专利名称：发光二极管及其制造方法、发光装置的制作方法
技术领域：
本发明涉及半导体技术领域，更具体地，本发明涉及一种发光二极管及其制造方 法、发光装置。
背景技术：
发光二极管(LED)是响应电流而被激发从而产生各种颜色的光的半导体器件。其 中，以氮化镓(GaN)为代表的III-V族化合物半导体由于具有带隙宽、发光效率高、电子饱 和漂移速度高、化学性质稳定等特点，在高亮度蓝光发光二极管、蓝光激光器等光电子器件 领域有着巨大的应用潜力，引起了人们的广泛关注。然而，目前半导体发光二极管存在着发光效率低的问题。对于未经封装的发光二 极管，其出光效率一般只有百分之几。大量的能量聚集在器件内部不能出射，既造成能量浪 费，又影响器件的使用寿命。因此，提高半导体发光二极管的出光效率至关重要。基于上述的应用需求，许多种提高发光二极管出光效率的方法被应用到器件结构 中，例如表面粗糙化法，金属反射镜结构等。公开号为CN1858918A的中国专利申请公开了 一种发光二极管，所述的发光二极管下表面形成全角度反射镜结构，可以提高发光二极管 出光效率。然而，该方法需要在衬底上形成多层由高折射率层与低折射率层堆叠而成的薄 膜结构，制作工艺复杂。
发明内容
本发明解决的问题是提供一种发光效率较高的发光二极管。为解决上述问题，本发明提供一种发光二极管，包括用于连接发光二极管与电源 负极的第一电极；依次位于所述第一电极上的衬底、发光二极管管芯，所述衬底中形成有多 个贯穿衬底的接触孔，所述接触孔的上孔径尺寸小于下孔径尺寸，所述接触孔中填充有用 于连接第一电极和发光二极管管芯的电极插塞。相应地，本发明还提供一种包括所述任意一发光二极管的发光装置，其中，所述发 光装置还包括基座，所述发光二极管安装于所述基座上。相应地，本发明还提供一种发光二极管的制造方法，包括在衬底上依次形成发光 二极管管芯、第二电极；图形化所述衬底背面、形成露出发光二极管管芯的倒梯形接触孔； 向所述倒梯形接触孔中填充导电材料、直至所述导电材料覆盖于衬底背面上。与现有技术相比，本发明具有以下优点1.在衬底中形成有接触孔，第一电极通过所述接触孔中形成的电极插塞与发光二 极管管芯电连接，可达到降低电流密度的效果，从而减少俄歇复合，提高LED的内部量子效 率的效果；2.所述接触孔的上孔径尺寸小于下孔径尺寸，围成所述接触孔的衬底具有可以将 发光二极管管芯发出的光反射到发光二极管出光面的侧壁，从而提高了发光二极管出光效 率；
3.所述制造方法中，无需在衬底上形成多层薄膜结构，制造方法较为简单。
图1是本发明发光装置一实施例的示意图；图2是本发明发光二极管制造方法一实施例的流程示意图；图3至图8是本发明发光二极管制造方法形成的发光二极管一实施例的侧面示意 图；图9是图2所示步骤S2 —实施例的流程图。
具体实施例方式为使本发明的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图对本发明 的具体实施方式
做详细的说明。在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本发明，但是本发明还可以 采用其他不同于在此描述的其它方式来实施，因此本发明不受下面公开的具体实施例的限 制。正如背景技术所述，为提高发光二极管的出光效率，现有技术的发光二极管需要 在衬底上形成多层由高折射率层与低折射率层堆叠而成的薄膜结构，但所述薄膜结构的制 作工艺复杂。针对上述问题，本发明的发明人提供了一种包括发光二极管的发光装置，所述发 光二极管包括用于连接发光二极管与电源负极的第一电极；依次位于所述第一电极上的衬 底、发光二极管管芯，所述衬底中形成有多个贯穿衬底的接触孔，所述接触孔的上孔径尺寸 大于下孔径尺寸，所述接触孔中填充有用于连接第一电极和发光二极管管芯的电极插塞， 所述第一电极通过多个接触孔内形成的电极插塞与发光二极管管芯相连，可减小电流密 度，减少俄歇复合，从而可提高发光二极管的内部量子效率，进而提高了发光二极管的出光 效率。
