基板处理装置、基板处理系统及基板处理装置的控制方法

基板处理装置、基板处理系统及基板处理装置的控制方法
【专利摘要】能够恰当执行伴随基板处理的管理的基板处理装置、基板处理系统及基板处理装置的控制方法。设置能够选取对基板能够执行各自承担的承担处理的运转状态和比运转状态能量消耗量少的待机状态的多个功能部（200、300、400、500），还设有装置控制部（50），其在运转状态和待机状态之间控制各功能部的状态，在执行规定有对基板的处理步骤的配方时，使承担按照配方的承担处理的功能部取运转状态来执行承担处理。若接收到以后预定执行的预定配方即预定执行配方，则装置控制部从多个功能部确定能够承担按照预定执行配方的承担处理的功能部，求出使确定的功能部恢复为运转状态所需的资源消耗量。
【专利说明】基板处理装置、基板处理系统及基板处理装置的控制方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及利用对基板执行各自承担的承担处理的多个功能部来对基板执行处理的技术，特别是涉及在能够执行承担处理的运转状态(工作状态)和比运转状态能量的消耗量少的待机状态之间控制功能部的状态的技术。
【背景技术】
[0002]在日本特开2007-242864号公报上，记载了具备进行基板的处理的处理室和调整处理室内部状态的多个单元的基板处理装置。另外，这些单元能够取能够对基板执行处理的通常模式和比通常模式抑制能量消耗的节能模式。因此，在不对基板进行处理的期间将单元恰当地设定为节能模式，另一方面在对基板进行处理时使单元恢复为通常模式，从而能够抑制能量的不必要消耗。另外，在该基板处理装置中，在数据库中预先存储有用于使各单元从节能模式向通常模式恢复所需的恢复时间。而且，预计存储于数据库的恢复时间而开始各单元的恢复。由此，能够优化调整处理室内部状态的时机。
[0003]这样，基板处理装置在运转状态(通常模式)和待机状态(节能模式)之间控制对基板执行处理的功能部，在这种基板处理装置中，确切地知道使功能部恢复到运转状态所需的时间等的资源消耗量，对于恰当地进行伴随基板处理的管理非常重要。但是，一般来说，基板处理装置中，各功能部按照规定的配方(recipe)执行处理步骤从而执行基板处理。因此，因将要执行的配方的内容不同而导致功能部的使用状态不同，为了恢复而消耗的资源量也不同。另一方面，在专利文献I的控制中，不能说能够充分确切地根据预定执行的配方的内容而求出恢复所需的资源量。

【发明内容】

[0004]本发明鉴于上述课题而做出，其目的在于，在使用能够取运转状态和待机状态的多个功能部来执行基板处理的基板处理技术中，根据预定执行的配方的内容来确切地求出用于使功能部恢复为运转状态所消耗的资源量，从而能够恰当地伴随基板处理来进行管理。
[0005]本发明的基板处理装置，为了实现上述目的，其特征在于，具备:多个功能部，能够选择性地选取对基板能够执行各自承担的承担处理的运转状态和比运转状态的能量的消耗量少的待机状态；控制部，在运转状态和待机状态之间控制各功能部的状态，并且在执行规定有对基板进行处理的步骤的配方时，使承担与配方对应的承担处理的功能部选取运转状态来执行承担处理；资源消耗量获取部，若接收到预定执行配方，则执行确定动作并且求出资源消耗量，预定执行配方是指以后要执行的预定的配方，在确定动作中，从多个功能部中确定出能够承担与预定执行配方对应的承担处理的功能部，来作为确定功能部，并且，资源消耗量获取部求出使在确定动作中确定的确定功能部恢复为运转状态所需的资源的消耗量。
[0006]另外，本发明的基板处理系统，具备多个基板处理装置，其特征在于，具备信息获取装置，该信息获取装置求出用于多个基板处理装置的控制的参数；基板处理装置分别具有:多个功能部，能够选择性地选取对基板能够执行各自承担的承担处理的运转状态和比运转状态的能量的消耗量少的待机状态；控制部，在运转状态和待机状态之间控制各功能部的状态，并且在执行规定有对基板进行处理的步骤的配方时，使承担与配方对应的承担处理的功能部选取运转状态来执行承担处理；信息获取装置，针对每个基板处理装置，执行确定动作；在确定动作中，从多个功能部中确定出能够承担与预定执行配方对应的承担处理的功能部，来作为确定功能部；预定执行配方是指以后要执行的预定的配方；信息获取装置，针对每个基板处理装置，求出使在确定动作中确定的确定功能部恢复为运转状态所需的资源的消耗量。
[0007]另外，本发明提供一种基板处理装置的控制方法，该基板处理装置具有多个功能部，多个功能部能够选择性地取对基板能够执行各自承担的承担处理的运转状态和比运转状态能量的消耗量少的待机状态；该基板处理装置能够在运转状态和待机状态之间选择各功能部的状态，该控制方法的特征在于，包括如下工序:读取规定有对基板进行的处理的步骤的配方；若接收到预定执行配方则执行确定动作，预定执行配方是指以后预定执行的配方，在确定动作中，从多个功能部中确定出能够承担与预定执行配方对应的承担处理的功能部；求出使在确定动作中确定出的确定功能部恢复为运转状态所需的资源的消耗量。
[0008]在如以上构成的发明(基板处理装置、基板处理系统以及基板处理装置的控制方法)的基板处理装置中，设置有多个能够对基板执行各自承担的承担处理的多个功能部。这些功能部能够选择性地取能够执行承担处理的运转状态和比运转状态能量的消耗量少的待机状态。而且，承担与配方对应的承担处理的功能部在运转状态下执行承担处理，从而对基板执行配方中规定的处理步骤。特别是，在这些发明中，若接收到预定执行配方则执行确定动作，预定执行配方是指以后预定执行的配方，在确定动作中，从多个功能部中确定出能够承担与预定执行配方对应的承担处理的功能部。而且，求出使在确定动作中确定的确定功能部恢复为运转状态所需的资源的消耗量。这样，能够根据配方的内容来确切地求出使能够执行承担处理的功能部恢复为运转状态消耗的资源的量，从而能够恰当地执行伴随基板处理的管理。此外，本发明的“资源”是包含时间、电力(电能)等的能量以及药液和空气等物质这样的全部资源的概念。
[0009]这里，在本发明的基板处理装置中，构成分别设置有能够执行相同的承担处理的功能部的多个处理单元，资源消耗量获取部按每个处理单元求出通过确定动作确定出的确定功能部的资源的消耗量，控制部基于资源消耗量获取部按每个处理单元求出的确定功能部的资源的消耗量，从多个处理单元中决定为了执行预定执行配方而使用的处理单元。在这样设置有多个对基板能够执行相同的处理的处理单元的情况下，需要决定使哪个处理单元执行该处理。此时，以能够执行与预定执行配方对应的承担处理的确定功能部的资源的消耗量为判断基准，能够根据开始执行预定执行配方所需的资源的消耗量的管理的观点，来决定出恰当的处理单元。此时，资源消耗量获取部基于确定功能部的资源的消耗量，针对每个处理单元，求出使处理单元变为能够用于执行预定执行配方为止所需的资源的消耗量作为单元消耗量，控制部能够基于单元消耗量来决定用于执行预定执行配方的处理单元。这样，针对每个处理单元求出能够使用处理单元为止所需的资源的消耗量作为单元消耗量，从而能够容易地判断从资源的消耗量的管理的观点来看哪个处理单元恰当。[0010]在本基板处理装置中，以时间作为资源的情况下，资源消耗量获取部基于将用于使确定功能部恢复为运转状态所需的时间即功能部恢复时间作为确定功能部的资源的消耗量来求出的结果，针对每个处理单元，求出使处理单元能够用于执行预定执行配方为止所需的时间即单元恢复时间，来作为单元消耗量。这样，针对每个处理单元，求出能够使用处理单元为止所需的时间来作为单元恢复时间，能够容易地判断从时间管理的观点来看哪个处理单元恰当。特别是，根据能够执行与预定执行配方对应的承担处理的确定功能部恢复为运转状态所需的时间来求出单元恢复时间，所以能够根据预定执行配方的内容确切地求出单元恢复时间。其结果，能够恰当地执行伴随基板处理的时间管理。
[0011]此时，在针对各处理单元存在多个确定功能部的情况下，资源消耗量获取部能够针对每个处理单元求出处理单元的多个确定功能部的功能部恢复时间中最长的功能部恢复时间，来作为单元恢复时间。这样求出的单元恢复时间，是使包含于处理单元中的全部确定功能部恢复为运转状态所需的时间，换言之，是作为功能部的集合体的处理单元成为能够执行预定执行配方的状态为止所需的时间。由此，能够确切地把握单元恢复时间。另外，控制部能够决定为使单元恢复时间最短的处理单元用于执行预定执行配方。由此，能够有效地抑制为了开始执行预定执行配方而使处理单元恢复所需的时间。
[0012]另一方面，将电力(电能)作为资源的情况下，资源消耗量获取部基于将用于使确定功能部恢复为运转状态所需的电能即功能部恢复电能作为确定功能部的资源的消耗量求出的结果，针对每个处理单元，求出处理单元变为能够用于执行预定执行配方为止所需的电能即单元恢复电能，来作为单元消耗量。这样，通过求出能够使用处理单元为止所需的电能来作为单元恢复电能，能够容易地判断从电能管理的观点来看哪个处理单元恰当。特别是，根据能够承担与预定执行配方对应的承担处理的确定功能部恢复为运转状态所需的电能求出单元恢复电能，所以能够根据预定执行配方的内容确切地求出单元恢复电能。其结果，能够恰当地执行伴随基板处理的电能管理。
[0013]此时，在针对各处理单元存在多个确定功能部的情况下，资源消耗量获取部能够针对每个处理单元，求出累计处理单元的多个确定功能部的功能部恢复电能的值，来作为单元恢复电能。这样求出的单元恢复电能是使包含于处理单元中的全部确定功能部恢复为运转状态所消耗的电能的总和，换言之，是作为功能部的集合体的处理单元成为能够执行预定执行配方的状态为止消耗的电能。由此，能够恰当地把握单元恢复电能。另外，控制部能够决定为使单元恢复电能最小的处理单元用于执行预定执行配方。由此，能够有效地抑制为了开始执行预定执行配方而使处理单元恢复所需的电能。
[0014]另外，在本基板处理装置中，资源消耗量获取部也可以从多个功能部中确定出多个能够承担按照预定执行配方的承担处理的功能部，并且针对多个确定功能部中的每一个，求出用于使被确定的多个确定功能部恢复为运转状态所需的时间即功能部恢复时间，且基于针对多个确定功能部的每一个求出的功能部恢复时间，来决定使基板处理装置变为能够用于执行预定执行配方为止所需的时间即装置恢复时间，控制部基于装置恢复时间来决定多个确定功能部向运转状态的恢复动作的时间表，并且按照时间表使多个确定功能部恢复为运转状态。这样，计算出使基板处理装置变为能够用于执行预定执行配方为止所需的装置恢复时间，基于该装置恢复时间来设定各确定功能部的恢复动作的时间表，从而能够可靠地使各确定功能部在经过装置恢复时间之前恢复为运转状态。[0015]此时，资源消耗量获取部也可以求出按照时间表使多个确定功能部恢复为运转状态所需的电能。根据所述的结构，不仅考虑为了执行预定执行配方而使确定功能部恢复时所需时间，还考虑恢复所需的电能，来进行伴随基板处理的管理。因此，不仅能够缩短执行预定执行配方为止的时间，也能够减少实现恢复为止消耗的电能。
