专利名称：一种卡盘装置的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及半导体测试封装技术领域，特别涉及一种卡盘装置。
背景技术：
在半导体测试封装行业中，研发出快速可靠的设备，能把QFN(Quad FlatNo-Iead lockage，方形扁平无引脚封装)管子在蓝膜胶带上，经封装切割后，可以直接由机械手单个取出，装编入料管，再由料管进料的设备进行检测，因此可代替用人工把管子从蓝膜胶带排出来再装入料管的工序。通过光检确认管子编入料管的正确方向，此方法比用人工确认及手工编入来的可靠。装料机是在蓝膜胶带上切割好的QFN半导体晶体管从12/8 “片环框盒上料，单片推入上料台上，经设计的框架规定好位置，由机械压力使膨胀。采用光检通过X-Y-Z轴的移动定位，由机械手用真空吸力把管子单个吸起。采用16个工位以上的转盘式流程进行光检，定位分选后编入料管。此方法利用对装盘马达的控制的准确及相关马达的准确同步运作，对软件及电控的要求高。目前，扣住蓝膜胶带的装置机械卡盘，容易损伤蓝膜，有待做进一步的改进。运送蓝膜胶带到达卡盘的指定位置后，卡盘上的固定装置扣住蓝膜，但是扣的方式，是机械的合页式扣蓝膜胶带，这非常容易碰撞到蓝膜胶带，容易出现故障。由此，出现了一种平行滑动扣住蓝膜的装置，其包括设置在卡盘本体上的滑轨、滑动配合在所述滑轨上的滑块、一端连接在所述滑块上，另一端连接在所述卡盘本体上的伸缩装置。通过伸缩装置的伸缩运动，可带动滑块沿滑轨前后移动，以扣住蓝膜。但是，目前的卡盘装置与轨道底盘之间的高度不够，蓝膜到达卡盘时不能稳定的扣住固定。另外，卡盘装置运动时，其是X轴线路的运动是X轴的双线路布局的，这容易出现电线换乱，不能整齐的放置，不能按照运动的路径随之一起移动。
实用新型内容有鉴于此，本实用新型提供了一种卡盘装置，以实现卡盘与轨道底座之间的高度可调的目的。为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案一种卡盘装置，包括底座；铺设在所述底座上的纵向导轨；设置在所述底座上的纵向驱动马达，该纵向驱动马达与第一丝杠机构相连；与所述纵向导轨滑动配合的滑板；设置在所述底座上的横向驱动马达，该横向驱动马达与第二丝杠机构相连，该第二丝杠机构的丝母上连接有底板，该底板上设有抬高驱动马达以及若干个抬高丝杆机构， 该抬高丝杆机构的丝母外圈为圆形，所述抬高驱动马达通过传动带与各个抬高丝杆机构的丝母相连；与各个抬高丝杆机构的丝杆相连的第二层卡盘；设置在所述第二层卡盘上的第一层卡盘，该第一层卡盘上设有固定装置。优选的，在上述卡盘装置中，所述传动带为齿形带，所述抬高丝杆机构的丝母外圈具有与所述齿形带的轮齿配合的凹槽。优选的，在上述卡盘装置中，该卡盘装置的横向线路和纵向线路均为一根。优选的，在上述卡盘装置中，所述固定装置具体包括设置所述第一层卡盘上的滑轨；滑动配合在所述滑轨上的滑块；一端连接在所述滑块上，另一端连接在所述卡盘本体上的伸缩装置。优选的，在上述卡盘装置中，所述滑轨为分别与所述滑块两侧配合的两个。优选的，在上述卡盘装置中，所述滑轨的底部形成有滑槽，所述滑块的底部两侧形成有与所述滑槽配合的滑板。优选的，在上述卡盘装置中，所述伸缩装置为气缸。优选的，在上述卡盘装置中，所述滑轨通过螺钉固定在所述第一层卡盘上。从上述的技术方案可以看出，与现有技术相比，本实用新型通过设置一个与第二丝杠机构的丝母相连的底板，并在底板上设置抬高驱动马达以及若干个抬高丝杆机构，抬高丝杆机构的丝母外圈为圆形，抬高驱动马达通过传动带与各个抬高丝杆机构的丝母相连，第二层卡盘与各个抬高丝杆机构的丝杆相连。通过抬高驱动马达驱动各个抬高丝杆机构的丝母转动，从而使得抬高丝杆机构的丝杆轴线运动，继而将第二层卡盘和设置在第二层卡盘上的第一层卡盘抬高和降低，使得蓝膜到达卡盘时能够稳定的扣住固定。