参考图1，示出了本发明发光装置一实施例的示意图。所述发光装置包括所述发光 装置包括基座101、以及安装于基座101内的发光二极管109，其中，基座101，所述基座101包括装配凹坑，用于容纳所述发光二极管109，所述装配凹 坑的侧壁与装配凹坑的底面之间的角度θ为130° 150°，所述装配凹坑的侧壁可用于 反射发光二极管109发出的光，并将所述发光二极管109发出的光反射至发光二极管109 的出光面，进而可以提高发光装置的出光效率。所述基座101采用散热性能好的导电材料，一方面可以使发光二极管产生的热量 传导出去，另一方面基座101用于实现发光二极管109和电源负极的电连接。具体地，所述基座采用硅或铝等材料；所述装配凹坑的上开口尺寸为4微米，所述 装配凹坑的底面开口尺寸为2微米，上开口大、底面开口小的装配凹坑，可以保证装配凹坑 的侧壁与装配凹坑的底面之间的角度θ在130° 150°范围内，装配凹坑的侧壁可将发 光二极管发出的光反射到发光装置的出光面。较佳地，所述基座101上还连接有第一引线，用于连接基座101和电源的负极。所述发光二极管109设置于基座101的装配凹坑中，包括第一电极102、位于第一电极102上的衬底103、位于衬底103上的发光二极管管芯、位于发光二极管管芯上的第 二电极108，其中所述第一电极102、设置于基座101装配凹坑的底面上，用于实现发光二极管109 和电源负极之间的电连接，具体地，第一电极102采用钛、铝或金等导电金属制成。为了实 现良好的电性连接，较佳地，所述第一电极102还覆盖于所述基座101的侧壁上，以增大第 一电极102与基座101的接触面积。衬底103中形成有多个贯穿所述衬底103的接触孔，所述接触孔中填充有用于连 接第一电极和发光二极管管芯的电极插塞104。具体地，衬底103的材料为蓝宝石，具体地， 所述电极插塞104的材料为钛、铝或金等导电金属。所述多个接触孔均勻分布于所述蓝宝 石衬底中，形成于所述多个接触孔中的电极插塞104，用于实现第一电极和发光二极管管芯 间的电连接，可以达到降低电流密度的效果，从而减少俄歇复合，提高LED的内部量子效率 的效果，从而提高了发光二极管出光效率。所述接触孔的上方为发光二极管管芯，所述接触孔的下方为第一电极。所述接触 孔的横截面为梯形，其上孔径尺寸小于下孔径尺寸，本实施例中，所述接触孔的下孔径尺寸 在5微米至20微米之间。所述接触孔的上孔径尺寸小于下孔径尺寸，使围成所述接触孔的 侧壁具有一定倾斜角度，所述侧壁可以将发光二极管管芯发出的光反射到发光二极管出光 面的侧壁，从而提高了发光二极管出光效率。依次位于衬底103和电极插塞104上的N型掺杂的半导体层105、有源层106和P 型掺杂的半导体层107构成发光二极管管芯，其中，N型掺杂的半导体层105的材料包括N 型氮化镓；有源层106包括多量子阱有源层，具体地，所述多量子阱有源层的材料包括氮化 铟镓；所述P型掺杂的半导体层107的材料包括P型氮化镓。所述第二电极108位于发光二极管管芯上方，用于实现发光二极管109和电源正 极之间的电连接，具体地，第二电极108采用镍或金的导电金属材料，较佳地，所述第二电 极108上还连接有第二引线，用于连接发光二极管109和电源正极。较佳地，所述发光装置还包括透镜结构110，所述透镜结构覆盖于发光二极管之 上，用于会聚发光二极管109发出的光线，以提高发光装置的亮度。较佳地，所述透镜结构 110还填充于所述发光二极管109和基座101之间的空隙中；具体地，所述透镜结构110可 以会聚发光二极管管芯发出的光(如光路B所示)；可以会聚发光二极管管芯发出、经由基 座侧壁或由覆盖于基座侧壁上的第一电极反射的光(如光路A所示)；还可以会聚发光二 极管管芯发出、经由倒梯形的衬底组件的侧壁反射的光(如光路C所示)，所述透镜结构可 以提高发光装置的亮度。所述发光装置还包括覆盖于透镜结构上的荧光粉(图未示)，用于发出白光。具体 地，对于发出蓝光的发光二极管，所述荧光粉为含Ce3+的YAG荧光粉。相应地，本发明还提供一种发光二极管的制造方法，参考图2，示出了本发明发光 二极管制造方法一实施方式的流程示意图。所述发光二极管的制造方法包括Si，在衬底上依次形成发光二极管管芯、第二电极；S2，图形化所述衬底背面、形成露出发光二极管管芯的倒梯形接触孔；S3，向所述倒梯形接触孔中填充导电材料、直至形成覆盖于衬底背面上的第一电 极。
