专利名称：有机发光显示装置的透明导电基板及其制备方法
技术领域：
本发明涉及有机发光显示装置。更具体地，涉及有机发光显示装置的透明导电基 板及其制备方法。
背景技术：
有机发光器件(Organic Light-Emitting Diode，缩略词为0LED)因其能耗低、分 辨率高、亮度高、发光效率高、响应速度快、视角宽、不需背光源、成本低、驱动电压低等诸多 优点，在平板显示等领域具有广泛的研究、应用前景。特别地，OLED具有全固态特性，无真 空腔，无液态成分，机械性能好，抗震动性强，使用塑料、聚酯薄膜或胶片作为基板，OLED屏 可以做到更薄，甚至可以折叠或卷起来，可实现柔性软屏显示。
OLED通常由阴极和阳极间夹多层有机薄膜构成，对于底发光型OLED显示器件，阳 极主要采用透明氧化铟锡(Indium Tin Oxides，缩略词为ΙΤ0)电极，有机材料覆盖在阳极 上，阴极采用反射式金属薄膜。ITO电极透过率高，电阻较低，性能稳定，是目前综合性能优 秀的透明导电材料。但是与低电阻金属相比，电阻还是要高很多，OLED作为电流型器件要 求电极的电压降尽可能小以保证均勻性和降低功耗。因此，在阳极的制备过程中先在基板 上溅射一层ITO再制作一层低电阻金属作为辅助电极。
ITO是常用的OLED阳极。塑料衬底的玻璃化温度较低，只能采用低温沉积的ITO 导电膜，而低温ITO性能与高温退火处理的ITO性能差别很大，电阻率较高，增加了电极引 线上的功耗，同时使发光区域亮度不均勻。最为严重的是低温ITO电极是脆性材料，ITO膜 在弯曲时易形成裂纹甚至折裂，导电特性变差，从而造成器件失效。
中国发明专利CN1864094A公开了一种柔性IXD弯曲的ITO电极结构(如图1所 示)。其中ITO层11位于柔性基板10上，ITO层11包括矩形部分12和13，在ITO电极方 向上，12和13偏移开一段距离14并通过相对窄的部分15电连接。ITO层的弯曲结构使其 能够在断裂前承受一定的应力。
但是这种结构仍然存在应力承受能力不足和导电性能差的问题。 发明内容
本发明所要解决的技术问题是提供一种柔性有机发光显示装置的透明导电基板 及其制备方法。
为解决上述技术问题，本发明的一种有机发光显示装置的透明导电基板，包括柔 性基底和列电极，其特征在于所述列电极包括辅助电极和间隔排列的多个列电极单元； 相邻的列电极单元通过所述辅助电极电连通。
优选地，所述辅助电极形成在所述柔性基底上，所述列电极单元包括形成在辅助 电极上的连接区和形成在所述柔性基底上的有效发光区。
为保证辅助电极在基板弯曲后的电连通功能的稳定性，所述连接区在列电极排列 方向上的宽度为10-1000nm。
实践中，所述列电极可为四边形，并且为了进一步提高导电基板的导电性能，所述 连接区包括与列方向垂直的纵向连接区和/或列方向上的横向连接区。进一步地，所述列电极单元为透明ITO电极。为提高辅助电极的导电性及柔韧性，可选用金属电极作为辅助电极，例如银、铝、 铜、钯或其中任意两种或两种以上的合金。本发明的一种有机发光显示装置的透明导电基板的制备方法，包括以下步骤1) 在柔性基底上形成辅助电极导电层；2)采用干法或湿法蚀刻所述金属导电层形成辅助电 极；3)在柔性基底上形成列电极导电层；4)采用干法或湿法蚀刻所述列电极导电层形成间 隔排列的多个列电极单元，相邻的列电极单元通过所述辅助电极电连通。优选地，所述列电极可为四边形，所述列电极单元包括形成在辅助电极上的连接 区和形成在所述柔性基底上的有效发光区。优选地，所述连接区在列方向上的宽度为lO-lOOOnm。优选地，所述列电极单元为透明ITO电极。所述辅助电极为金属电极。所述金属电极可选用银、铝、铜、钯或其中任意两种或 两种以上的合金
本发明与现有技术对比的有益效果是
