专利名称：一种新型等离子刻蚀夹具的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及太阳能电池制造领域，尤其是涉及一种新型等离子刻蚀夹具。
背景技术：
现有等离子刻蚀夹具存在调节夹紧范围偏小的问题。需要在底部垫3-4cm的铝板才能夹紧硅片，减小了刻蚀腔体的有效气体容积，且阻挡了腔体下部气体的流动。现有夹具采用铝制材料，上部一个旋紧螺母，侧边四根档杆的结构，限制了可以装载的硅片的片数， 且没有起到很好的压紧硅片的效果。
实用新型内容本实用新型的目的就是为了克服上述现有技术存在的缺陷而提供一种结构简单、 刻蚀效果好的新型等离子刻蚀夹具。本实用新型的目的可以通过以下技术方案来实现一种新型等离子刻蚀夹具，其特征在于，该夹具包括螺杆、底座及压板，所述的螺杆有两根，设在两侧，所述的底座设在下部，两端套设在螺杆上，所述的压板设在底座的上方，两端套设在螺杆上。所述的螺杆上设有旋紧螺母。所述的底座为可在螺杆上自由移动的底座，经旋紧螺母固定定位。所述的底座包括两块底板，两块底板之间经支柱连接。所述的支柱设有5根。所述的压板为可在螺杆上自由移动的压板，经旋紧螺母固定定位。所述的压板由底板及压紧撑手构成，所述的压紧撑手设在底板顶部的中间位置。与现有技术相比，本实用新型具有以下优点(1)结构简单利用钢板的材料特性用最简单的结构达到了夹紧的目的；(2)刻蚀效果佳架空的底座使下部的硅片也能受到等离子体充分的物理轰击， 且使装载硅片整体抬高，位于刻蚀腔体的上部，能得到更高的并阻值和电池效率；(3)有助于提高产量螺杆的高度可调，使可装载硅片数的范围更大。
图1为本实用新型的结构示意图。图中1为底板、2为压紧撑手、3为螺杆、4为旋紧螺母、5为硅片。
具体实施方式
以下结合附图和具体实施例对本实用新型进行详细说明。实施例一种新型等离子刻蚀夹具，其结构如图1所示，该夹具主要由螺杆3、底座及压板构成，螺杆3有两根，设在两侧，上面设置有旋紧螺母4。底座设在下部，两端套设在螺杆3 上，可以在螺杆3上自由移动，经旋紧螺母4固定定位，该底座由两块底板1构成，两块底板之间经5根支柱连接，从而形成一个架空的结构。压板设在底座的上方，两端套设在螺杆3 上，可以在螺杆3上自由移动，经旋紧螺母4固定定位，压板由底板1及压紧撑手2构成，压紧撑手2设在底板1顶部的中间位置，底板1可采用合金钢等金属材料制成。 底座和压板之间夹设有硅片5，螺杆和3旋紧螺母4组成高度调节结构，起到了高度调节和定位的作用5个支柱起到了架空和抬高的作用，使硅片5下部的等离子气体也能自由流动，底座整体抬高了硅片5的位置，使硅片5位于等离子刻蚀腔体的上部，得到更好的并阻值和电池效率。构成压板的底板1和压紧撑手2起到了压紧硅片5的作用，利用了钢板的自身重力和螺杆3的自由调节功能，使硅片5能被方便地夹紧，并且能调节装载硅片 5的厚度。
权利要求1.一种新型等离子刻蚀夹具，其特征在于，该夹具包括螺杆、底座及压板，所述的螺杆有两根，设在两侧，所述的底座设在下部，两端套设在螺杆上，所述的压板设在底座的上方， 两端套设在螺杆上。
2.根据权利要求1所述的一种新型等离子刻蚀夹具，其特征在于，所述的螺杆上设有旋紧螺母。
3.根据权利要求1所述的一种新型等离子刻蚀夹具，其特征在于，所述的底座为可在螺杆上自由移动的底座，经旋紧螺母固定定位。
4.根据权利要求1所述的一种新型等离子刻蚀夹具，其特征在于，所述的底座包括两块底板，两块底板之间经支柱连接。
5.根据权利要求4所述的一种新型等离子刻蚀夹具，其特征在于，所述的支柱设有5根。
6.根据权利要求1所述的一种新型等离子刻蚀夹具，其特征在于，所述的压板为可在螺杆上自由移动的压板，经旋紧螺母固定定位。
7.根据权利要求1所述的一种新型等离子刻蚀夹具，其特征在于，所述的压板由底板及压紧撑手构成，所述的压紧撑手设在底板顶部的中间位置。
专利摘要本实用新型涉及一种新型等离子刻蚀夹具，包括螺杆、底座及压板，螺杆有两根，设在两侧，底座设在下部，两端套设在螺杆上，压板设在底座的上方，两端套设在螺杆上。与现有技术相比，本实用新型结构简单，刻蚀效果佳，架空的底座使下部的硅片也能受到等离子体充分的物理轰击，且使装载硅片整体抬高，位于刻蚀腔体的上部，能得到更高的并阻值和电池效率，螺杆的高度可调，使可装载硅片数的范围更大，有助于提高产量。
文档编号H01L31/18GK202013874SQ20112007463
公开日2011年10月19日 申请日期2011年3月21日 优先权日2011年3月21日
发明者张安生, 徐自然, 黄晶晶 申请人:上海神舟新能源发展有限公司