[0016]另外，控制部也能够基于对确定功能部求出的资源的消耗量，调整执行预定执行配方的时机。在这样的结构中，以能够执行与预定执行配方对应的承担处理的确定功能部的资源的消耗量为判断基准，调整执行预定执行配方的时机。因此，能够在与开始执行预定执行配方所需的资源的消耗量对应的恰当的时机，执行预定执行配方。另外，优选控制部根据预定执行配方的执行时机，控制使在预定执行配方中使用的确定功能部恢复的时机。这样，通过基于执行时机来控制使确定功能部恢复的时机，能够在与执行时机对应的时机使确定功能部恢复结束，从而能够缩短在从确定功能部恢复结束至开始执行预定执行配方为止的期间，即，能够缩短能量消耗量多的运转状态下的待机期间。
[0017]另外，在能够执行多个预定执行配方的基板处理装置中，控制部也能够基于由资源消耗量获取部求出的与预定执行配方对应的确定功能部的资源的消耗量，从多个预定执行配方中决定接下来要执行的预定执行配方。在这样的结构中，能够执行与预定执行配方对应的承担处理的确定功能部的资源的消耗量为判断基准，决定接下来要执行的预定执行配方。因此，能够根据其开始执行所需的资源的消耗量的管理的观点，来恰当地决定接下来要执行的预定执行配方。
[0018]另外，也可以基于由资源消耗量获取部求出的使确定功能部恢复为运转状态所需的资源的消耗量、为了使该确定功能部恢复为运转状态而实际消耗的资源的消耗量，之后由资源消耗量获取部调整作为使该确定功能部恢复为运转状态所需的资源的消耗量而求出的值。根据这样的结构，在通过资源消耗量获取部求出的资源的消耗量和实际的资源的消耗量之间有差异的情况下，能够基于这样的差来修正以后求出的值。其结果，在用资源消耗量获取部求出资源的消耗量时，能够反映以前的资源的消耗量的实际值，能够求出根据实际值的消耗量。
[0019]另外，也可以具有按每个各功能部的状态存储有资源的消耗量的数据库，资源消耗量获取部基于数据库来求出用于使确定功能部恢复为运转状态所需的资源的消耗量。这样，通过使用按每个各功能部的状态存储有资源的消耗量的数据库，例如只累计恢复之前的各状态下的资源的消耗量就能够容易地求出功能部恢复为止消耗的资源的消耗量。并且，在各功能部的构成等产生变更的情况下，仅通过适当更新相应的部分的数据就能够确切地求出资源的消耗量。
[0020]另外，优选功能部能够取能量的消耗量相互不同的多个待机状态。通过设置多个待机状态，能够更细致地控制功能部的状态。此时，进一步优选功能部能够从多个待机状态中取根据预定执行配方的内容的待机状态。例如，根据预定执行配方的内容使没有必要成为运转状态的功能部迁移为能量消耗量更少的待机状态，从而提高节能效果。另一方面，根据预定执行配方的内容使需要将要成为运转状态的功能部迁移为接近于运转状态的待机状态，从而不会妨碍预定执行配方的顺利执行，且能够尽量抑制能量消耗量。
[0021]另外，还可以具备显示通过资源消耗量获取部求出的资源的消耗量的显示部。通过设置这样的显示部，例如工作人员参照显示于显示部的资源的消耗量，来恰当地执行伴随基板处理的管理。
[0022]这里，在本发明的基板处理系统中，信息获取装置基于对基板处理装置求出的确定功能部的资源的消耗量，能够求出使基板处理装置变为能够用于执行预定执行配方为止所需的资源的消耗量即装置消耗量来作为参数。在这样的结构中，能够根据预定执行配方求出使基板处理装置变为能够用于执行预定执行配方为止所需的资源的消耗量即装置消耗量，有利于伴随执行预定执行配方来对基板处理装置进行恰当管理。例如，还可以具备控制装置，其基于由信息获取装置获取的装置消耗量，从多个基板处理装置中决定使其执行预定执行配方的基板处理装置。由此，能够将根据开始执行预定执行配方所需的资源的消耗量的管理的观点来看恰当的基板处理装置，决定为用于执行预定执行配方。
[0023]在本基板处理系统中，在将时间作为资源的情况下，信息获取装置能够基于求出使确定功能部恢复为运转状态所需的时间即功能部恢复时间来作为确定功能部的资源的消耗量的结果，针对每个基板处理装置求出使基板处理装置变为能够用于执行预定执行配方为止所需的时间即装置恢复时间，来作为装置消耗量。这样，针对每个基板处理装置，求出能够使用基板处理装置为止所需的时间作为装置恢复时间，能够容易地判断从时间管理的观点来看使用哪个基板处理装置恰当。特别是，根据能够执行与预定执行配方对应的承担处理的确定功能部恢复为运转状态所需的时间求出装置恢复时间，所以能够根据预定执行配方的内容确切地求出装置恢复时间。其结果，能够恰当地执行伴随基板处理的时间管理。
[0024]另一方面，在将电力(电能)作为资源的情况下，信息获取装置基于求出使确定功能部恢复为运转状态所需的电能即功能部恢复电能作为确定功能部的资源的消耗量的结果，针对每个基板处理装置，求出使基板处理装置变为能够用于执行上述预定执行配方为止所需的电能即装置恢复电能，来作为装置消耗量。这样，能够针对每个基板处理装置求出能够使用基板处理装置为止所需的电能作为装置恢复电能，从而能够容易地判断从电能管理的观点来看使用哪个基板处理装置恰当。特别是，根据能够执行与预定执行配方对应的承担处理的确定功能部恢复为运转状态所需的电能求出装置恢复电能，所以能够根据预定执行配方的内容来确切地求出装置恢复电能。其结果，能够恰当地执行伴随基板处理的电能管理。
[0025]另外，也可以具备控制装置，其基于信息获取装置获取的装置消耗量，调整使基板处理装置执行预定执行配方的时机。在这样的结构中，以装置消耗量为判断基准，调整执行预定执行配方的时机。因此，能够在根据开始执行预定执行配方所需的资源的消耗量的恰当的时机，执行预定执行配方。
[0026]另外，也可以在能够执行多个预定执行配方的基板处理系统中设置这样的控制装置，该控制装置基于由信息获取装置获取的与预定执行配方对应的装置消耗量，从多个预定执行配方中决定接下来要执行的预定执行配方。在这样的结构中，以与预定执行配方对应的装置消耗量为判断基准，决定接下来要执行的预定执行配方。因此，能够根据其开始执行所需的资源的消耗量的管理的观点，来决定出恰当的接下来要执行的预定执行配方。
[0027]另外，还可以具备显示信息获取装置所获取的参数的显示装置。通过设置这样的显示装置，例如工作人员参照显示于显示装置的参数，能够恰当地进行伴随基板处理的管理。【专利附图】

【附图说明】
[0028]图1是表示本发明的基板处理系统的一实施方式的图。
[0029]图2A，2B是表示用于图1的基板处理系统的基板处理装置的图。
[0030]图3是表示设置于图2的基板处理装置中的清洗单元、药液供给部以及冲洗液供给部的图。
[0031]图4是表示图2的基板处理装置的电结构的框图。
[0032]图5A，5B是表示配方的内容的一个例子的图。
[0033]图6是表示基于图5的配方的基板处理的流程的流程图。
[0034]图7是表示基板处理装置的各功能部的框图。
[0035]图8A，8B是表示有关资源的消耗量的数据库的一个例子的图。
[0036]图9是表示执行基板处理的基板处理装置的决定处理的图表。
[0037]图10是表不装置恢复时间获取处理的流程图。
[0038]图11A，IlB是表示各功能部的运转状态以及当前状态的图。
[0039]图12是表示装置恢复时间获取处理的具体例的图。
[0040]图13是表示装置恢复电能(电力)获取处理的流程图。
[0041]图14A，14B, 14C，14D是表示功能部的恢复动作的时间表的图。
[0042]图15是表示装置恢复电能获取处理的具体例的图。
[0043]其中，附图标记说明如下:
[0044]I基板处理系统
[0045]11主控制部(控制装置)
[0046]13显示部(显示装置)
[0047]20基板处理装置
[0048]50装置控制部(控制部，资源消耗量获取部，信息获取装置，计算机)
[0049]61 程序
[0050]62数据库
[0051]100清洗单元(处理单元)
[0052]200药液供给部(功能部)
[0053]300冲洗液供给部(功能部)
[0054]400药液处理部(功能部)
[0055]500冲洗处理部(功能部)
[0056]W 基板
【具体实施方式】
[0057][第一实施方式]
[0058]以下，对可适用本发明的具备基板处理装置的基板处理系统的第一实施方式进行说明。图1是表示本发明的基板处理系统的一实施方式的图。该实施方式的基板处理系统I具有主机10和3台基板处理装置20A、20B、20C而构成。主机10具备进行各种控制和处理的主控制部11、用于向主控制部11输入指令的操作部12、基于来自主控制部11的指令来显示各种信息的显示部13。主机10和各个基板处理装置20A、20B、20C经由网络5连接，相互可通信地构成。而且，规定对基板的处理步骤的配方(recipe)从主机10发送到各基板处理装置20A、20B、20C，从而能够使各基板处理装置20A、20B、20C执行配方中规定的处理。此外，该实施方式中，3台基板处理装置20A、20B、20C都具备相同的结构，在以下的说明中不特别区分各装置的情况下仅记载为基板处理装置20。
[0059]图2A、2B是表示用于图1的基板处理系统I的基板处理装置的图，更详细而言，图2A是基板处理装置的俯视图，图2B是基板处理装置的侧视图。该基板处理装置20具备多个用于对半导体晶片(wafer)等的圆盘状的基板W实施利用处理液等的清洗的单张处理式的清洗单元。基板处理装置20具备对基板W实施处理的基板处理部30和与该基板处理部30结合的分度器部40。
[0060]分度器部40具有用于收纳基板W的多个(该实施方式中为4个)的盒41、访问盒41而能够对基板W进行交接的分度器机械手42。即，分度器机械手42能够从盒41中取出处理前的基板W，并且将处理结束的基板W收纳到盒41中。作为盒41，能够使用将多个基板W在封闭的状态下收纳的F0UP( Front Opening Unified Pod:前开口统一标准盒),SMIF(Standard Mechanical Interface:标准机械接口)晶片盒，OC (Open Cassette:开放式晶圆匣)等。
[0061]在各盒41中，在上下方向隔着微小间隔而设置有多个架子(省略图示)以便收纳多张基板W，多张基板W以“批(lot)”这样的单位被收纳。按照规定的配方，成为处理对象的基板W以批为单位被搬运到分度器部40。而且，在基板处理装置20中对于构成批的各基板W实施相同种类的处理。
[0062]分度器机械手42从基板处理装置20的控制部所指定的盒41中取出处理前的基板W而交接到后述的基板搬运机械手31，并且从基板搬运机械手31接受处理结束的基板W而将其收纳到盒41中。处理结束的基板W可以收纳于该基板W在处理前的状态时被收纳的盒41中，也可以收纳于与在处理前的状态时被收纳的盒41不同的盒41中。
[0063]基板处理部30具有:基板搬运机械手31，其俯视时配置于大致中央；多个(该实施方式中为4个)清洗单元100A?100D,其设置为在水平方向包围该基板搬运机械手31 ;处理流体箱32、33，其收纳并供给/排出处理液或处理气体等的处理流体。另外，如图2B所示，在各清洗单元100A?100D的下段分别设置有其它的清洗单元100E?100H，采用上下2段的层叠构造。此外，该实施方式中，全部的清洗单元100A?100H对基板W实施相同种类的处理，在以下的说明中不特别区分各单元的情况下仅记载为清洗单元100。
