专利名称：防绕射的太阳能电池沉积装置的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种用于太阳能电池的沉积装置，尤其是薄膜太阳能电池在镀膜过程中防止绕射的沉积装置，属于太阳能电池技术领域。
背景技术：
目前，薄膜太阳能电池都采用等离子体增强型化学气相沉积(PECVD)制备，采用射频(RF)辉光放电制备电池的光电转换层。PECVD沉积薄膜太阳能电池时，基片的放置方式通常采用平放和立放两种形式，如专利号200710176718. 6《一种生长硅基薄膜及高效硅基薄膜太阳能电池的PECVD设备》公开的技术是采用平放沉积基片，专利号201010197749. 1 《薄膜沉积设备》公开的技术是采用立放基片形式。通常立放基片形式用于单室多片沉积系统，而平放基片形式用于多室单片连续沉积系统。因立放基片形式沉积的基片数量要多于平放基片形式，所以立放式备受青睐。但立放基片形式存在基片如何与电极板表面紧密贴紧的问题，如果基片与电极板未贴紧，沉积气体将通过基片与电极板之间的空隙深入基片， 导致辉光放电过程中发生绕射，使基片受光面的周边也沉积了薄膜，且引发了如下问题一是后续激光无法刻划基片受光面周边的薄膜层；二是减少了电池的有效面积，光线不能穿透此膜层，影响了太阳能电池的电性能；三是严重影响了太阳能电池组件的外观。立放式基片在电极板的表面支撑固定形式主要由轮子支撑，基片与电极板之间具有一定的间隙，便于取放基片，且基片也不会与电极板接触摩擦，但是基片与电极板不能够紧密接触，导致产生绕射现象，影响沉积后的电池质量。
发明内容本实用新型针对现有技术存在的缺陷，解决在太阳能电池沉积过程中如何减少绕射现象和防止基片与电极板摩擦等技术问题，设计一种基片立放沉积时既没有绕射，又不会摩擦基片的PECVD夹具。本实用新型为解决技术问题而采用的技术方案设计一种防绕射的太阳能电池沉积装置，包括装有电极板阵列的沉积盒，其特征在于所述电极板阵列中的每块电极板上装有至少两个导轨槽，沉积基片放置在两个导轨槽之间，且基片与电极板之间设有防摩擦护垫，该护垫与沉积基片和电极板的接触面贴紧。在电极板的两边对称的放置待沉积的基片，该对称的基片分别放置在电极板两头对称安装的导轨槽内。电极板两头对称安装的导轨槽为弧形单边槽，其边缘处设有放置护垫的平台。电极板阵列中至少有一个双面放电安装的电极板，且在每个放电面上放置两块待沉积的基片，在所说电极板的端部、中部分别安装导轨槽，待沉积的基片放置在电极板端部和中部配合安装的导轨槽内。电极板阵列中每个放电面上装有两块或两块以上的基片，电极板的端部和中部分别安装导轨槽，其中端部导轨槽为弧形单边槽，电极板中部导轨槽为“工”字形的双边槽，且可以根据基片的尺寸调节中部导轨槽的安装位置。待沉积的基片立放在导轨槽内，且基片与电极板紧密贴紧。电极板阵列中电极板每个放电面上装有两块待沉积的基片，基片的两端插在相应的导轨槽内，即基片的一端放置在电极板端部的弧形单边内，基片的另一端放置在电极板中部的工字形双边槽内。电极板上待沉积的基片为玻璃或柔性基板。电极板的导轨槽内放置有待沉积的柔性基板，且导轨上设有压紧机构，柔性基板由压紧机构压紧立放在导轨槽内。电极板的导轨上的压紧机构主要由固定板、转动轴、压簧和定位销构成，所述转动轴和压簧连接导轨槽，且由固定板安装在电极板上，待沉积的柔性基板由压簧压紧在电极板的放电面上。