专利名称：一种可升降加热器的制作方法
技术领域：
本实用新型属于微纳制造领域，更具体地，涉及一种可升降加热器。
背景技术：
在半导体加工工艺中，载物台上的样品是需要加热至一定温度才能完成相关工艺，但是供其温度的加热器是固定不动的。而在进行测量工艺时，样品必须保证与测量仪器之间的精确位置，这时需要载物台能够在外界作用下上下垂直运动进行调试距离。将加工和测量工艺结合在一起时，必须将加热器设计成可升降机构，以保证加工和测量的顺利进行。然而，目前还没有可使加热器升降以完成载物台样品加工和测量的装置。
实用新型内容针对现有技术的缺陷，本实用新型的目的在于提供一种可升降加热器，其能够完成半导体加工工艺和测量工艺的操作。为实现上述目的，本实用新型提供了一种可升降加热器，包括传送杆，载物台，力口热器和丝杠，加热器和丝杠的顶部固定连接，加热器的顶部设置有斜槽和深槽，载物台用于承载样品，载物台的底部设置有弹性定位销，侧面设置有一对侧面定位销，加热器与载物台是通过弹性定位销与斜槽和深槽的配合实现固定连接，用于为样品提供温度保证，传送杆和载物台固定连接，用于将载物台从一空间初始位置水平传送到另一空间位置上进行加工和测量工艺。加热器和丝杠的顶部是通过滚动轴承或滑动轴承固定连接。丝杠用于通过自身旋转实现加热器的升降，且具有粗调和精调的功能。
载物台是实心圆盘型或者空心圆盘型。传送杆前部设置有凹槽结构。传送杆和载物台运动时，是通过侧面定位销和凹槽机构的配合来实现固定连接，传送杆单独运动时，侧面定位销和凹槽机构是分离的。通过本实用新型所构思的以上技术方案，与现有技术相比，本实用新型具有以下的有益效果1、因为载物台水平运动时，难以保证准确定位与待加工或测量的位置，所以在加热器顶部设计斜槽和深槽与定位销来保证载物台的水平位置。2、因为传送杆和载物台要实现分离单独运动和固接一起运动，所以在传送杆顶部设计凹槽机构与载物台侧面的侧面定位销实现分离和固接。3、因为要将加工和测量工艺结合在一起，所以通过载物台的水平运动至待加工或测量位置，再经过升降加热器来实现垂直上下运动，来实现工艺需求。
图1是本实用新型可升降加热器的主视图。[0015]图2是本实用新型加热器的侧视图。图3是本实用新型传送杆的侧视图。
具体实施方式
为了使本实用新型的目的、技术方案及优点更加清楚明白，
以下结合附图及实施例，对本实用新型进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本实用新型，并不用于限定本实用新型。如图1所示，本实用新型可升降加热器包括传送杆4，载物台5，加热器6和丝杠7。加热器6和丝杠7的顶部固定连接，在本实施方式中，是通过滚动轴承或滑动轴承固定连接。丝杠7用于通过自身旋转实现加热器6的升降，并具有粗调和精调的功能。如图2所示，加热器6的顶部设置有斜槽10和深槽11。载物台5用于承载样品。载物台5的底部设置有弹性定位销8，载物台5的侧面设置有一对侧面定位销9。在本实施方式中，载物台5是实心圆盘型或者空心圆盘型。加热器6与载物台5是通过弹性定位销8与斜槽10和深槽11的配合实现固定连接，用于为样品提供温度保证。传送杆4和载物台5固定连接，用于将载物台5从一空间初始位置水平传送到另一空间位置上进行加工和测量工艺。如图3所示，传送杆4前部设置有凹槽结构12。具体而言，传送杆4和载物台5运动时，是通过侧面定位销9和凹槽机构12的配合来实现固定连接，传送杆4单独运动时，侧面定位销9和凹槽机构12是分离的。以下描述本发明的工作原理载物台处于初始状态与传送杆固接在一起,传送杆带动载物台运动至加热 器上方，通过弹性定位销确定载物台的位置，然后加热器在丝杠的作用下垂直上升，将载物台脱离传送杆的作用，抽出传送杆，之后继续调整载物台的位置以便进行测量工艺。测量工艺完成之后，载物台在加热器的升降作用下调整到传送位置上，此时运动传送杆至载物台侧面的凹槽机构中，加热器继续下降，载物台在重力作用下固定在传送杆上，和传送杆一起运动至初始位置上。本领域的技术人员容易理解，以上所述仅为本实用新型的较佳实施例而已，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。
权利要求1.一种可升降加热器，其特征在于，包括传送杆，载物台，加热器和丝杠；所述加热器和所述丝杠的顶部固定连接；所述加热器的顶部设置有斜槽和深槽；所述载物台用于承载样品；所述载物台的底部设置有弹性定位销，侧面设置有一对侧面定位销；加热器与载物台是通过所述弹性定位销与所述斜槽和所述深槽的配合实现固定连接， 用于为样品提供温度保证；所述传送杆和所述载物台固定连接，用于将所述载物台从一空间初始位置水平传送到另一空间位置上进行加工和测量工艺。
2.根据权利要求1所述的可升降加热器，其特征在于，所述加热器和所述丝杠的顶部是通过滚动轴承或滑动轴承固定连接。
3.根据权利要求1所述的可升降加热器，其特征在于，所述丝杠用于通过自身旋转实现所述加热器的升降，且具有粗调和精调的功能。
4.根据权利要求1所述的可升降加热器，其特征在于，所述载物台是实心圆盘型或者空心圆盘型。
5.根据权利要求1所述的可升降加热器，其特征在于，所述传送杆前部设置有凹槽结构。
6.根据权利要求5所述的可升降加热器，其特征在于，所述传送杆和所述载物台运动时，是通过所述侧面定位销和所述凹槽机构的配合来实现固定连接，所述传送杆单独运动时，所述侧面定位销和所述凹槽机构是分离的。
专利摘要本实用新型公开了一种可升降加热器，包括传送杆，载物台，加热器和丝杠，加热器和丝杠的顶部固定连接，加热器的顶部设置有斜槽和深槽，载物台用于承载样品，载物台的底部设置有弹性定位销，侧面设置有一对侧面定位销，加热器与载物台是通过弹性定位销与斜槽和深槽的配合实现固定连接，用于为样品提供温度保证，传送杆和载物台固定连接，用于将载物台从一空间初始位置水平传送到另一空间位置上进行加工和测量工艺，加热器和丝杠的顶部是通过滚动轴承或滑动轴承固定连接，丝杠用于通过自身旋转实现加热器的升降，且具有粗调和精调的功能，传送杆前部设置有凹槽结构。本实用新型能够完成半导体加工工艺和测量工艺的操作。
文档编号H01L21/67GK202888142SQ20122059072
公开日2013年4月17日 申请日期2012年11月10日 优先权日2012年11月10日
发明者陈蓉, 何文杰, 曹坤, 周涛, 邓章, 单斌 申请人:华中科技大学