[0064]基板搬运机械手31具有可从机械手主体进退的基板保持手(省略图示)。而且，对于分度器机械手42以及清洗单元100A?100H中的任意一个分配基板保持手，在该状态下，使基板保持手进退，从而基板搬运机械手31在分度器机械手42以及清洗单元100A?100H之间能够进行基板W的交接。
[0065]接下来，对搭载于基板处理装置20上的清洗单元100、药液供给部200以及冲洗液供给部300的结构进行说明。图3是表示设置于图2的基板处理装置中的清洗单元100、药液供给部200以及冲洗液供给部300的图，图4是表示图2的基板处理装置的电结构的框图。该实施方式中的清洗单元100，从药液供给部200接收氢氟酸等药液的供给，从而能够对基板W的表面实施药液处理，并且，从冲洗液供给部300接收纯净水或DIW(去离子水:deionized water)等的冲洗液的供给,从而实施冲洗处理。
[0066]在该清洗单元100中，在容器102的顶棚部分配设有风扇过滤单元(FFU) 104。该风扇过滤单元104具有风扇104a以及过滤器104b。在该实施方式中，对风扇过滤单元104连接用于供给净化空气的供给配管190，在该供给配管190上插有用于切换是否向容器102导入净化空气的开闭阀192。因此，按照来自整体控制清洗单元100的单元控制部118 (图4)的动作指令来打开开闭阀192，从而能够将对应风扇104a的旋转速度的量的净化空气供给至风扇过滤单元104。另一方面，通过关闭开闭阀192，能够限制对风扇过滤单元104的净化空气的供给。
[0067]在该风扇过滤单元104中，如上述那样被送入的气体通过风扇104a而被送至过滤器104b，在该过滤器104b被清洁后被送入容器102的中央空间。在该实施方式中，风扇104a与风扇调整机构198 (图4)连接，根据来自单元控制部118的动作指令而风扇调整机构198驱动控制风扇104a，从而能够控制从风扇过滤单元104向容器102的中央空间供给的气体的供给量。
[0068]在容器102的中央空间配置有旋转卡盘106。该旋转卡盘106在使基板表面朝向上方的状态下将基板W保持为大致水平姿势而使其旋转。另外，该旋转卡盘106中，旋转支承轴108与包含马达的卡盘旋转机构110 (图4)的旋转轴连结，通过卡盘旋转机构110的驱动，旋转卡盘106能够围绕旋转轴(垂直轴)旋转。这些旋转支承轴108以及卡盘旋转机构110被收纳于圆筒状的外壳114内。另外，在旋转支承轴108的上端部，通过螺丝等的紧固部件而一体地连结有圆盘状的旋转基座116。因此，根据来自单元控制部118的动作指令而使卡盘旋转机构110驱动，从而使得旋转基座116围绕旋转轴旋转。另外，单元控制部118控制卡盘旋转机构110而调整旋转基座116的旋转速度。
[0069]在旋转基座116的周边部附近，树立设置有用于把持基板W的周边部的多个的卡盘销120。为了可靠地保持圆形的基板W，设置3个以上卡盘销120即可，并且沿着旋转基座116的周边部而以等角度间隔配置。各卡盘销120具备:基板支承部，其从下方支承基板W的周边部；基板保持部，其按压被支承于基板支承部上的基板W的外周端面而保持基板W。另外，各卡盘销120构成为，能够在基板保持部按压基板W的外周端面的按压状态和基板保持部从基板W的外周端面分离的释放状态之间切换。
[0070]对旋转基座116交接基板W时，使多个卡盘销120处于释放状态，对基板W进行基板处理时，使多个卡盘销120处于按压状态。通过像这样设为按压状态，多个卡盘销120能够把持基板W的周边部，从而使该基板W从旋转基座116隔开规定间隔，并且保持该基板W为大致水平姿势。由此，基板W在其表面朝向上方、背面朝向下方的状态下被支承。此外，作为基板保持机构，不限于卡盘销120，也可以使用吸附基板背面而保持基板W的真空吸盘。
[0071]在通过旋转卡盘106保持的基板W的上方位置，喷嘴臂122被设置为可在水平面内自由摆动。在该喷嘴臂122的前端部安装有药液供给喷嘴126和冲洗液供给喷嘴128。其中，药液供给喷嘴126与设置于清洗单元100外的处理流体箱32 (图2)的药液供给部200连接。该药液供给部200能够将氢氟酸等的适于基板清洗的药液供给至喷嘴126侦U。更详细而言，药液供给部200构成为具有能够调整从贮存药液的药液供给源向药液供给喷嘴126供给的药液的供给量的流量调整阀201和调整被流量调整阀201调整了流量的药液的温度的温度调整部202。另外，在连结药液供给喷嘴126和药液供给部200的配管134上插入开闭阀130。因此，通过按照来自单元控制部118的动作指令来打开开闭阀130，将被调整了流量以及温度的药液从药液供给部200被压送(压力推进)至药液供给喷嘴126，进而向基板W的表面供给药液。另一方面，通过关闭开闭阀130，限制对基板W的药液的供给。
[0072]另外，冲洗液供给喷嘴128与设置在清洗单元100外的处理流体箱33 (图2)的冲洗液供给部300连接。该冲洗液供给部300能够将纯净水或DIW等的冲洗液供给给喷嘴128侦彳。更详细而言，冲洗液供给部300构成为具有能够调整从贮存冲洗液的冲洗液供给源向冲洗液供给喷嘴128供给的冲洗液的供给量的流量调整阀301和调整通过流量调整阀301调整了流量的冲洗液的温度的温度调整部302。另外，在连结冲洗液供给喷嘴128和冲洗液供给部300的配管136上插入开闭阀132。因此，根据来自单元控制部118的动作指令来打开开闭阀132，将被调整了流量以及温度的冲洗液从冲洗液供给部300压送至冲洗液供给喷嘴128，从而向基板W的表面供给冲洗液。另一方面，通过关闭开闭阀132，限制对基板W的冲洗液的供给。
[0073]此外，药液供给源以及冲洗液供给源双方可以设置在基板处理装置20内，也可以利用设置在设置有图1的基板处理系统I的工厂内的供给源。另外，药液供给部200和冲洗液供给部300的结构不限于上述，例如在调配多种液体而生成药液和冲洗液的情况下，也可以再设置调配多种液体的调配部。
[0074]在安装有药液供给喷嘴126以及冲洗液供给喷嘴128的喷嘴臂122上，连接有马达等的喷嘴臂移动机构138 (图4)，根据来自单元控制部118的动作指令而使喷嘴臂移动机构138工作，从而使喷嘴126、128能够在基板W的表面上方的排出区域和从排出区域向侧方退避的待机位置之间移动。并且，在排出区域，通过喷嘴臂移动机构138，使喷嘴126、128能够在基板表面的中央部上方和周边部上方之间往复移动。
[0075]在外壳114的周围固定安装有承受部件146。在该承受部件146上树立设置有3个圆筒状的分隔部件。而且，通过这些分隔部件和外壳114的组合，来形成3个空间作为排液槽148a?148c。另外，在这些排液槽148a?148c的上方设置有防护板150 (splashguard)，该防护板150包围在由旋转卡盘106以水平姿势保持的基板W的周围，并且该防护板150能够沿着旋转卡盘106的旋转轴而自由升降。该防护板150相对于旋转轴具有大致旋转对称的形状，具备与旋转卡盘106呈同心圆状配置的两个挡板。而且，挡板升降机构152 (图4)根据来自单元控制部118的动作指令而使防护板150阶段性升降，从而能够将从旋转的基板W飞散的药液和冲洗液等区分开来进行排出。
[0076]另外，在排液槽148a上连接有排气管160的一端。该排气管160的另一端与省略图示的排气装置连接。因此，能够经由排气管160对排液槽148a以及处理空间162排气。并且，在该实施方式中，在排气管160上插入有排气调整机构164,排气调整机构164能够根据来自单元控制部118的动作指令而调整来自处理空间162的排气量。这里，作为排气装置，可以使用设置图1的基板处理系统I的工厂的设备，也可以在基板处理装置20中设置真空泵或排气泵等的排气单元。此外，上述的处理空间162是指，在防护板150包围保持在旋转卡盘106上的基板W的周围而形成的空间内的与基板表面接触的空间，在该处理空间162执行药液处理、冲洗处理以及干燥处理。
[0077]如图4所示，在基板处理装置20中设置有控制装置整体的装置控制部50，根据来自该装置控制部50的动作指令而使各电气部件工作，从而执行基板处理。此时，就设置在清洗单元100中的电气部件而言，如果来自装置控制部50的指令先被送到单元控制部118，则单元控制部118向各部位发出动作指令从而使各部位工作。另一方面，来自装置控制部50的动作指令直接被送至设置在药液供给部200或冲洗液供给部300的电气部件。
[0078]接下来，基于所提供的配方，说明如上述那样构成的清洗单元100对基板W执行的基板处理的流程。图5是表示配方的内容的一个例子的图，图6是表示基于图5的配方的基板处理的流程的流程图。在该实施方式中，如图5所示提供规定了对基板W连续执行药液处理、冲洗处理以及干燥处理的配方。该配方中，规定有各处理的动作时间、旋转基座116的转速以及药液和冲洗液的供给流量以及供给温度。
[0079]执行基板处理时，首先，单元控制部118使防护板150下降，而使旋转卡盘106从防护板150的上端部突出。此时，喷嘴臂122退避在防护板150的外侧。然后，在该状态下通过基板搬运机械手31 (图2)将处理前的基板W搬入至容器102 (步骤SI)。与该基板搬入动作同时或者在搬入后，开闭阀192被打开而向风扇过滤单元104送入净化空气，清洁后的空气被送入容器102的中央空间。然后，防护板150上升，以便能够在后续的药液处理或冲洗处理中回收从旋转的基板W飞散的处理液(药液以及冲洗液)。
[0080]接下来，喷嘴臂移动机构138使喷嘴臂122移动，而使药液供给喷嘴126位于基板表面的中央部上方，并且通过卡盘旋转机构110的驱动而使保持于旋转卡盘106的基板W旋转(步骤S2)。此时旋转基座116的转速按照配方被调整为800rpm。而且，在使冲洗液用的开闭阀132保持在打开状态下，打开药液用的开闭阀130 (步骤S3)。其结果，按照配方，流量被调整为1.51/min并且温度被调整为40°C的药液被从药液供给部200压送至药液供给喷嘴126，从而从该喷嘴126向基板表面供给药液。而且，在药液被供给的状态下，喷嘴臂移动机构138使喷嘴臂122移动5秒钟，以使药液供给喷嘴126在基板表面的中央部上方和周边部上方之间往复移动，从而执行药液处理(步骤S4)。
[0081]若药液处理结束，则喷嘴臂移动机构138使喷嘴臂122移动，以使冲洗液供给喷嘴128代替药液供给喷嘴126而位于基板表面的中央部上方，按照配方，将旋转基座116的转速调整为500rpm。而且，关闭药液用的开闭阀130，并且打开冲洗液用的开闭阀132 (步骤
55)。其结果，代替药液，流量被调整为1.01/min并且温度被调整为60°C的冲洗液被从冲洗液供给部300压送至冲洗液供给喷嘴128，从该喷嘴128向基板表面供给冲洗液。而且，在供给冲洗液的状态下，喷嘴臂移动机构138使喷嘴臂122移动10秒钟，以使冲洗液供给喷嘴128在基板表面的中央部上方和周边部上方之间往复移动，从而执行冲洗处理(步骤
56)。
[0082]在上述的药液处理以及冲洗处理时，单元控制部118控制风扇调整机构198而提高风扇104a的旋转速度，来向处理空间162送入比较大容量的净化空气。另外，通过排气调整机构164，从处理空间162进行比较大容量的排气。因此，通过从上方供给大容量的净化空气，能够防止在药液处理以及冲洗处理中产生的处理液的水雾向上方飞散而附着于装置各部。另外，能够将包含处理液的水雾的环境气高效地从处理空间162排出。