电极板的两端均装有导轨槽，且电极板上端的导轨槽是设有压紧机构的“T”形双边槽，其中一边槽内放置有待沉积的基片，另一边槽内安装有压簧，待沉积的基片由压簧压紧在电极板上待沉积的柔性基板由压紧机构压紧与电极板紧密接触。电极板的导轨槽内还设有压紧柔性基板的凸台。本实用新型的有益效果是设计了一种结构简单的沉积夹具，夹具内设有承托、固定基片的导轨槽，导轨槽采用弧形设计，便于安装基片；而且基片与电极板之间设有护垫， 使基片既能贴紧电极板又不会产生摩擦，彻底避免了绕射现象。安装基片的导轨槽设计灵活，可以根据基片的尺寸调整导轨槽的安装位置，实现在同一电极板上安装不同规格的基片，一次沉积不同尺寸的太阳能电池，解决了现有单一腔体只能沉积一种规格太阳能电池的技术难题，同时提高了生产效率。
图1 本实用新型的结构示意图。图2 图1中的A部放大图。图3 实施例1的结构示意图。图4 实施例2的结构示意图。图5 弧形单边槽3截面示意图。图6 图4中工字形双边槽3’的截面示意图。图7 实施例三的结构示意图。图8 图7中的B处放大示意图。图9 图8中的C-C剖面示意图。图10 :图7中转动轨道槽的截面示意图。图11 :图7中转动轴7的结构示意图。图12 图7中固定板11的结构示意图。图中1、沉积盒，2、电极板，3、导轨槽，3-1、边缘平台I，3_2、下钩弧I，3’、工字形双边槽，3’ -1、边缘平台11，3-2、下钩弧11，4、基片，5、固定螺栓，6、防摩擦护垫，3”、转动轨道槽，4’、柔性基板，7、转动轴，8、拨动轴，9、压簧，10、定位销，11、固定板，12、固定螺栓。
具体实施方式
本实用新型的沉积夹具内每块电极板2上装有至少两个导轨槽3，沉积基片4放置在两个导轨槽3之间，且基片4与电极板之间设有防摩擦护垫6，该护垫6与沉积基片4和电极板2的接触面贴紧。安装基片的导轨槽设计灵活，位于电极板两端的导轨槽为单边弧形槽，位于电极板中部的导轨槽为工字形双边槽，中部的双边槽和电极板两端的弧形槽单边槽配合，可以实现在同一电极板上安装不同规格的基片，一次沉积不同尺寸的太阳能电池，提高了生产效率，解决了现有单一腔体只能沉积一种规格太阳能电池的技术难点。实施例一如图3所示，沉积夹具内电极板阵列中位于两边的电极板单面放电，其他的电极板均为双面放电，电极板的每个放电面上装有一块待沉积的基片4，基片4放置在电极板两端对称的导轨槽3内，该导轨槽3为弧形单边槽，将弧形单边槽通过固定螺栓5安装在沉积盒1内的电极板2两端边缘处，使电极板两端的弧形单边槽的弧形槽口 13-2上下相对，且电极板两端的导轨槽3之间的间距略大于沉积基片的尺寸。在将基片4插入弧形单边槽内时，先将防摩擦护垫6擦入上下两弧形单边槽的边缘平台13-1上，基片安装完毕后，取出防摩擦护垫6，电极板2与基片4之间有一个贴紧的面接触。在沉积基片4上镀膜，沉积完成后，在取出基片4前，先将防摩擦护垫6擦入两弧形单边槽的边缘平台13-1上，再取沉积好的基片4。本实用新型沉积夹具内电极板上的导轨槽3采用挤出铝型材，加工简单，不易变形，成本低，导轨槽3由铝合金材料制成，硬度高，在喷砂清洗时不会被损坏，弧形单边槽的弧形结构和基片的圆角一致，方便基片擦入，且基片稳固的放置在导轨槽内，不晃动。实施例二 如图4所示，沉积夹具内电极板阵列中的电极板放电面上装有两块待沉积的基片 4，该基片放置在电极板端部和中部配合安装的导轨槽3内。电极板2端部的导轨槽3为弧形单边槽3-2，电极板2中部的导轨槽3为镜面对称的双边槽3’-2，待沉积的基片4的一端放置在电极板端部的导轨槽内，基片4的另一端放置在电极板中部的导轨槽内。