为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。图1为本实用新型实施例提供的卡盘装置的结构示意图。
具体实施方式
本实用新型公开了一种卡盘装置，以实现卡盘与轨道底座之间的高度可调的目的。下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。请参阅图1，图1为本实用新型实施例提供的卡盘装置的结构示意图。本实用新型提供的卡盘装置，包括底座1 ；[0034]铺设在所述底座1上的纵向导轨3 ；设置在所述底座1上的纵向驱动马达2，该纵向驱动马达2与第一丝杠机构14相连，通过纵向驱动马达2驱动第一丝杠机构14的丝杠转动，从而实现其丝母沿丝杆轴向移动；与所述纵向导轨3滑动配合的滑板，第一丝杠机构14的丝母与该滑板相连，从而通过丝母的移动，带动滑板沿纵向导轨3滑动；设置在所述底座1上的横向驱动马达8，该横向驱动马达8与第二丝杠机构12相连，该第二丝杠机构12的丝母上连接有底板，通过横向驱动马达8驱动第二丝杠机构12的丝杆转动，从而使得第二丝杠机构12的丝母及与其连接的底板沿第二丝杠机构12的丝杆移动。底板上设有抬高驱动马达13以及若干个抬高丝杆机构，该抬高丝杆机构的丝母外圈为圆形，所述抬高驱动马达13通过传动带6与各个抬高丝杆机构的丝母相连；与各个抬高丝杆机构的丝杆相连的第二层卡盘5 ；设置在所述第二层卡盘5上的第一层卡盘11，该第一层卡盘11上设有固定装置 10。本实用新型通过设置一个与第二丝杠机构12的丝母相连的底板，并在底板上设置抬高驱动马达13以及若干个抬高丝杆机构，抬高丝杆机构的丝母外圈为圆形，抬高驱动马达13通过传动带6与各个抬高丝杆机构的丝母相连，第二层卡盘与各个抬高丝杆机构的丝杆相连。通过抬高驱动马达驱动各个抬高丝杆机构的丝母转动，从而使得抬高丝杆机构的丝杆轴线运动，继而将第二层卡盘和设置在第二层卡盘上的第一层卡盘抬高和降低，使得蓝膜到达卡盘时能够稳定的扣住固定。为了优化上述技术方案，本实用新型提供的传动带6可以为齿形带，所述抬高丝杆机构的丝母外圈具有与所述齿形带的轮齿配合的凹槽，抬高丝杆机构的丝母的外形制成齿形带轮的形状，使之与齿形带相配。齿形带能实现各个抬高丝杆机构的丝杆上升或下降的距离相等，具有同步效果。卡盘装置的横向线路7和纵向线路4均为一根。横向线路7和纵向线路4来的更为整齐和有序，当横向运动时横向线路7—起跟随，纵向运动时，纵向线路4 一起跟随，更加的脉络清晰。本实用新型提供的固定装置10具体包括滑轨、滑块和伸缩装置。其中，滑轨设置第一层卡盘11上，可通过螺钉固定在第一层卡盘11上。滑块滑动配合在所述滑轨上，伸缩装置一端连接在所述滑块上，另一端连接在所述第一层卡盘11上。优选的，在滑块的外侧设有向下延伸的挡板，伸缩装置一端连接在所述滑块的挡板上。本实用新型在第一层卡盘11上设置滑轨，并设置与该滑轨滑动配合的滑块，通过伸缩装置的伸缩运动，可带动滑块沿滑轨前后移动。从而本实用新型提供的固定装置可平行的扣住蓝膜胶带，不易撞击蓝膜胶带，避免了合页式的翻转运动对蓝膜胶带的碰撞和损伤。