本发明采用列电极单元间隔设置，并利用柔韧性和导电性好的辅助电极进行连接从而 形成列电极，与现有技术相比本发明的透明导电基板的电极能够承受更大的由导电基板弯 曲所带来的应力，防止电极开裂或断裂；同时辅助电极能够降低电极电阻，提高导电基板的 性能。
图1是现有技术中一种柔性IXD弯曲的ITO电极结构示意图2是本发明具体实施方式
一的柔性有机发光显示装置的ITO电极及辅助电极结构示 意图3是本发明具体实施方式
二的柔性有机发光显示装置的ITO电极及辅助电极结构示 意图4是本发明具体实施方式
三的柔性有机发光显示装置的ITO电极及辅助电极结构示 意图。
具体实施例方式下面对照附图并结合优选的实施方式对本发明作进一步说明。
具体实施方式
一
对照图2，本优选具体实施方式
的柔性透明导电基板包括柔性塑料基底1，和塑料基底 上的列电极，列电极由列电极单元2及辅助电极3组成，其中，列电极单元2为矩形的透明 ITO电极，辅助电极3为金属电极。ITO电极沿一个方向延伸并通过辅助电极电连接成为 OLED显示器的列电极，列电极宽度100的典型值为240 μ m。ITO电极沿列方向由一定的间 隔7分开，在列方向上对齐排列。每一段ITO电极的长度110与透明导电基板弯曲状况有 关，曲率半径越大，每一段越小，最小可以达到一个发光单元尺寸。这样设置ITO电极保证了电极弯曲而不会开裂甚至断裂。典型的选用长度110为240 μ m，可以形成190 μ m长的有 效发光区域。
塑料基底1为聚对苯二甲酸乙二醇酯(Polyethylene Ter印hthalate，缩略 词为PET)，萘二甲酸聚乙烯酯(Polyethylene Naphthalate，缩略词为PEN)，聚醚砜( Polyethersulfone，缩略词为PES)，聚碳酸酯(Polycarbonate，缩略词为PC)，聚酰亚胺 (Polyimide，缩略词为PI)等，典型地采用0. 1-1. Omm厚的PET。采用磁控溅射法、热蒸发 法或者电子束蒸发法在PET基底上形成金属导电层，所述金属导电层材料的导电性能要好 且柔韧性好，如银、铜、铝、钯或其合金等，厚度为lO-lOOOnm，典型的采用IOOnm厚的铜膜。 然后采用干法或湿法工艺形成辅助电极3，辅助电极3边沿与ITO电极边沿对齐，其中处于 ITO电极中的辅助电极3的宽度9为1-80 μ m,既要保证辅助电极3有良好的导电能力又不 要降低显示屏的有效发光区面积(有效发光区是指不与辅助电极3重叠的列电极单元2的 区域)，优化的辅助电极宽度9为40 μ m。辅助电极3 —方面降低ITO电极的电阻，另一方面 连接各个ITO电极实现电连通。处于ITO电极间隙的辅助电极3的宽度与ITO电极的宽度 100 一致，辅助电极3与相邻的列电极单元相接，重叠部分宽度8为lOnm-lOOOnm，除了保证 电连通外还必须保证透明导电基板弯曲后电连接的可靠性，典型的宽度8为lOOnm。
采用磁控溅射法或者电子束蒸发法在PET基底上形成50-300nm的ITO膜，然后采 用干法或湿法工艺形成各个列电极单元。
具体实施方式
二对照图3，本优选具体实施方式
的柔性透明导电基板包括柔性塑料基底1和柔性塑料 基底上的列电极，列电极由透明ITO电极2及辅助电极3组成。ITO电极沿一个方向延伸成 为OLED显示器的列电极，列电极宽度100的典型值为240 μ m。ITO电极是不连续的，沿列 方向由一定的间隔7分开，ITO各个单元形状是矩形且在列方向相互错开排列。每一段ITO 的长度110与透明导电基板弯曲状况有关，曲率半径越大，每一段越小，最小可以达到一个 发光单元尺寸。这样设置ITO电极保证了电极弯曲而不会开裂甚至断裂。典型的选用长度 110为240 μ m，可以形成190 μ m长的有效发光区域。
按照具体实施方式