将弧形单边槽3-2通过固定螺栓5安装在沉积盒1上的电极板2的上下两端边缘处，使弧形单边槽的弧形槽口 13-2上下相对，同时将双边槽3’ -2通过固定螺栓5安装在电极板2的中间部位，在将基片4插入电极板端部导轨槽和电极板中部双边槽3’ -2之间时，先将防摩擦护垫 6擦入弧形单边槽3-2的边缘平台13-1和双边3’的边缘平台113’ -1上，基片装好后，再取出防摩擦护垫6，使电极板2与基片4之间有一个贴紧的面接触。开始在待沉积的基片4 上镀膜，沉积完成后，在取出基片4前，先将防摩擦护垫6擦入电极板和基片之间，再取基片 4。对于电极板阵列中电极板2的每个放电面装有两块以上的基片4时，可以在电极板的中间位置安装多个镜面对称的双边槽3’-2，而且可以根据基片4的尺寸调整双边导轨槽的安装位置，这样可以使不同规格基片均可以在同一沉积夹具内沉积，解决了单一腔体只能沉积一种规格的技术难题。实施例三见图7，本实用新型设计的沉积夹具还适用于沉积柔性薄膜太阳能电池。由于柔性基板4’通常采用薄的高分子材料或者薄金属材料，如果上下边均采用无压紧机构的轨道槽3，柔性基板4’在槽内相当于自由放置，那么柔性基板4’会由于自重往下坠落，在中间部位出现鼓肚或波浪现象，无法与电极板2贴紧，影响沉积效果。因此对于柔性基板4’用沉积夹具，需要对柔性基板4’的上边缘进行压紧，使其不能往下坠落，在实施例1的基础上，本实施例将电极板的上端的导轨设有压紧机构，柔性基板4’由压紧机构压紧立放在导轨槽3 内，且待沉积的柔性基板4’由压紧机构压紧与电极板2紧密接触。设有压紧机构导轨槽是可以转动的，在放置柔性基板4’时通过拨动轴8使转动轴7转动克服压簧9的压力并带动转动轨道槽3”一起转动，使柔性基板4’很容易放置，当柔性基板4’放置好后，松开拨动轴 8，转动轨道槽3”由于压在上面的压簧9的作用又使转动轨道槽3”压紧在柔性基板4’上， 实现对柔性基板4’上边缘的压紧作用，使柔性基板4’能够很好平整地贴在电极板2上。见图7至图12，电极板导轨上的压紧机构主要由固定板11、转动轴7、拨动轴8、压簧9、定位销10以及转动轨道槽3”组成，转动轴7和压簧9连接导轨槽3，且由固定板11 安装在电极板2上，待沉积的柔性基板4’由压簧9压紧在电极板2的放电面上。固定板 11为耐磨性好的金属板，由固定螺栓12通过固定孔11-2固定在电极板2的两头端面，在固定板11上面开有可以通过转动轴7的通孔11-1，通孔11-1大小刚好可以使转动轴7在其内部自由转动而不晃动，转动轴7从一侧穿过固定板11的通孔11-1、压簧9以及转动轨道槽3”的通孔3”-1，再穿过另一侧的压簧9以及固定板11的通孔11-1，在转动轴7的两端部开有固定孔7-1，将拨动轴8固定在其上，在其上还开有定位孔7-2，通过定位销10将转动轨道槽3”固定在转动轴上，使转动轨道槽3”能够与转动轴7 —起转动，压簧9套在转动轴7的靠近固定板11内侧上，一边压脚压在电极板2上，另一边压脚压在转动轨道槽3” 的压簧槽3”-4上，转动轨道槽3”的截面呈T字形，在上端有通孔3”-1，而且在靠近电极板 2的内侧顶部边缘制成与通孔3”-1同心的圆弧3”-2，使得转动轨道槽3”能够贴住电极板 2转动，在下部靠近电极板2的内侧有基片槽3”-5以及下端角向内的小凸圆3”-3，小凸圆 3”-3用来压紧柔性基板4’，在下端外侧有压簧槽3”-4，可以使压簧9的压脚不会滑脱。以上结合附图对本实用新型的实施例作了详细说明，但是本实用新型并不限于上述实施例，在本领域普通技术人员所具备的知识范围内，还可以在不脱离本实用新型宗旨的前提下作出各种变化。
