专利名称：一种石墨舟冷却装置的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及冷却装置，尤其涉及一种石墨舟冷却装置。
背景技术：
石墨舟冷却装置主要功能是将400°C的石墨舟进行冷却至可操作温度 (35-50°C )，通常是在石墨舟放置台旁边设置风机，通过风机使石墨舟降温，但是石墨舟是否降到合适温度无法探知，风机会一直处于工作状态，因此在冷却过程中主要有以下缺陷 1、冷却时间不可限定，导致无法合理利用时间资源。2、冷却结束无报警提示。3.无法把握可操作温度经常出现过冷或冷却不够。
实用新型内容本实用新型的目的，就是为了提供一种可降低损耗、提高利用率的石墨舟冷却装置。为了达到上述目的，本实用新型采用了以下技术方案一种石墨舟冷却装置，包括风机、感应器、石墨舟放置台，风机设置在石墨舟放置台旁，其特征在于，还包括延时继电器和报警灯，所述的感应器感应石墨舟放置台上是否放置石墨舟，所述的延时继电器分别连接感应器和风机，所述的报警灯连接延时继电器。所述的感应器连接风机。与现有技术相比，本实用新型具有以下优点—、时间把握效果高跟好的合理利用时间，降低了电能源的损耗。二、提高了冷却房的利用率。三、提高了人力资源的使用率。
图1是本实用新型的结构示意图。
具体实施方式
实施例1如图1所示，一种石墨舟冷却装置，包括石墨舟放置台1、风机2、感应器3，还包括延时继电器4和报警灯5，风机2设置在石墨舟放置台1旁，所述的延时继电器4分别连接感应器3和风机2，所述的报警灯5连接延时继电器4。所述的感应器3感应石墨舟放置台 1上是否放置石墨舟，如果已经放置石墨舟，感应器将该信号传递给风机2，风机2开始运转使石墨舟降温，风机连接延时继电器4，延时继电器4上设有调时按钮5，通过调时按钮5设定延时继电器4的时间，从而控制风机的运转时间，一般根据先测定石墨舟冷却到合适的温度需要的时间，然后通过延时继电器4设定风机的冷却时间，风机运行完设定时间后自动停止，报警灯闪烁报警。
权利要求1.一种石墨舟冷却装置，包括风机、感应器、石墨舟放置台，风机设置在石墨舟放置台旁，其特征在于，还包括延时继电器和报警灯，所述的感应器感应石墨舟放置台上是否放置石墨舟，所述的延时继电器分别连接感应器和风机，所述的报警灯连接延时继电器。
2.根据权利要求1所述的石墨舟冷却装置，其特征在于，所述的感应器连接风机。
专利摘要本实用新型提供了一种石墨舟冷却装置，包括夹具和酸液，夹具可上下左右移动地悬挂在酸液上方，所述的夹具由两个夹手和连接两个夹手的吊框组成。与现有技术相比，本实用新型使得硅片既没有损伤，又能够不依赖进口设备，简单方便。
文档编号H01L31/18GK202018985SQ20112007474
公开日2011年10月26日 申请日期2011年3月21日 优先权日2011年3月21日
发明者吴俊 , 周浩杰, 孔建武 申请人:上海神舟新能源发展有限公司