一的方法在塑料衬底1上形成辅助电极3和ITO透明电极2。
具体实施方式
三对照图4，本优选具体实施方式
与具体实施方式
一的区别仅在于本实施方式的列电极 单元呈平行四边形状。
以上内容是结合具体的优选实施方式对本发明所作的进一步详细说明，不能认定 本发明的具体实施只局限于这些说明。根据本发明，ITO单元现状可以不同于图中说明的矩 形或平行四边形，也可以是其它现状，相应地，辅助电极的现状按照本发明的思想作相应改 变。在不脱离本发明构思的前提下，做出若干等同替代或明显变型，而且性能或用途相同， 都应当视为属于本实用新型的保护范围。
权利要求
1.一种有机发光显示装置的透明导电基板，包括柔性基底和列电极，其特征在于所 述列电极包括辅助电极和间隔排列的至少两个列电极单元；相邻的列电极单元通过所述辅 助电极电连通。
2.根据权利要求1所述的有机发光显示装置的透明导电基板，其特征在于所述辅助 电极形成在所述柔性基底上，所述列电极单元包括形成在辅助电极上的连接区和形成在所 述柔性基底上的有效发光区。
3.根据权利要求2所述的有机发光显示装置的透明导电基板，其特征在于所述连接 区包括与列方向垂直的纵向连接区和/或列方向上的横向连接区。
4.根据权利要求2所述的透明导电基板，其特征在于所述纵向连接区在列方向上的 宽度为 10-1000nm。
5.根据权利要求1、2、3或4所述的有机发光显示装置的透明导电基板，其特征在于 所述列电极单元为透明氧化铟锡电极。
6.根据权利要求1、2、3或4所述的有机发光显示装置的透明导电基板，其特征在于 所述辅助电极为金属电极。
7.根据权利要求6所述的有机发光显示装置的透明导电基板，其特征在于所述金属 电极为银、铝、铜、钯或其中任意两种或两种以上的合金。
8.一种有机发光显示装置的透明导电基板的制备方法，其特征在于包括以下步骤1)在柔性基底上形成辅助电极导电层；2)采用干法或湿法蚀刻所述金属导电层形成辅助电极；3)在柔性基底上形成列电极导电层；4)采用干法或湿法蚀刻所述列电极导电层形成间隔排列的至少两个列电极单元，相邻 的列电极单元通过所述辅助电极电连通。
9.根据权利要求8所述的有机发光显示装置的透明导电基板的制备方法，其特征在 于各个所述列电极单元包括形成在辅助电极上的连接区和形成在所述柔性基底上的有效 发光区。
10.根据权利要求9所述的有机发光显示装置的透明导电基板的制备方法，其特征在 于所述连接区包括与列方向垂直的纵向连接区和/或列方向上的横向连接区。
11.根据权利要求10所述的有机发光显示装置的透明导电基板的制备方法，其特征在 于所述纵向连接区在列电极排列方向上的宽度为lO-lOOOnm。
12.根据权利要求8、9、10或11所述的透明导电基板的制备方法，其特征在于所述列 电极单元为透明氧化铟锡电极。
13.根据权利要求12所述的透明导电基板的制备方法，其特征在于所述辅助电极为 金属电极。
14.根据权利要求12所述的透明导电基板的制备方法，其特征在于所述金属电极是 银、铝、铜、钯或其中至少两种的合金。
全文摘要
本发明公开了一种有机发光显示装置的透明导电基板及其制备方法，本发明的有机发光显示装置的透明导电基板，包括柔性基底和列电极，其特征在于所述列电极包括辅助电极和间隔排列的至少两个列电极单元；相邻的列电极单元通过所述辅助电极电连通。本发明的制备方法为制备上述导电基板的方法。与现有技术相比本发明的透明导电基板的电极能够承受更大的由导电基板弯曲所带来的应力，防止电极开裂或断裂；同时辅助电极能够降低电极电阻，提高导电基板的性能。
文档编号H01L51/56GK102044558SQ20101054202
公开日2011年5月4日 申请日期2010年11月12日 优先权日2010年11月12日
发明者刘萍 申请人:深圳丹邦投资集团有限公司