参考图3至图8，示出了本发明发光二极管制造方法形成的发光装置一实施例的 侧面示意图。下面结合附图对各步骤进行详细描述。参考图3，执行步骤Si，本实施例中，衬底201为蓝宝石，具体地，通过金属有机化 合物化学气相淀积(Metal-organic Chemical Vapor Deposition, MOCVD)的方法在衬底 201上依次形成N型掺杂的半导体层207、有源层208、P型掺杂的半导体层209，从而形成 了由N型掺杂的半导体层207、有源层208、P型掺杂的半导体层209构成的发光二极管管 芯，具体地，所述N型掺杂的半导体层207的材料为N型氮化镓；所述有源层208可以是单 量子阱有源层，也可以是多量子阱有源层，例如所述有源层208为氮化铟镓的多量子阱有 源层材料；所述P型掺杂的半导体层209的材料为P型氮化镓。参考图4，继续执行步骤Si，在发光二极管管芯上形成第二电极，具体地，第二电 极的材料为镍或金，通过物理气相沉积法(Physical Vapor Deposition, PVD)或电子枪蒸 镀的方法形成所述第二电极。较佳地，在执行步骤Sl和步骤S2之间，还包括对所述衬底201背面进行减薄处 理，具体地，通过化学机械研磨对所述衬底201的背面进行减薄处理，减薄后的衬底201厚 度为20至50微米，所述减薄处理减小了衬底201的厚度(如图5所示)，便于进行后续图 形化处理。对于步骤S2，参考图9，示出了图2所示步骤S2 —实施例的流程图，所述步骤S2 包括步骤S21，在衬底的背面形成硬掩模；步骤S22，以所述硬掩模为掩模蚀刻所述衬底背面，形成多个倒梯形接触孔、直至 露出发光二极管管芯；步骤S23，去除硬掩模。参考图6，执行步骤S21，在衬底201的背面沉积硬掩模材料，然后通过光刻和蚀刻 的方法将硬掩模材料图形化，形成硬掩模206，具体地，所述硬掩模206的材料为二氧化硅。参考图7，执行步骤S22，以所述硬掩模206为掩模，通过湿法腐蚀法，从衬底201 背面开始蚀刻，在硬掩膜206图形未遮挡的区域形成多个横截面为倒梯形的接触孔，直至 所述接触孔露出发光二极管管芯，具体地，衬底为的蓝宝石，采用硫酸和磷酸的混合溶液对 蓝宝石的衬底201进行各向异性腐蚀；需要说明的是，所述湿法腐蚀法采用的溶液需对衬底201和硬掩模206具有较大 的选择比，从而避免在蚀刻衬底201的同时腐蚀硬掩模206，具体地，所述衬底201为蓝宝 石衬底(即氧化铝)，所述硬掩模206为二氧化硅，采用硫酸和磷酸混合溶液蚀刻所述衬底 201，硫酸和磷酸的混合溶液对二氧化硅的腐蚀作用较小。对于步骤S23，具体地，硬掩膜的材料为二氧化硅，通过氢氟酸溶液去除硬掩模 206。对于步骤Sl，较佳地，所述硬掩模206中多个硬掩模图形之间的间距为5至20微 米；所述露出发光二极管管芯的接触孔的深度与衬底201的深度相同，具体地，所述接触孔 的深度在20至50微米的范围内，所述接触孔的下孔径尺寸为5至20微米。参考图8，执行步骤S3，通过物理气相沉积法(Physical Vapor Deposition,PVD) 向所述接触孔中填充导电材料直至填满所述接触孔，并形成覆盖于衬底背面上的导电材料6层，其中覆盖于衬底背面上的导电材料层构成第一电极202、填充于接触孔中的导电材料构 成第一电极202的电极插塞，所述第一电极202通过电极插塞与N型掺杂的半导体层207 电连接，具体地，所述导电材料为钛、铝或金等导电金属。至此，完成了发光二极管的制作过程。包括发光二极管的发光装置的制作方法还包括提供基座，所述基座包括装配凹 坑；按照第一电极与装配凹坑底面相连的倒装方式，将发光二极管固定于基座的装配凹坑 底面。其中，所述基座的装配凹坑侧壁与底面之间的角度为130° 150°，所述装配凹坑 的侧壁可以反射发光二极管发出的光，可以提高发光二极管的出光效率。所述基座采用散 热性能好的导电材料，例如硅或铝等；所述装配凹坑的上开口尺寸为4微米，所述装配凹坑 的底面开口尺寸为2微米。所述发光装置的制作方法还包括形成覆盖于第二电极上的透镜结构，较佳地，形 成覆盖于第二电极上、并填充于发光二极管和基座之间空隙的透镜结构，所述透镜结构可 以会聚发光二极管发出的光。所述发光装置的制作方法还包括在透镜结构上涂覆荧光粉，用于发出白光，例 如，发光二极管用于发出蓝光，在透镜结构上涂覆含Ce3+的YAG荧光粉，以发出白光。