[0083]若冲洗处理结束，则关闭冲洗液用的开闭阀132而停止对基板表面供给冲洗液(步骤S7)。之后，喷嘴臂移动机构138使喷嘴臂122移动，以使药液供给喷嘴126以及冲洗液供给喷嘴128从基板W的表面上方退避至侧方的待机位置(步骤S8)。然后，按照配方，将旋转基座116的转速调整为1500rpm，使基板W高速旋转10秒钟而执行干燥处理后，停止基板W的旋转(步骤S9)。
[0084]这样，结束对于I张基板W的一系列的基板处理，通过基板搬运机械手31，从容器102搬出处理完的基板W (步骤S10)。然后，对于下一个基板W也执行与上述相同的处理。
[0085]以上，对按照图5所示的配方在基板处理装置20中执行的基板处理进行了说明，但在如图1那样在基板处理系统I中设置多个基板处理装置20A、20B、20C的情况下，需要决定使基板处理装置20A、20B、20C中的哪一个装置执行配方(按照配方执行处理)。因此，以下，对通过主机10来决定使基板处理装置20A、20B、20C中的哪个装置执行所提供的配方的决定处理进行说明。
[0086]这里，基板处理装置20按照每个被称为“功能部”的单位来对基板W执行规定的承担处理，各功能部选择性地取(选择)能够执行承担处理的运转状态和比运转状态能量的消耗量少的待机状态。而且，求出各功能部从待机状态恢复到运转状态为止所需的资源的消耗量，基于该资源的消耗量来用主机10进行上述决定处理。此外，这里所指的“资源”是包含时间、电力等的能量以及药液、空气等的物质这样的全部的资源的概念。
[0087]图7是表示基板处理装置的各功能部的框图。该实施方式中，药液处理部400、冲洗处理部500、药液供给部200以及冲洗液供给部300分别相当于功能部。其中药液处理部400以及冲洗处理部500是包含于清洗单元100中的功能部。换言之，清洗单元100具备药液处理部400以及冲洗处理部500而构成。此外，图2所示的基板处理装置20中搭载有8个清洗单元100，但为了简单说明，在以后的说明中基板处理装置20只搭载有两个清洗单元 100A、IOOB0
[0088]这里，药液处理部400是指，在清洗单元100所具有的多个部件中，将对基板W执行药液处理时基于来自单元控制部118的动作指令进行工作并且配合执行药液处理的电气部件，换言之，将这些电气部件作囊括为一个部件即药液处理部400。在如上述那样进行药液处理时，通过卡盘旋转机构110 —边控制旋转基座116的转速一边使基板W旋转，并且，打开药液用的开闭阀130而一边从药液供给喷嘴126向基板表面排出药液，一边控制喷嘴臂移动机构138而使药液供给喷嘴126在基板表面的上方移动。因此，可认为药液处理部400由在药液处理期间从单元控制部118接收动作指令的卡盘旋转机构110、药液用的开闭阀130以及喷嘴臂移动机构138构成。同样地，冲洗处理部500由卡盘旋转机构110、冲洗液用的开闭阀132以及喷嘴臂移动机构138构成。并且，药液供给部200由流量调整阀201以及温度调整部202构成，冲洗液供给部300由流量调整阀301以及温度调整部302构成。
[0089]另外，在基板处理装置20中设置有存储部60，在该存储部60存储有关于基板处理的执行的程序61、关于资源的消耗量的数据库62。而且，装置控制部50恰当地访问存储部60而读出程序61或数据库62，从而执行规定的处理或动作。此外，程序61以存储于CD(Compact Disc:光盘),DVD (Digital Versatile Disc:数字多功能光盘)，USB (UniversalSerial Bus:通用串行总线)存储器等的各种介质的状态提供，或者从服务器下载，而被储存于存储部60。而且，装置控制部50按照程序61来执行以后说明的动作。
[0090]图8A、8B是表示关于资源的消耗量的数据库的一个例子的图，更详细而言，图8A是表示清洗单元100AU00B的药液处理部400以及冲洗处理部500的资源的消耗量的图，图SB是表示药液供给部200以及冲洗液供给部300的资源的消耗量的图。这里，“迁移时间(一)”表示迁移至图中一个右侧的状态所需的时间，“迁移时间(一)”表示迁移至图中一个左侧的状态所需的时间。另外，“保持电力”表示使各状态保持单位时间所需的电能。即，在数据库62中，存储有用于求出功能部恢复时间和功能部恢复电能所需的数据，该功能部恢复时间是指各功能部恢复为运转状态所需的时间，该功能部恢复电能是指各功能部恢复为运转状态所需的电能。
[0091]这里，对于药液处理部400以及冲洗处理部500，电气部件的活性度为100%且能够执行承担处理的运转状态直接相当于本发明的“运转状态”，比运转状态能量的消耗量少的待机状态A?C以及停止状态相当于本发明的“待机状态”。另一方面，对于药液供给部200以及冲洗液供给部300，根据药液或者冲洗液的温度为几摄氏度(°C)来规定状态A?D，哪个状态相当于本发明的“运转状态”以及“待机状态”因配方而改变。例如，执行图5的配方的情况下，药液供给部200的药液的温度为40°C的状态C相当于本发明的“运转状态”，冲洗液供给部300的冲洗液的温度为60°C的状态A相当于本发明的“运转状态”。而且，针对药液供给部200，比状态C能量的消耗量少的状态D以及停止状态相当于本发明的“待机状态”;针对冲洗液供给部300，比状态A能量的消耗量少的状态B?D以及停止状态相当于本发明的“待机状态”。
[0092]在图8A、8B中未特别图示，但数据库62中还存储有各功能部的当前状态，装置控制部50访问数据库62从而能够获取各功能部的当前状态。即，装置控制部50能够使用存储于数据库62中的各功能部的当前状态和迁移时间(一)来求出上述功能部恢复时间，之后详细进行说明。同样地，装置控制部50能够使用存储于数据库62中的各功能部的当前状态和保持电力来求出上述功能部恢复电能。
[0093]接下来，对基于功能部恢复时间来进行上述决定处理的情况下的流程进行说明。图9是表示执行基板处理的基板处理装置的决定处理的图表。首先，若经由操作部12 (图O的操作等来决定接下来执行的预定配方即预定执行配方，则主机10将该预定执行配方分别发送给基板处理装置20A、20B、20C (步骤S100)。若从主机10接收预定执行配方，则基板处理装置20A、20B、20C各自的装置控制部50执行用于求出装置恢复时间的装置恢复时间获取处理(步骤S200)，该装置恢复时间是各基板处理装置20A、20B、20C成为能够执行预定执行配方为止所需的时间。后面详细说明该装置恢复时间获取处理。
[0094]求出装置恢复时间的各基板处理装置20A、20B、20C，将该装置恢复时间输出至主机10 (步骤S300)。若从各基板处理装置20A、20B、20C接收到装置恢复时间，则主机10的主控制部11做出决定，从基板处理装置20A、20B、20C使装置恢复时间最短的装置执行预定执行配方，向该装置发出执行命令。这里，设为基板处理装置20A的装置恢复时间最短，向基板处理装置20A发出执行命令(步骤S400)。其结果，按照预定执行配方而成为处理对象的基板W以批为单位被搬运到基板处理装置20A的分度器部40，开始基板处理的执行(步骤S500)。另一方面，没有收到执行命令的基板处理装置20B、20C的各功能部保持待机状态(步骤 S600)。
[0095]这里，在主机10的显示部13上，显示步骤S300中输出到主机10的装置恢复时间以及表示在步骤S400中执行预定执行配方的装置决定为基板处理装置20A的信息。因此，例如工作人员参照显示于显示部13的信息，能够恰当地进行伴随基板处理的管理。
[0096]接下来，对提供图5A、5B的配方作为预定执行配方的情况下执行的装置恢复时间获取处理进行说明。装置恢复时间获取处理的内容被记述在程序61中，基板处理装置20的装置控制部50读取程序61从而执行装置恢复时间获取处理。图10是表示装置恢复时间获取处理的流程图，图1lAUlB是表示各功能部的运转状态以及当前状态的图，图12是表示装置恢复时间获取处理的具体例的图。此外，图1lAUlB中以粗线框包围的状态表示能够按照图5A、5B的配方来执行承担处理的运转状态，被点线框包围的状态表示当前状态。
[0097]若从主机10接收预定执行配方，则基板处理装置20的装置控制部50读取预定执行配方的内容，确定出能够承担按照其预定执行配方的承担处理的功能部(步骤S201、S202)。图5A、5B所示的配方中，规定了执行药液处理以及冲洗处理，所以将药液处理部400、冲洗处理部500、药液供给部200以及冲洗液供给部300全部确定为能够承担起承担处理的功能部。以下，将这样确定的功能部称为“确定功能部”。
[0098]接下来，装置控制部50访问数据库62，根据各确定功能部的当前状态、“迁移时间(—)”所示的时间、由配方内容规定的运转状态(药液供给部200的状态C为本配方的运转状态，冲洗液供给部300的状态A为本方法的运转状态)，通过计算来求出并预测功能部恢复时间(步骤S203)。如图1lAUlB以及图12所示，例如，对从待机状态B迁移至待机状态A所需的迁移时间30秒和从待机状态A迁移至运转状态所需的迁移时间20秒进行累计，从而求出结果为50秒，将其作为使清洗单元100A的药液处理部400从当前状态的待机状态B恢复至运转状态的功能部恢复时间。其它的确定功能部也相同，如图12所示求出功能部恢复时间。
[0099]若求出各确定功能部的功能部恢复时间，则对于各清洗单元100A、100B，将各单元所包含的确定功能部的功能部恢复时间中最长的功能部恢复时间作为单元恢复时间(步骤S204)。如图12所示，例如对于清洗单元100A，将药液处理部400的功能部恢复时间50秒和冲洗处理部500的功能部恢复时间I分40秒进行比较，将最长的I分40秒作为单元恢复时间。同样地，求出清洗单元100B的单元恢复时间为I分钟。这样求出的单元恢复时间，表示各清洗单元100AU00B所包含的全部确定功能部成为运转状态为止的所需时间，即各清洗单元100AU00B成为能够执行所提供的预定执行配方为止所需的恢复时间。
[0100]在一个基板处理装置20有多个可实施相同种类的承担处理的清洗单元100的情况下，需要从该多个清洗单元100中决定将哪个单元用于执行基板处理。因此，若求出各清洗单元100A、100B的单元恢复时间，则基于各清洗单元100A、100B的单元恢复时间来决定预定使用单元(步骤S205)，该预定使用单元被预定用于基板处理。例如，该实施方式中，将具有最短的单元恢复时间的清洗单元100B决定为预定使用单元。这样将单元恢复时间短的单元设为预定使用单元，从而能够实现后述的装置恢复时间的缩短。