权利要求1.一种防绕射的太阳能电池沉积装置，包括装有电极板阵列的沉积盒(1)，其特征在于所述电极板阵列中的每块电极板(2)上装有至少两个导轨槽(3)，沉积基片(4)放置在两个导轨槽(3)之间，且基片(4)与电极板之间设有防摩擦护垫(6)，该护垫(6)与沉积基片 (4)和电极板(2)的接触面贴紧。
2.根据权利要求1所述的防绕射的太阳能电池沉积装置，其特征在于所述沉积基片 (4)安装在两个对称的导轨槽(3)之间，该导轨槽固定在电极板(2)两端的边缘处。
3.根据权利要求2所述的防绕射的太阳能电池沉积装置，其特征在于所述固定在电极板(2)两端的导轨槽(3)为弧形单边槽，其边缘处设有宽度放置防摩擦护垫(6)的平台。
4.根据权利要求1所述的防绕射的太阳能电池沉积装置，其特征在于所述电极板(2) 的两端和中部均装有导轨槽(3)，其中位于两端的导轨槽为弧形单边槽，位于中部的导轨槽为“工”字形双边槽，该“工”字形两边的凹槽分别与电极板两端的弧形单边槽配合，沉积基片安装在凹槽和弧形单边槽之间。
5.根据权利要求4所述的防绕射的太阳能电池沉积装置，其特征在于所述每块电极板 (2 )上至少装有两块沉积基片(4 )。
6.根据权利要求1所述的防绕射的太阳能电池沉积装置，其特征在于所述电极板上的沉积基片(4)为玻璃或柔性基板。
7.根据权利要求6所述的防绕射的太阳能电池沉积装置，其特征在于所述电极板上的导轨槽(3)设有压紧机构，基片(4)由压紧机构固定在导轨槽(3)内，且与电极板(2)贴紧。
8.根据权利要求7所述的防绕射的太阳能电池沉积装置，其特征在于所述电极板上的导轨槽(3)的压紧机构主要由固定板(11)、转动轴(7)、压簧(9)和定位销(10)构成，所述转动轴(7)和压簧(9)连接导轨的导槽(3)，且由固定板(11)安装在电极板(2)上，待沉积的柔性基板(4’)由压簧(9)压紧在电极板(2)的放电面上。
9.根据权利要求8所述的防绕射的太阳能电池沉积装置，其特征在于所述电极板上的导轨槽(3)为“T”形双边槽，其中一边槽内放置有待沉积的基片(4)，另一边槽内安装有压簧(9)，待沉积的基片(4)由压簧(9)压紧在电极板上。
10.根据权利要求9所述的防绕射的太阳能电池沉积装置，其特征在于所述电极板的两端均装有导轨槽(3)，其中上端的导轨槽为“T”形双边槽，下端的导轨槽为弧形单边槽， 导轨槽(3)内待沉积的基片(4)为柔性基板。
专利摘要本实用新型涉及一种用于太阳能电池的沉积装置，属于太阳能电池技术领域。解决在太阳能电池沉积过程中如何减少绕射现象和防止基片与电极板摩擦等技术问题。本实用新型设计的太阳能电池沉积装置，包括装有电极板阵列的沉积盒，电极板阵列中的每块电极板上装有至少两个导轨槽，沉积基片放置在两个导轨槽之间，且基片与电极板之间设有防摩擦护垫，该护垫与沉积基片和电极板的接触面贴紧。本实用新型结构简单，不仅避免了绕射的产生，还能防止基片与电极板产生摩擦，同时可以实现在同一电极板上安装不同规格的基片，提高了生产效率。
文档编号H01L31/18GK202265608SQ201120364848
公开日2012年6月6日 申请日期2011年9月28日 优先权日2011年9月28日
发明者周建华, 李毅 申请人:深圳市创益科技发展有限公司