内FP(第二内FP)朝有 源区突出。通过上述内FP延伸，在施加正向电压时从有源区中的沟道区朝边缘区延伸的耗 尽层如根据第一实施例地被有效抑制。
因此，防止了从沟道区扩展的耗尽层延伸过远，且防止了沟道截断区附近的电场 强度升高。通过这些机制，根据第三实施例的反向阻断IGBT便于比常规反向阻断IGBT更 高效地提高正向耐电压。根据第三实施例的反向阻断IGBT便于将耐正向击穿区缩短与正 向耐电压的提高相对应的宽度，从而缩短耐击穿区宽度。
因为根据第三实施例的反向阻断IGBT便于以如根据第一实施例的反向阻断IGBT 相同的方式提高反向耐电压并缩短耐反向击穿区的宽度，所以根据第三实施例的反向阻断 IGBT便于进一步缩短耐击穿区宽度。因此，根据第三实施例的反向阻断IGBT便于减小其面 积。
(第四实施例)
图8是示出根据本发明的第四实施例的反向阻断IGBT中的耐击穿结边缘终止区 的横截面图。
如图8所示，毫无疑问，根据第三实施例的反向阻断IGBT(参照图6)中的有源区 100可设置有沟槽栅极结构。
如图8所示，在根据第四实施例的反向阻断IGBT中，栅电极17在该沟槽中形成， 且被形成为比沟道区2更深，且在栅电极17与有源区100中的沟槽内壁之间插入有栅绝缘 膜16。栅电极17通过层间绝缘膜8与发射极电极9绝缘。根据第四实施例的反向阻断IGBT 中的耐正向击穿区220结构与根据第三实施例的反向阻断IGBT中的耐正向击穿区220结 构相同。毫无疑问，根据第四实施例的反向阻断IGBT中的耐反向击穿区240结构可以与根 据第一和第二实施例的反向阻断IGBT中的耐反向击穿区240结构相同。
根据第四实施例的反向阻断IGBT呈现与根据第一到第三实施例的反向阻断IGBT 所呈现的效果相同的效果。
(第五实施例)
图9是示出根据本发明的第五实施例的反向阻断IGBT中的耐击穿结边缘终止区 的横截面图。
如图9所示，毫无疑问，可形成比漂移区掺杂程度轻且具有降低表面电场结构(下 文称为“RESURF结构”)的ρ型区来代替根据第三实施例的反向阻断IGBT(参照图6)中 的第二内PF和与第二内PF接触的内FLR。(下文中轻度掺杂的ρ型区将被称为“RESURF 区”。)
如图9所示，ρ型RESURF区25在耐正向击穿区220中的漂移区1正面上的表面 部分中形成，以使P型RESURF区25包围有源区100。RESURF区25比漂移区1的掺杂程度 轻。在漂移区1正面上的表面部分中，内FLR21在RESURF区25与沟道截断区31之间形成， 以使内FLR 21与RESURF区25和沟道截断区31分开。
下方既未形成内FLR 21也未形成RESURF区25的漂移区1正面被层间绝缘膜8覆 盖。场电极(下文称为“内FP”)22在内FLR 21和RESURF区25上方在层间绝缘膜8上形 成。内FP 22包括第一内FP 23和场电极(下文称为“RESURF FP”06。第一内FP 23与 内FLR 21接触并电连接。RESURFFP 26与RESURF区25接触并电连接。
RESURF FP沈被形成为使其在边缘区侧的边缘部分朝边缘区突出。换言之，边缘 区侧上的RESURF FP沈边缘部分被定位成比边缘区侧上的RESURF区25边缘部分更接近 边缘区。根据第五实施例的第一内FP 23结构与根据第三实施例的第一内FP结构相同。毫无疑问，可形成多个第一内FP 23。根据第五实施例的其他结构与根据第三实施例的其他结 构相同。根据第五实施例的内FP 22布置呈现与根据第三实施例的内FP布置所呈现的效 果相同的效果。
通过将RESURF区25布置于所需杂质浓度和所需结深度，可使从有源区延伸的耗 尽层更容易朝边缘区延伸。因此，在半导体器件内部的电场强度升高到足以击穿该半导体 器件之前，从集电极区10延伸的耗尽层到达漂移区1表面并耗尽RESURF区25。因此，从有 源区朝边缘区延伸的耗尽层扩展。通过耗尽层扩展，电场被驰豫且正向耐电压被提高。
如上所述，根据第五实施例的反向阻断IGBT呈现与根据第一到第三实施例的反 向阻断IGBT所呈现的效果相同的效果。