较佳地，所述发光装置的制作方法还包括，形成覆盖于侧壁上的导电材料，所述导 电材料与发光二极管底部的第一电极相连(如图1所示)，以增大第一电极与基座的接触面 积，以实现良好的电性连接。所述发光装置的制造方法还包括设置连接基座和电源负极的第一引线、设置连接 第二电极和电源正极的第二引线等，与现有技术相同，不再赘述。至此，发光装置即制作完成。本发明的制造方法，制造工艺较为简单。虽然本发明己以较佳实施例披露如上，但本发明并非限定于此。任何本领域技术 人员，在不脱离本发明的精神和范围内，均可作各种更动与修改，因此本发明的保护范围应 当以权利要求所限定的范围为准。
权利要求
1.一种发光二极管，其特征在于，包括用于连接发光二极管与电源负极的第一电极; 依次位于所述第一电极上的衬底、发光二极管管芯，所述衬底中形成有多个贯穿衬底的接 触孔，所述接触孔的上孔径尺寸小于下孔径尺寸，所述接触孔中填充有用于连接第一电极 和发光二极管管芯的电极插塞。
2.如权利要求1所述的发光二极管，其特征在于，所述接触孔下孔径的尺寸在5至20 微米的范围内。
3.如权利要求1所述的发光二极管，其特征在于，所述发光二极管还包括位于发光二 极管管芯上的第二电极，所述第二电极连接发光二极管与电源正极。
4.一种包括如权利要求1 3所述任意一发光二极管的发光装置，其中，所述发光装置 还包括基座，所述发光二极管安装于所述基座上。
5.如权利要求4所述的发光装置，其中，所述基座包括用于安装所述发光二极管的装 配凹坑，所述装配凹坑的侧壁与装配凹坑的底面之间的角度为130° 150°。
6.如权利要求4所述的发光装置，其中，所述发光装置还包括覆盖于发光二极管上的 透镜结构。
7.如权利要求4所述的发光装置，其中，所所述发光装置还包括覆盖于发光二极管上、 且填充于所述发光二极管和装配凹坑的侧壁之间的空隙中的透镜结构。
8.如权利要求6或7所述的发光装置，其中，所述发光装置还包括覆盖于透镜结构上的 荧光粉。
9.一种发光二极管的制造方法，其特征在于，包括在衬底上依次形成发光二极管管 芯、第二电极；图形化所述衬底背面、形成露出发光二极管管芯的倒梯形接触孔；向所述倒 梯形接触孔中填充导电材料、直至所述导电材料覆盖于衬底背面。
10.如权利要求9所述的发光二极管的制造方法，其特征在于，图形化所述衬底背面、 形成露出发光二极管管芯的倒梯形接触孔的步骤包括在衬底的背面形成硬掩模；以所述 硬掩模为掩模蚀刻所述衬底背面，形成多个倒梯形接触孔、直至露出发光二极管管芯；去除 硬掩模。
11.如权利要求10所述的发光二极管的制造方法，其特征在于，所述衬底为蓝宝石，所 述硬掩膜为二氧化硅，所述以所述硬掩模为掩模蚀刻所述衬底背面，形成多个倒梯形接触 孔、直至露出发光二极管管芯的步骤包括采用硫酸和磷酸的混合溶液对蓝宝石衬底的上 表面进行各向异性腐蚀。
12.如权利要求11所述的发光二极管的制造方法，其特征在于，所述去除硬掩模的步 骤包括，通过氢氟酸溶液去除硬掩模。
13.如权利要求9所述的发光二极管的制造方法，其特征在于，图形化衬底背面之前， 还包括从衬底的背面对衬底进行减薄处理。
14.如权利要求9所述的发光二极管的制造方法，其特征在于，所述向所述倒梯形接触 孔中填充导电材料的步骤包括通过物理气相沉积法向所述接触孔中填充导电材料。
全文摘要
本发明提供一种发光二极管及其制造方法、发光装置，发光二极管包括用于连接发光二极管与电源负极的第一电极；依次位于第一电极上的衬底、发光二极管管芯，衬底中形成有多个贯穿衬底的接触孔，接触孔的上孔径尺寸大于下孔径尺寸，接触孔中填充有用于连接第一电极和发光二极管管芯的电极插塞。包括发光二极管的发光装置中，发光装置还包括基座，发光二极管安装于基座上。发光二极管的制造方法，包括在衬底上依次形成发光二极管管芯、第二电极；图形化衬底背面、形成露出发光二极管管芯的倒梯形接触孔；向倒梯形接触孔中填充导电材料、直至形成覆盖于衬底背面上的第一电极。本发明提高了发光二极管出光效率，并且制造工艺较为简单。
文档编号H01L33/36GK102054914SQ201010538428
公开日2011年5月11日 申请日期2010年11月9日 优先权日2010年11月9日
发明者张汝京, 肖德元 申请人:映瑞光电科技(上海)有限公司