[0101]最后，将步骤S204中决定为预定使用单元的清洗单元100B的单元恢复时间以及在清洗单元100AU00B中未包含的各确定功能部的功能部恢复时间中的最长的恢复时间，设为装置恢复时间(步骤S206)。S卩，如图12所示，对清洗单元100B的单元恢复时间I分钟、药液供给部200的功能部恢复时间50分钟、冲洗液供给部300的功能部恢复时间I小时进行比较，最长的I小时成为装置恢复时间。这样求出的装置恢复时间意味着基板处理装置20所包含的预定使用单元以及清洗单元100AU00B未包含的确定功能部全部成为运转状态为止所需的时间，即基板处理装置20变为能够执行所提供的预定执行配方为止所需的恢复时间。[0102]然后，这样求出的基板处理装置20A、20B、20C各自的装置恢复时间被输出至主机10，主机10的主控制部11基于各装置恢复时间，决定使哪个装置执行预定执行配方。
[0103]如以上说明，该实施方式中，在基板处理装置20中设置有能够对基板W执行各自承担的承担处理的多个功能部(药液供给部200、冲洗液供给部300、药液处理部400、冲洗处理部500)。这些功能部200、300、400、500能够执行相互不同的承担处理，并且，各自能够选择性地取能够执行承担处理的运转状态和比运转状态能量的消耗量少的待机状态。而且，在这些功能部200、300、400、500中，承担按照配方的承担处理的功能部在运转状态下执行承担处理，从而对基板W执行由配方规定的处理步骤。特别是，在该实施方式中执行确定动作(步骤S202)，在该确定动作中，从多个功能部200、300、400、500确定出特定的功能部(确定功能部)，该特定的功能部若接收到之后要执行的预定配方即预定执行配方，则能够按照该预定执行配方执行承担处理。然后，预测出使确定动作中确定的确定功能部恢复为运转状态所需的时间(功能部恢复时间)(步骤S203)。这样，能够根据配方的内容确切地求出使能够执行承担处理的功能部200、300、400、500恢复为运转状态所需的时间(资源)，从而能够恰当地执行伴随基板处理的管理。
[0104]另外，在该实施方式的基板处理系统I中，基于针对各基板处理装置20A、20B、20C求出的确定功能部200、300、400、500的功能部恢复时间，来求出各基板处理装置20A、20B、20C的装置恢复时间。根据这样的结构，能够根据预定执行配方来求出装置恢复时间，有利于伴随预定执行配方的执行来恰当地管理基板处理装置20A、20B、20C。并且，基于这样获取的装置恢复时间，来从多个基板处理装置20A、20B、20C中决定用于执行预定执行配方的基板处理装置20。由此，能够将从开始执行预定执行配方所需的时间的管理的观点来看恰当的基板处理装置20，决定为用于预定执行配方的执行。
[0105]特别是，根据能够执行与预定执行配方对应的承担处理的确定功能部200、300、400,500恢复为运转状态所需的时间来求出装置恢复时间，所以能够根据预定执行配方的内容来确切地求出装置恢复时间。其结果，能够恰当地执行伴随基板处理的时间管理。
[0106]然而，在该实施方式的基板处理装置20中，多个清洗单元100AU00B都具备药液处理部400以及冲洗处理部500。换句话说，能够执行相同的承担处理(药液处理，冲洗处理)的功能部400、500分别设置于多个清洗单元100A、100B。因此，有时设置于清洗单元100AU00B的各个的功能部400、500在步骤S202中都被确定为确定功能部。在这样的情况下，需要决定使清洗单元100AU00B中的哪一个执行该处理。因此，在该实施方式中，将确定功能部400、500的功能部恢复时间作为判断基准，决定使用清洗单元100AU00B中的哪一个(步骤S204，S205 )。由此，能够根据开始执行预定执行配方所需的时间的管理的观点，来决定出恰当的清洗单元100。特别是,在该实施方式中，按每个清洗单元100A、100B求出能够使用清洗单元100AU00B为止所需时间(单元恢复时间)，从而能够容易地判处出从时间管理的观点来看哪一个清洗单元100恰当。
[0107]并且，根据能够执行与预定执行配方对应的承担处理的确定功能部恢复为运转状态所需时间来求出单元恢复时间，所以能够根据预定执行配方的内容来确切地求出单元恢复时间。其结果，能够恰当地执行伴随基板处理的时间管理。
[0108]然而，上述的清洗单元100AU00B分别具有相互承担不同的处理的多个功能部(药液处理部400、冲洗处理部500)。因此，根据预定执行配方的内容，有时这些功能部400,500双方都被确定为确定功能部。在这样的情况下，在该实施方式中，按每个清洗单元100AU00B求出多个确定功能部400、500的功能部恢复时间中最长的功能部恢复时间，作为单元恢复时间。这样求出的单元恢复时间是使清洗单元100AU00B所包含的确定功能部400、500全部恢复为运转状态所需的时间，换言之，是作为功能部的集合体的清洗单元100A、100B成为能够执行预定执行配方的状态为止所需的时间。因此，能够确切地把握单元恢复时间。并且，在该实施方式的基板处理装置20中，单元恢复时间最短的清洗单元100B被决定为用于预定执行配方的执行(步骤S205)。由此，能够有效地抑制为了开始执行预定执行配方而使清洗单元100恢复(恢复为运转状态)所需的时间。
[0109]另外，该实施方式中，设置有按每个功能部200、300、400、500的状态存储了资源的消耗量的数据库，基于该数据库求出使确定功能部200、300、400、500恢复为运转状态所需的资源的消耗量(例如恢复所需的时间)。通过使用这样的数据库，例如，累计进行恢复之前的各状态下的资源的消耗量，就能够容易地求出功能部200、300、400、500至恢复为止消耗的资源的量。并且，在各功能部200、300、400、500的构成等上发生变更的情况下，只对相应的部分的数据进行适当更新就能够确切地求出资源的消耗量。
[0110]另外，在该实施方式中，功能部200、300、400、500能够选取能量消耗量互不相同的多个待机状态。通过设置多个待机状态，能够更加细致地控制功能部200、300、400、500的状态。
[0111]另外，该实施方式的数据库存储多种在各功能部的各状态下消耗的资源(迁移时间以及保持电力的两种)。因此，装置控制部50能够同时计算出使各功能部200、300、400、500恢复为运转状态的所需时间和恢复所需的电能。由此，能够更加细致地管理功能部200、300、400、500的状态。另外，能够根据需要来控制优先缩短确定功能部200、300、400、500恢复为运转状态为止的时间，还是优先减少确定功能部恢复为运转状态为止消耗的电能。因此，能够更加恰当地控制确定功能部200、300、400、500的状态。
[0112]这样，在第一实施方式中，基板处理系统I相当于本发明的“基板处理系统”的一个例子，基板处理装置20相当于本发明的“基板处理装置”的一个例子，基板处理装置20的装置控制部50分别相当于本发明的“控制部”，“资源消耗量获取部”、“信息获取装置”以及“计算机”的一个例子，主机10的主控制部11相当于本发明的“控制装置”的一个例子，主机10的显示部13相当于本发明的“显示装置”的一个例子。另外，在第一实施方式中，求出恢复时间来作为资源的量，单元恢复时间相当于本发明的“单元消耗量”的一个例子，装置恢复时间相当于本发明的“装置消耗量”的一个例子。
[0113][第二实施方式]
[0114]对本发明的基板处理系统的第二实施方式进行说明。在第二实施方式中，代替第一实施方式的装置恢复时间获取处理(参照图9)，而进行装置恢复电能获取处理，求出恢复电能来作为资源的消耗量。在装置恢复电能获取处理中，通过与第一实施方式类似的手法来求出装置恢复时间，利用该装置恢复时间来决定各确定功能部的恢复动作的时间表。接下来，求出各单元恢复时消耗的消耗电能，基于该消耗电能来决定预定使用单元。然后，将预定使用单元的消耗电能以及单元以外的确定功能部的消耗电能相加来计算装置恢复电能。第二实施方式中，基于这样求出的装置恢复电能来决定使执行预定执行配方的装置。
[0115]第二实施方式的设备结构与第一实施方式相同，所以共用的功能部使用与第一实施方式相同的附图标记来进行说明。这里，图13是表示装置恢复电能获取处理的流程图，图14A?14D是表示功能部的恢复动作的时间表的图。更详细而言，图14A?14D是沿着时间轴对各确定功能部根据后述的时间表来执行恢复动作时所需的电能进行说明的时序图。图15是表示装置恢复电能获取处理的具体例的图。此外，在第二实施方式中，也与第一实施方式同样地，所提供的预定执行配方是图5A、5B所示的配方，各功能部的当前状态为图1lAUlB的点线框所示的状态。
[0116]基于图13，对装置恢复电能获取处理进行说明。在装置恢复电能获取处理中，首先以与第一实施方式类似的手法来决定装置恢复时间。若从主机10接收到预定执行配方，则基板处理装置20的装置控制部50读取预定执行配方的内容，确定出能够按照该预定执行配方执行承担处理的功能部(步骤S301、S302)。在图5A、5B所示的配方中，规定有执行药液处理以及冲洗处理，所以药液处理部400、冲洗处理部500、药液供给部200以及冲洗液供给部300全部被确定为确定功能部(特定功能部)。
[0117]接下来，装置控制部50访问数据库62，根据各确定功能部的当前状态、“迁移时间(一)”所示的时间、由配方内容规定的运转状态(药液供给部200的状态C为本配方中的运转状态，冲洗液供给部300的状态A为本配方中的运转状态)通过计算来求出并预测功能部恢复时间(步骤S303)。若求出了各确定功能部的功能部恢复时间，则对于各清洗单元100AU00B，将各单元所包含的确定功能部(药液处理部400以及冲洗处理部500)的功能部恢复时间中最长的功能部恢复时间作为单元恢复时间(步骤S304)。由此，可知使清洗单元100AU00B从当前状态恢复为运转状态所需时间(单元恢复时间)分别为I分40秒和I分钟(参照图12)。另一方面，可知使药液供给部200以及冲洗液供给部300从当前状态恢复为运转状态所需时间(清洗单元以外的功能部恢复时间)分别为50分钟和I小时(参照图12)。接着，在单元恢复时间以及除了清洗单元以外的功能部恢复时间中，将最长的恢复时间决定为装置恢复时间(步骤S305)。这里，冲洗液供给部300的功能部恢复时间(I小时)最长，所以将此决定为装置恢复时间。
[0118]接下来，决定使各确定功能部在装置恢复时间内恢复的时间表(步骤S306)。图14A是使清洗单元100A的药液处理部400恢复为运转状态的时间表。根据在步骤S305中求出的装置恢复时间，推测出本装置的恢复结束时刻为I小时后，即，推测出预定执行配方在该恢复结束的时刻执行。因此，期望各确定功能部在I小时后恢复为运转状态。如图11A、IlB所示，清洗单元100A的药液处理部400的当前状态为待机状态B。从待机状态B恢复为运转状态所需时间是累计从待机状态B迁移至待机状态A所需时间(30秒)和从待机状态A迁移至运转状态所需时间(20秒)而成的50秒。因此，清洗单元100A的药液处理部400的恢复动作从现在开始经过59分10秒后开始即可。因此，对于清洗单元100A的药液处理部400，决定这样的时间表:将当前的待机状态B持续59分10秒钟，之后依次执行从待机状态B向待机状态A的迁移动作和从待机状态A向运转状态的迁移动作。