为了进一步优化上述技术方案，滑轨为分别与所述滑块两侧配合的两个，两个滑轨能够为滑块提供稳定的滑道，避免滑块跑偏。滑轨的底部形成有滑槽，所述滑块的底部两侧形成有与所述滑槽配合的滑板。将滑轨和滑块上的滑动部设置在底部，更加靠近伸缩装置，能够明显减少伸缩装置驱动时带来的扭矩，降低了驱动力，提高了能源的利用效率。有旋的伸缩装置为气缸。本说明书中各个实施例采用递进的方式描述，每个实施例重点说明的都是与其他实施例的不同之处，各个实施例之间相同相似部分互相参见即可。对所公开的实施例的上述说明，使本领域专业技术人员能够实现或使用本实用新型。对这些实施例的多种修改对本领域的专业技术人员来说将是显而易见的，本文中所定义的一般原理可以在不脱离本实用新型的精神或范围的情况下，在其它实施例中实现。因此，本实用新型将不会被限制于本文所示的这些实施例，而是要符合与本文所公开的原理和新颖特点相一致的最宽的范围。
权利要求1.一种卡盘装置，其特征在于，包括底座(1)；铺设在所述底座⑴上的纵向导轨(3)；设置在所述底座(1)上的纵向驱动马达O)，该纵向驱动马达O)与第一丝杠机构 (14)相连；与所述纵向导轨C3)滑动配合的滑板；设置在所述底座(1)上的横向驱动马达(8)，该横向驱动马达(8)与第二丝杠机构 (12)相连，该第二丝杠机构(1 的丝母上连接有底板，该底板上设有抬高驱动马达(13)以及若干个抬高丝杆机构，该抬高丝杆机构的丝母外圈为圆形，所述抬高驱动马达(1 通过传动带(6)与各个抬高丝杆机构的丝母相连；与各个抬高丝杆机构的丝杆相连的第二层卡盘(5)；设置在所述第二层卡盘( 上的第一层卡盘(11)，该第一层卡盘(11)上设有固定装置 (10)。
2.如权利要求1所述的卡盘装置，其特征在于，所述传动带(6)为齿形带，所述抬高丝杆机构的丝母外圈具有与所述齿形带的轮齿配合的凹槽。
3.如权利要求1所述的卡盘装置，其特征在于，该卡盘装置的横向线路(7)和纵向线路 ⑷均为一根。
4.如权利要求1所述的卡盘装置，其特征在于，所述固定装置(10)具体包括设置所述第一层卡盘(11)上的滑轨；滑动配合在所述滑轨上的滑块；一端连接在所述滑块上，另一端连接在所述卡盘本体上的伸缩装置。
5.如权利要求4所述的卡盘装置，其特征在于，所述滑轨为分别与所述滑块两侧配合的两个。
6.如权利要求5所述的卡盘装置，其特征在于，所述滑轨的底部形成有滑槽，所述滑块的底部两侧形成有与所述滑槽配合的滑板。
7.如权利要求4所述的卡盘装置，其特征在于，所述伸缩装置为气缸。
8.如权利要求4所述的卡盘装置，其特征在于，所述滑轨通过螺钉固定在所述第一层卡盘(11)上。
专利摘要本实用新型公开了一种卡盘装置，包括纵向导轨和纵向驱动马达，该纵向驱动马达与第一丝杠机构相连；与纵向导轨滑动配合的滑板；横向驱动马达，该横向驱动马达与第二丝杠机构相连，该第二丝杠机构的丝母上连接有底板，该底板上设有抬高驱动马达以及若干个抬高丝杆机构，抬高驱动马达通过传动带与各个抬高丝杆机构的丝母相连；与各个抬高丝杆机构的丝杆相连的第二层卡盘；设置在第二层卡盘上的第一层卡盘，该第一层卡盘上设有固定装置。通过抬高驱动马达驱动各个抬高丝杆机构的丝母转动，从而使得抬高丝杆机构的丝杆轴线运动，继而将第二层卡盘和设置在第二层卡盘上的第一层卡盘抬高和降低，使得蓝膜到达卡盘时能够稳定的扣住固定。
文档编号H01L21/687GK202025730SQ201120028548
公开日2011年11月2日 申请日期2011年1月27日 优先权日2011年1月27日
发明者张巍巍 申请人:江阴格朗瑞科技有限公司