虽然以上已结合第一到第五实施例描述了本发明，但改变和修改对本领域技术人 员将显而易见。例如，根据这些实施例的有源区、耐正向击穿区和耐反向击穿区可适当地组 合以构成反向阻断IGBT。导电类型(η型和ρ型)可反转。
工业实用性
如上所述，根据本发明的半导体器件优选用于开关、用于矩阵式转换器以及需要 在正向和反向呈现一定耐电压的此类串联转换器电路。
权利要求
1.一种半导体器件，包括包括第一导电类型的第一半导体区的半导体衬底；所述半导体衬底中的有源区；在所述有源区外部的耐击穿区；在所述半导体衬底的背面上的第二导电类型的集电极区；在所述耐击穿区的外围区域中的所述第二导电类型的第二半导体区，所述第二半导体 区从所述半导体衬底的正面穿过所述半导体衬底形成到所述半导体衬底的背面，所述第二 半导体区与所述集电极区接触；在所述半导体衬底的正面上的所述耐击穿区的表面部分中的所述第二导电类型的第 三半导体区，所述第三半导体区包围所述有源区；在所述半导体衬底的正面上选择性地形成的层间绝缘膜；与所述第三半导体区接触的导电膜，所述导电膜在所述层间绝缘膜上；以及所述导电膜中的至少除了与最远侧的第三半导体区接触的导电膜以外的导电膜包括 第二半导体区侧边缘部分，所述第二半导体区侧边缘部分比与相应导电膜接触的第三半导 体区的第二半导体区侧边缘部分向所述第二半导体区突出更多，其中所述最远侧的第三半 导体区与所述第二半导体区相距最远，并且从所述第二半导体区朝所述有源区延伸的耗尽 层到达所述最远侧的第三半导体区。
2.如权利要求1所述的半导体器件，其特征在于，所述半导体器件进一步包括在所述 半导体衬底的正面上的所述耐击穿区的表面部分中的所述第二导电类型的第四半导体区， 所述第四半导体区抑制在施加了反向电压时从所述第二半导体区朝所述有源区延伸的耗 尽层扩展；以及与位于第二半导体区和第四半导体区之间的第三半导体区接触的导电膜中的至少除 了与所述最远侧的第三半导体区接触的导电膜以外的导电膜包括第二半导体区侧边缘部 分，所述第二半导体区侧边缘部分比与相应导电膜接触的第三半导体区的第二半导体区侧 边缘部分向所述第二半导体区突出更多，其中所述最远侧的第三半导体区与所述第二半导 体区相距最远，并且从所述第二半导体区朝所述第四半导体区延伸的耗尽层到达所述最远 侧的第三半导体区。
3.如权利要求2所述的半导体器件，其特征在于，包括比所述第三半导体区的第二半 导体区侧边缘部分向第二半导体区突出更多的第二半导体区侧边缘部分的导电膜的数量 大于包括比所述第三半导体区的第四半导体区侧边缘部分向第四半导体区突出更多的第 四半导体区侧边缘部分的导电膜的数量。
4.如权利要求3所述的半导体器件，其特征在于，包括比所述第三半导体区的第四半 导体区侧边缘部分向第四半导体区突出更多的第四半导体区侧边缘部分的导电膜的数量 为1。
5.如权利要求1到4中的任一项所述的半导体器件，其特征在于，用20kGy或更高剂量 的电子束辐照所述半导体衬底，并在晶格缺陷被引入所述半导体衬底后对所述半导体衬底 进行热处理。
6.如权利要求1到5中的任一项所述的半导体器件，其特征在于，当所述第三半导体区 与所述第二半导体区相距更宽时，啦邻的第三半导体区彼此相距更宽。
全文摘要
本发明涉及半导体器件。根据本发明的一种反向阻断IGBT包括耐反向击穿区240；在耐反向击穿区240中形成的p型场限制环(外FLR)41；连接至外FLR 41的场电极(外FP)42；外FP 42包括与最接近有源区的外FLR 41接触的第一外FP 43和与其他外FLR 41接触的第二外FP 44；第一外FP 43具有向有源区突出的有源区侧边缘部分；以及第二外FP 44具有向边缘区域突出的边缘区域侧边缘部分。根据本发明的该反向阻断IGBT便于提高其耐电压并减小其面积。
文档编号H01L29/41GK102034856SQ20101050786
公开日2011年4月27日 申请日期2010年9月28日 优先权日2009年9月29日
发明者吉川功, 窪内源宜 申请人:富士电机控股株式会社