[0119]图14B是使清洗单元100A的冲洗处理部500恢复为运转状态的时间表。如图11A、IlB所示，清洗单元100A的冲洗处理部500的当前状态为待机状态C。从待机状态C恢复为运转状态所需时间是累计从待机状态C迁移到待机状态B所需时间(40秒)、从待机状态B迁移到待机状态A所需时间(40秒)、从待机状态A迁移到运转状态所需时间(20秒)而成的I分40秒。因此，从现在开始经过58分20秒后开始清洗单元100A的冲洗处理部500的恢复动作即可。因此，对于清洗单元IOOA的冲洗处理部500，决定这样的时间表:将当前的待机状态C持续58分20秒钟，之后，依次执行从待机状态C向待机状态B的迁移动作、从待机状态B向待机状态A的迁移动作、从待机状态A向运转状态的迁移动作。
[0120]图14C是使清洗单元100B的药液处理部400恢复为运转状态的时间表。如图11A、IlB所示，清洗单元100B的药液处理部400的当前状态为待机状态A。从待机状态A恢复为运转状态所需时间为20秒。因此，清洗单元100B的药液处理部400的恢复动作在从现在开始经过59分40秒后开始即可。因此，对于清洗单元100B的药液处理部400，决定这样的时间表:将当前的待机状态A持续59分40秒钟，之后，执行从待机状态A向运转状态的迁移动作。
[0121]图14D是使清洗单元100B的冲洗处理部500恢复为运转状态的时间表。如图11A、IlB所示，清洗单元100B的冲洗处理部500的当前状态为待机状态B。从待机状态B恢复为运转状态所需时间是累计从待机状态B向待机状态A的迁移所需时间(40秒)和从待机状态A向运转状态迁移所需时间(20秒)而成的I分钟。因此，清洗单元100B的冲洗处理部500的恢复动作在从现在开始经过59分钟后开始即可。因此，对于清洗单元100B的冲洗处理部500，决定这样的时间表:将当前的待机状态B持续59分钟，之后，依次执行从待机状态B向待机状态A的迁移动作和从待机状态A向运转状态的迁移动作。
[0122]根据相同的想法，对于药液供给部200，决定这样的时间表:将当前的停止状态保持10分钟，之后，决定依次执行从停止状态向状态D的迁移动作(需要30分钟)和从状态D向状态C (运转状态)的迁移动作(需要20分钟)。对于冲洗液供给部300，决定这样的时间表:从当前的状态C立即开始向状态B的迁移，接下来执行从状态B向状态A (运转状态)的迁移。
[0123]接下来，装置控制部50访问数据库62，计算出根据在步骤S306中决定的时间表来使各确定功能部恢复为运转状态所需的电能(功能部恢复电能)(步骤S307)。
[0124]如图11A、IIB所示，清洗单元100A的药液处理部400在待机状态B下的保持电力为lkW。根据所决定的时间表，使该药液处理部400的待机状态B持续59分10秒钟。因此，该药液处理部400在持续待机状态B的过程中消耗的电能为0.986kWh(=lkWX59minl0sec)。接下来，清洗单元100A的药液处理部400从待机状态B迁移到待机状态A。该迁移期间的该药液处理部400的电力(迁移时电力)，根据待机状态B下的保持电力(IkW)和待机状态A下的保持电力(1.5kff)的平均值而被视为1.25kW。从待机状态B向待机状态A的迁移期间为30秒钟，所以在该迁移期间消耗的电能为0.0lOkffhC=L 25kWX30sec)。接下来，清洗单元100A的药液处理部400从待机状态A迁移到运转状态。该迁移期间的该药液处理部400的电力(迁移时电力)，根据待机状态A下的保持电力(1.5kW)和运转状态下的保持电力(2kW)平均值而被视为1.75kW。从待机状态A向运转状态的迁移期间为20秒钟，所以在该迁移期间消耗的电能为0.0lOkffh (=1.75kWX20sec)。以上，根据在步骤S306中决定的时间表使清洗单元100A的药液处理部400恢复为运转状态所需电能(功能部恢复电能)为上述各期间中的电能的和 1.006kffh (=0.986kffh+0.010kffh+0.0IOkffh)0
[0125]对清洗单元IOOA的冲洗处理部500执行相同的计算。根据在步骤S306中求出的时间表，该冲洗处理部500在待机状态C待机58分20秒钟，接下来依次执行从待机状态C向待机状态B的迁移，从待机状态B向待机状态A的迁移，从待机状态A向运转状态的迁移。在待机状态C中冲洗处理部500消耗的电能为0.486kWh。另外，在各迁移期间消耗的电能分别为，0.008kffh,0.014kffh,以及0.0lOkWh。以上，根据上述时间表使该冲洗处理部500恢复为运转状态所需的电能(功能部恢复电能)为上述各期间中的电能的和0.518kffh (=0.486kffh+0.008kffh+0.014kffh+0.0lOkWh)。因此，根据上述时间表而使由上述药液处理部400和冲洗处理部500构成的清洗单元100A整体恢复为运转状态所需电能(单元恢复电能)为 1.524kffh (=1.006kffh+0.518kWh)。
[0126]接下来，计算使清洗单元100B的药液处理部400恢复为运转状态所需的电能(功能部恢复电能)。根据上述时间表，该药液处理部400在待机状态A下待机59分40秒钟。在该期间该药液处理部400消耗的电能为1.492kWh。从接下来的待机状态A向运转状态的迁移期间消耗的电能为0.0lOkWh。以上，根据上述时间表使该药液处理部400恢复为运转状态所需的电能(功能部恢复电能)为上述各期间中的电能的和1.502kWh(=1.492kffh+0.0IOkffh)ο
[0127]同样地，计算使清洗单元100B的冲洗处理部500恢复为运转状态所需电能(功能部恢复电能)。根据上述时间表，该冲洗处理部500在待机状态B下待机59分钟。在该期间该冲洗处理部500消耗的电能，根据待机状态B下的保持电力和待机时间的积而为0.983kffh(=IkWX 59min)。另外，在从待机状态B向待机状态A的迁移期间内消耗的电能、从待机状态A向运转状态的迁移期间消耗的电能，根据各迁移期间中的迁移时电力和各期间的长度的积，而分别为 0.014kWh (=1.25kWX40sec)、0.0lOkWh (=1.75kWX20sec)。以上，根据上述时间表，使该冲洗处理部500恢复为运转状态所需电能(功能部恢复电能)为上述各期间中的电能的和1.007kffh(=0.983kffh+0.014kffh+0.0lOkWh)。因此，使由上述药液处理部400和冲洗处理部500构成的清洗单元100B整体恢复为运转状态所需电能(单元恢复电能)为2.509kffh (=1.502kffh+l.007kffh)o
[0128]接下来，计算使药液供给部200恢复为运转状态所需电能。根据步骤S306中求出的时间表，该药液供给部200在停止状态下待机10分钟。该期间的消耗电能为零。从停止状态向待机状态D的迁移期间消耗的电能和从待机状态D向运转状态的待机状态C的迁移期间消耗的电能，根据在各迁移期间中的迁移时电力和各期间的长度的积，分别为0.250kffh(=0.5kWX30min)、0.500kff (=1.5kWX20min)。以上，根据上述时间表，用于使该药液供给部200恢复为运转状态所需电能(功能部恢复电能)为上述各期间中的电能的和0.750kff(=0.250kffh+0.500kffh)o
[0129]同样地，计算用于使冲洗液供给部300恢复为运转状态所需电能。根据步骤S306中求出的时间表，该冲洗液供给部300花30分钟从当前的待机状态C迁移至待机状态B。在该迁移期间，根据迁移时电力和迁移期间的长度的积而消耗2.0OOkffh (=4kWX30min)的电能。接下来，花30分钟从待机状态B迁移到运转状态的待机状态A。在该迁移期间，根据迁移时电力和期间的长度的积而消耗3.750kffh (=7.5kWX30min)的电能。以上，根据上述时间表，用于使冲洗液供给部300恢复为运转状态所需的电能(功能部恢复电能)为上述各期间中的电能的和 5.750kffh (=2.000kffh+3.750kWh)。
[0130]在一个基板处理装置20中具有多个可实施相同种类的承担处理的清洗单元100的情况下，需要决定从该多个清洗单元100中将哪个单元使用于执行基板处理。因此，若求出各清洗单元100A、100B的单元恢复电能，则基于各清洗单元100A，100B的单元恢复电能来决定预定使用于基板处理的预定使用单元(步骤S308)。在该实施方式中，清洗单元IOOA的单元恢复电能为1.524kWh，清洗单元100B的单元恢复电能为2.509kWh，所以将具有最小的单元恢复电能的清洗单元100A决定为预定使用单元(参照图15)。通过这样将单元恢复电能小的单元作为预定使用单元，能够实现后述的装置恢复电能的减少。
[0131]最后，累计在步骤S308中决定为预定使用单元的清洗单元100A的单元恢复电能和未包含在清洗单元100AU00B中的各确定功能部的功能部恢复电能，来作为装置恢复电能(步骤S309)。即，如图15所示,累计清洗单元100A的单元恢复电能1.524kWh、药液供给部200的功能部恢复电能0.750kWh、冲洗液供给部300的功能部恢复电能5.750kWh，得出
8.024kWh成为装置恢复电能。这样求出的装置恢复电能意味着，包含在基板处理装置20中的预定使用单元100A以及未包含在清洗单元100AU00B中的确定功能部全部成为运转状态为止消耗的电能，即，基板处理装置20变为能够用于执行所提供的预定执行配方为止所消耗的恢复电能。
[0132]然后，将这样求出的基板处理装置20A、20B、20C各自的装置恢复电能输出至主机10，主机10的主控制部11基于各装置恢复电能，决定使哪个装置执行预定执行配方。例如，能够决定为使装置恢复电能最小的装置执行预定执行配方。
[0133]如以上说明，在该实施方式中，执行确定动作(步骤S302)，在该确定动作中，若接收到以后要执行的预定配方即预定执行配方，则从多个功能部200、300、400、500中确定出能够按照该预定执行配方执行承担处理的功能部。然后，基于使各确定功能部恢复为运转状态所需的功能部恢复时间来求出装置恢复时间(步骤S303?S305)，按照该装置恢复时间决定使各确定功能部恢复的时间表(步骤S306)。这样，计算出基板处理装置变为能够用于执行预定执行配方为止所需的装置恢复时间，基于该装置恢复时间来设定各确定功能部的恢复动作的时间表，从而能够使各确定功能部在装置恢复时间结束之前可靠地恢复为运转状态。另外，基于该时间表来预测使各确定功能部恢复为运转状态所需的电能(功能部恢复电能)(步骤S307)。这样，根据配方的内容来确切地求出用于使能够执行承担处理的功能部200、300、400、500恢复为运转状态的所需电能(资源)，能够恰当地执行伴随基板处理的管理。即，不仅考虑为了执行预定执行配方而使确定功能部恢复时所需时间，还考虑恢复所需的电能，从而进行伴随基板处理的管理。由此，不仅能够缩短执行预定执行配方为止的时间，还能够减少到恢复为止消耗的电能。
[0134]另外，在该实施方式的基板处理系统I中，基于针对各基板处理装置20A、20B、20C求出的确定功能部200、300、400、500的功能部恢复电能，求出各基板处理装置20A、20B、20C的装置恢复电能。根据这样的结构，能够根据预定执行配方来求出装置恢复电能，有利于随着执行预定执行配方而对基板处理装置20A、20B、20C进行恰当管理。并且，基于这样获取的装置恢复电能，从多个基板处理装置20A、20B、20C中决定使其执行预定执行配方的基板处理装置20。由此，能够决定将根据开始执行预定执行配方所需的电能的管理的观点来看恰当的基板处理装置20用于执行预定执行配方。
[0135]特别是，根据能够执行与预定执行配方对应的承担处理的确定功能部200、300、400,500恢复为运转状态所需的电能求出装置恢复电能，所以能够根据预定执行配方的内容来确切地求出装置恢复电能。其结果，能够恰当地执行伴随基板处理的电能管理。
[0136]另外，在该实施方式中，在多个清洗单元100AU00B中分别设置有能够执行相同的承担处理(药液处理、冲洗处理)的功能部400、500。因此，有时，设置在清洗单元100A、IOOB的各个的功能部400、500在步骤S302中都被确定为确定功能部。在这样的情况下，需要决定使清洗单元100A、100B中的哪个执行该处理。因此，在该实施方式中，将确定功能部400、500的功能部恢复电能做为判断基准，决定使用清洗单元100AU00B中的哪一个(步骤S308)。由此，能够决定根据开始执行预定执行配方所需的电能的管理的观点来看恰当的清洗单元100。特别是，该实施方式中，按每个清洗单元100AU00B求出能够使用清洗单元100A、100B为止所需的电能(单元恢复电能),从而能够容易地判断根据电能管理的观点来看哪个清洗单元100恰当。
[0137]并且，根据能够执行与预定执行配方对应的承担处理的确定功能部恢复为运转状态所需的电能，求出单元恢复电能，所以能够根据预定执行配方的内容来确切地求出单元恢复电能。其结果，能够恰当地执行伴随基板处理的电能管理。
[0138]另外，在本实施方式中，计算能够执行所接收的预定执行配方的装置恢复时间，基于该装置恢复时间来设定各确定功能部的恢复动作的时间表。因此，能够使各确定功能部在装置恢复时间结束之前可靠地恢复为运转状态。并且，在本实施方式中，以如下方式设定恢复时间表，即，使得药液处理部400或冲洗处理部500等的恢复时间比较短的单元，较晚地开始恢复动作。因此，能够减少恢复所需的消耗电能。另外，根据本实施方式，不仅考虑为了执行预定执行配方而使确定功能部恢复时所需的时间，还考虑恢复时所需的电能，从而进行伴随基板处理的管理。因此，不仅能够缩短执行预定执行配方为止的时间，也能够减少到变为恢复为止所消耗的电能。
[0139]此外，在本实施方式中，各确定功能部的恢复动作只进行了从保持电力少的待机状态向保持电力多的待机状态依次迁移的动作。例如，如图14A所示，清洗单元100A的药液处理部400从当前的待机状态B (保持电力IkW)向待机状态A (保持电力1.5kW)迁移，接下来从待机状态向运转状态(保持电力2kW)迁移，这样从保持电力小的状态向保持电力更多的状态依次迁移。然而，在待机状态B中保持电力也比较大，所以在装置恢复时间比较长的情况下，也可以设定这样的时间表:从待机状态B向保持电力更少的待机状态C或停止状态暂时迁移后，使开始恢复动作赶得上装置恢复的时间。这样，功能部能够从多个待机状态中根据预定执行配方的内容来选择待机状态，从而能够更加积极地减少消耗电能。
[0140]然而，上述的清洗单元100A、100B各自具有相互承担不同处理的多个功能部(药液处理部400、冲洗处理部500)。因此，根据预定执行配方的内容，有时这些功能部400、500双方都被确定为确定功能部。在这样的情况下，在该实施方式中，按每个清洗单元100A、100B求出多个确定功能部400、500的功能部恢复电能的累计值，来作为单元恢复电能。这样求出的单元恢复电能是使包含在清洗单元100AU00B中的确定功能部400、500全部恢复为运转状态所需的电能，换言之，是作为功能部的集合体的清洗单元100AU00B成为能够执行预定执行配方的状态为止所需的电能。因此，能够确切地把握单元恢复时间。并且，在该实施方式的基板处理装置20中，单元恢复电能最小的清洗单元100A被决定为用于执行预定执行配方(步骤S308)。由此，能够有效地抑制为了开始执行预定执行配方而使清洗单元100恢复时所需的电能。
[0141]此外，在第二实施方式中，采用了这样的步骤:首先将单元恢复时间以及清洗单元以外的功能部恢复时间中最长的恢复时间作为装置恢复时间(步骤S305)，根据基于该装置恢复时间决定的时间表，来计算各确定功能部的消耗电能(步骤S306 )，基于该消耗电能来决定预定使用单元(步骤S307)。然而，也可以首先基于单元恢复时间来决定预定使用单元，然后，根据该预定使用单元的单元恢复时间以及清洗单元以外的功能部恢复时间来求出装置恢复时间，基于该装置恢复时间来决定时间表。
[0142]另外，在第二实施方式中，参照各待机状态的保持电力的平均值，来计算从某个待机状态向其它待机状态迁移时的消耗电能。然而，也可以实际测量从某个待机状态向其它待机状态迁移时的消耗电能之后，将该消耗电能作为状态迁移时消耗的迁移电能而预先存储于数据库62中。
[0143]这样，在第二实施方式中，求出恢复电能作为资源的量，单元恢复电能相当于本发明的“单元消耗量”的一个例子，装置恢复电能相当于本发明的“装置消耗量”的一个例子。
[0144][其它实施方式]
[0145]本发明不限于上述的实施方式，在不脱离其主旨的情况下能够进行上述以外的各种变更。例如，在上述实施方式中，在确定动作(步骤S202、302)中确定的确定功能部200、300、400、500的资源的消耗量，用作从多个基板处理装置20或多个清洗单元100中选择要使用部件的基准。然而，使用确定功能部进行恢复所需的资源的消耗量的获取结果的用途不限于这些，还能够用于伴随基板处理的各种管理。关于该点，举出具体的变形例进行说明。
[0146]第一变形例
[0147]在该第一变形例中，说明基于在预定执行配方中预定使用的确定功能部的恢复所需的资源的消耗量，来调整使基板处理装置20执行预定执行配方的时机。换句话说，在该第一变形例中，在上述的步骤S500 (图9)中，在执行预定执行配方时，主机10调整预定执行配方的开始时刻。此时的具体的调整方式可以考虑各种的变更。
[0148]例如，在求出装置恢复时间来作为装置消耗量的情况下，能够预测出能够用相应的基板处理装置20执行预定执行配方的时刻在开始恢复后至少经过了装置恢复时间的恢复结束时刻以后。因此，主机10将预定执行配方的预定执行时刻设定为恢复结束时刻以后。
[0149]或者，在存储于主机10中的生产计划等中规定了预定执行配方的预定执行时刻的情况下，主机10也可以按照装置恢复时间来调整该预定执行时刻。换句话说，根据针对基板处理装置20求出的装置恢复时间，能够预测出在预定执行时刻之前基板处理装置20的恢复(恢复成运转状态)结束的情况下，使预定执行时刻提前。另一方面，在能够预测出在预定执行时刻之后基板处理装置20的恢复(恢复成运转状态)结束的情况下，使预定执行时刻延迟。
[0150]在这样的结构中，以装置消耗量(装置恢复时间)为判断基准，调整执行预定执行配方的时机。因此，能够在与开始执行预定执行配方所需的资源(时间)的消耗量对应的恰当的时机，执行预定执行配方。
[0151]并且，主机10也可以根据调整后的预定执行配方的执行时机，控制用于使要在预定执行配方中使用的确定功能部200、300、400、500恢复的时机。此时的具体的控制方式也
可以考虑各种变更。
[0152]例如，在要提前开始执行预定执行配方的情况下，使确定功能部200、300、400、500的恢复(用于恢复成运转状态的过程)的开始时刻提前；在要延迟开始执行预定执行配方的情况下，使确定功能部200、300、400、500的恢复(用于恢复成运转状态的过程)的开始时刻延迟即可。这样，基于执行时机来控制使确定功能部200、300、400、500恢复的时机，从而能够在与执行时机对应的时机使确定功能部200、300、400、500的恢复结束，能够缩短确定功能部200、300、400、500的恢复(过程)结束至开始执行预定执行配方为止的期间，即，缩短在能量消耗量多的运转状态下的待机期间。
[0153]此外，也可以使基板处理装置20的装置控制部50执行上述的时机的控制，也可以使主机10、基板处理装置20之外的装置执行上述的时机的控制。
[0154]第二变形例
[0155]或者，对于特定的基板处理装置20，确立了使执行多个预定执行配方的计划的情况等时，也可以基于预定执行配方中预定使用的确定功能部的恢复所需资源的消耗量的预测结果，来从多个预定执行配方中决定下一个预定执行配方。具体而言，主机10也可以基于与上述实施方式同样地求出的装置消耗量(装置恢复时间、装置恢复电能)，从多个预定执行配方中决定使成为对象的基板处理装置20下一个执行的预定执行配方。此时的具体的选择基准可以考虑各种变更。
[0156]例如，能够进行这样的控制:若其开始所需的资源(时间、电力等)的消耗量比较小(例如最小)，则接下来执行能够根据装置消耗量而预测出的预定执行配方。或者进行这样的控制:在接下来能够开始执行配方的时机因其它事项而已决定的情况下，接下来执行在多个预定执行配方中的特定的预定执行配方，该特定的预定执行配方是指，若在该时机之前能够结束恢复，则能够根据装置恢复时间预测出的预定执行配方。在这样的结构中，将与预定执行配方对应的装置消耗量作为判断基准，决定接下来执行的预定执行配方。因此，能够决定接下来执行根据其开始所需的资源的消耗量的管理的观点来看恰当的预定执行配方。
[0157]此外，也可以使基板处理装置20的装置控制部50执行用于决定上述的预定执行配方的处理，也可以使主机10或基板处理装置20之外的装置执行用于决定上述的预定执行配方的处理。
[0158]其它
[0159]对于上述的实施方式，可以进一步进行如下的变更。例如，也可以在基板处理装置20的装置控制部50中预测的功能部恢复时间和实际上其功能部的恢复所需的恢复时间之间存在差异的情况下，基于这些恢复时间之差，来修正之后求出的功能部恢复时间。具体而言，装置控制部50针对每个功能部，实际测量从任意状态恢复到运转状态所需的时间，在与功能部恢复时间的预测值相比，功能部的恢复中实际所需的实际时间长的情况下，将之后预测的功能部恢复时间修正为较长即可。由此，能够根据之前的实际时间来求出功能部恢复时间。此外，进行这样的修正的对象不限于功能部恢复时间，也可以是单元恢复时间或装置恢复时间，也可以是功能部恢复电能、单元恢复电能、装置恢复电能等其它的资源的消耗量。
[0160]另外，如上述实施方式中例示，有时为了执行预定执行配方而需要使多个功能部200、300、400、500中的多个功能部作为确定功能部来进行恢复。在这样的情况下，能够恰当地设定使这些多个确定功能部开始恢复的时机。因此，例如，也可以控制为不像在第二实施方式中说明那样使全部确定功能部同时开始恢复，而是使全部确定功能部的恢复结束时刻相同。由此，能够使确定功能部尽量长地保持在待机状态而减少能量的消耗量。此时，如上述，也可以是暂时使从能量消耗量多的待机状态向能量消耗量少的待机状态迁移后，开始从该能量消耗量少的待机状态向运转状态恢复。
[0161]另外，也可以不是用基板处理装置20的装置控制部50计算恢复时间或恢复电能这样的资源的消耗量，而是用主机10的主控制部11来计算恢复时间或恢复电能这样的资源的消耗量。即，也可以使主控制部11作为本发明的“信息获取装置”发挥功能。另外，在基板处理装置20A、20B、20C中的任意一个装置控制部50中，也可以进行决定处理，来决定使哪个装置执行预定执行配方。此时，进行决定处理的基板处理装置20的装置控制部50作为本发明的“控制装置”发挥功能。并且，也可以将起到本发明的“信息获取装置”以及“控制装置”中至少任意一方的功能的装置，设置为主机10或基板处理装置20之外的独立的装置。
[0162]另外，在上述实施方式中，从多个处理单元选择一个使其执行基板处理的单元。然而，使其执行基板处理的处理单元也可以是两个以上，在选择两个以上的单元时，也能够从单元恢复时间或单元恢复电能小的单元开始优先选择。同样地，在上述实施方式中，从多个基板处理装置只选择一个使其执行基板处理的装置，但使其执行基板处理的基板处理装置也可以是两个以上，选择两个以上的装置时，也能够从装置恢复时间或装置恢复电能小的单元开始优先选择。
[0163]另外，在上述实施方式中，基于存储在数据库62的资源的消耗量来求出功能部恢复时间或功能部恢复电能，但数据库62不是必需的构成要件。例如，也可以在存储部60中保存用于计算功能部恢复时间或功能部恢复电能的计算式，使用该计算式来求出功能部恢复时间或功能部恢复电能。
[0164]另外，上述实施方式中，在主机10的显示部13上显示装置恢复时间、执行预定执行配方的基板处理装置，但也可以在显示部13上显示除此以外的信息。例如，也可以显示图8所示的数据库62的内容，也可以显示各功能部的当前状态等的信息。而且也可以是代替主机10的显示部13或者在此基础之上，在基板处理装置20上设置显示部。
[0165]另外，上述实施方式中，说明了求出恢复时间或恢复电能来作为资源的消耗量的情况，但除此以外，例如还可以求出药液或冲洗液的消耗量来作为资源的消耗量。并且，也可以求出多个资源的消耗量，基于多个资源的消耗量来进行决定处理。例如，也可以针对各基板处理装置20A、20B、20C求出装置恢复时间以及装置恢复电能的双方，在装置恢复时间相同的情况下使装置恢复电能更小的装置执行预定执行配方。
[0166]另外，在上述实施方式中，例示具备多个基板处理装置20的基板处理系统I进行了说明。然而，也可以对具备一个基板处理装置20的基板处理系统I应用本发明。并且，在上述实施方式中，例示具备多个清洗单元100的基板处理装置20进行了说明。然而，也可以对于具备一个清洗单元100的基板处理装置20应用本发明。
[0167]本发明适用于对包含半导体晶片、光掩模用玻璃基板、液晶显示用玻璃基板、等离子体显示用玻璃基板、FED用基板、光盘用基板、磁盘用基板、光磁盘用基板等的基板全体实施处理的基板处理装置、基板处理系统以及基板处理装置的控制方法。
【权利要求】
1.一种基板处理装置，其特征在于，具备: 多个功能部，能够选择性地选取对基板能够执行各自承担的承担处理的运转状态和比上述运转状态的能量的消耗量少的待机状态， 控制部，在上述运转状态和上述待机状态之间控制各上述功能部的状态，并且在执行规定有对上述基板进行处理的步骤的配方时，使承担与上述配方对应的上述承担处理的上述功能部选取上述运转状态来执行上述承担处理， 资源消耗量获取部，若接收到预定执行配方，则执行确定动作并且求出资源消耗量，上述预定执行配方是指以后要执行的预定的上述配方，在上述确定动作中，从上述多个功能部中确定出能够承担与上述预定执行配方对应的上述承担处理的上述功能部，来作为确定功能部，并且，上述资源消耗量获取部求出使在上述确定动作中确定的上述确定功能部恢复为上述运转状态所需的资源的消耗量。
2.根据权利要求1所述的基板处理装置，其特征在于， 分别设置有能够执行相同的承担处理的上述功能部的多个处理单元， 上述资源消耗量获取部，按每个上述处理单元求出通过上述确定动作确定出的上述确定功能部的上述资源的消耗量， 上述控制部，基于由上述资源消耗量获取部按每个上述处理单元求出的上述确定功能部的上述资源的消耗量，从上述多个处理单元中决定为了执行上述预定执行配方而使用的上述处理单元。
3.根据权利要求2所述的基板处理装置，其特征在于， 上述资源消耗量获取部，基于上述确定功能部的上述资源的消耗量，按每个上述处理单元，求出上述处理单元恢复到能够用于执行上述预定执行为止所需的上述资源的消耗量，来作为单元消耗量， 上述控制部，基于上述单元消耗量来决定为了执行上述预定执行配方而使用的上述处理单元。
4.根据权利要求3所述的基板处理装置，其特征在于， 上述资源消耗量获取部，基于在求出功能部恢复时间来作为上述确定功能部的上述资源的消耗量时求出的结果，按每个上述处理单元求出单元恢复时间来作为上述单元消耗量， 上述功能部恢复时间是指，使上述确定功能部恢复为上述运转状态所需的时间， 上述单元恢复时间是指，使上述处理单元变为能够用于执行上述预定执行配方为止所需的时间。
5.根据权利要求4所述的基板处理装置，其特征在于， 上述资源消耗量获取部，在针对上述各处理单元而存在多个上述确定功能部的情况下，按每个上述处理单元，在上述处理单元的上述多个确定功能部的上述功能部恢复时间中，求出最长的上述功能部恢复时间，来作为上述单元恢复时间。
6.根据权利要求4或5所述的基板处理装置，其特征在于， 上述控制部，决定为将上述单元恢复时间最短的上述处理单元用于执行上述预定执行配方。
7.根据权利要求3所述的基板处理装置，其特征在于，上述资源消耗量获取部，基于在求出功能部恢复电能来作为上述确定功能部的上述资源的消耗量时求出的结果，按每个上述处理单元求出单元恢复电能来作为上述单元消耗量， 上述功能部恢复电能是指，使上述确定功能部恢复为上述运转状态所需的电能， 单元恢复电能是指，使上述处理单元变为能够用于执行上述预定执行配方为止所需的电能。
8.根据权利要求7所述的基板处理装置，其特征在于， 上述资源消耗量获取部，在针对上述各处理单元而存在多个上述确定功能部的情况下，按每个上述处理单元，求出累计上述处理单元的上述多个确定功能部的上述功能部恢复电能的值，来作为上述单元恢复电能。
9.根据权利要求7或8所述的基板处理装置，其特征在于， 上述控制部，决定为将上述单元恢复电能最小的上述处理单元用于执行上述预定执行配方。
10.根据权利要求1~3中任意一项所述的基板处理装置，其特征在于， 上述资源消耗量获取部，从上述多个功能部中确定出多个能够承担与上述预定执行配方对应的上述承担处理的上述功能部，来作为多个确定功能部，并且针对上述多个确定功能部中的每一个来求出功能部恢复时间，基于针对上述多个确定功能部中的每一个而求出的上述功能部恢复时间来决定装置恢复时间，上述功能部恢复时间是使被确定的上述多个确定功能部恢复为上述运转状态所需的时间，上述装置恢复时间是指使基板处理装置变为能够用于执行上述预定执行配方为止所需的时间， 上述控制部，基于上述装置`恢复时间来决定使上述多个确定功能部的向上述运转状态进行恢复动作的时间表，并且按照上述时间表使上述多个确定功能部恢复为上述运转状态。
11.根据权利要求10所述的基板处理装置，其特征在于， 上述资源消耗量获取部，求出按照上述时间表来使上述多个确定功能部恢复为上述运转状态所需的电能。
12.根据权利要求1所述的基板处理装置，其特征在于， 上述控制部，基于对上述确定功能部求出的上述资源的消耗量，调整执行上述预定执行配方的时机。
13.根据权利要求1所述的基板处理装置，其特征在于， 上述控制部，根据上述预定执行配方的执行时机，控制使在上述预定执行配方中要使用的上述确定功能部恢复的时机。
14.根据权利要求1所述的基板处理装置，其特征在于， 该基板处理装置能够执行多个上述预定执行配方， 上述控制部，基于由上述资源消耗量获取部求出的与上述预定执行配方对应的上述确定功能部的上述资源的消耗量，从上述多个预定执行配方中决定接下来要执行的上述预定执行配方。
15.根据权利要求1所述的基板处理装置，其特征在于， 基于由上述资源消耗量获取部求出的使上述确定功能部恢复为上述运转状态所需的上述资源的消耗量、为了使该确定功能部恢复为上述运转状态而实际消耗的上述资源的消耗量，之后由上述资源消耗量获取部调整作为使该确定功能部恢复为上述运转状态所需的上述资源的消耗量而求出的值。
16.根据权利要求1所述的基板处理装置，其特征在于， 还具有按每个上述功能部的状态而存储有上述资源的消耗量的数据库， 上述资源消耗量获取部，基于上述数据库来求出使上述确定功能部恢复为上述运转状态所需的上述资源的消耗量。
17.根据权利要求1所述的基板处理装置，其特征在于， 上述功能部能够取上述能量的消耗量各异的多个上述待机状态。
18.根据权利要求17所述的基板处理装置，其特征在于， 上述功能部能够从上述多个待机状态中选取与上述预定执行配方的内容对应的上述待机状态。
19.根据权利要求1所述的基板处理装置，其特征在于， 还具备显示部，其用于显示由上述资源消耗量获取部求出的上述资源的消耗量。
20.—种基板处理系 统，具备多个基板处理装置，其特征在于， 具备信息获取装置，该信息获取装置求出用于上述多个基板处理装置的控制的参数； 上述基板处理装置分别具有: 多个功能部，能够选择性地选取对基板能够执行各自承担的承担处理的运转状态和比上述运转状态的能量的消耗量少的待机状态， 控制部，在上述运转状态和上述待机状态之间控制各上述功能部的状态，并且在执行规定有对上述基板进行处理的步骤的配方时，使承担与上述配方对应的上述承担处理的上述功能部选取上述运转状态来执行上述承担处理； 上述信息获取装置，针对每个上述基板处理装置，执行确定动作， 在上述确定动作中，从上述多个功能部中确定出能够承担与预定执行配方对应的上述承担处理的上述功能部，来作为确定功能部， 上述预定执行配方是指以后要执行的预定的上述配方， 上述信息获取装置，针对每个上述基板处理装置，求出使在上述确定动作中确定的上述确定功能部恢复为上述运转状态所需的资源的消耗量。
21.根据权利要求20所述的基板处理系统，其特征在于， 上述信息获取装置，基于对各上述基板处理装置求出的上述确定功能部的上述资源的消耗量，来求出装置消耗量作为上述参数， 上述装置消耗量是指，使上述基板处理装置变为能够用于执行上述预定执行配方为止所需的上述资源的消耗量。
22.根据权利要求21所述的基板处理系统，其特征在于， 还具备控制装置， 该控制装置，基于由上述信息获取装置获取的上述装置消耗量，从上述多个基板处理装置中，决定要执行上述预定执行配方的上述基板处理装置。
23.根据权利要求21或22所述的基板处理系统，其特征在于， 上述信息获取装置，针对每个上述基板处理装置，基于在求出功能部恢复时间作为上述确定功能部的上述资源的消耗量时求出的结果，来求出装置恢复时间作为上述装置消耗量， 上述功能部恢复时间是指，使上述确定功能部恢复为上述运转状态所需的时间， 上述装置恢复时间是指，使上述基板处理装置变为能够用于执行上述预定执行配方为止所需的时间。
24.根据权利要求21或22所述的基板处理系统，其特征在于， 上述信息获取装置，针对每个上述基板处理装置，基于在求出功能部恢复电能作为上述确定功能部的上述资源的消耗量时求出的结果，来求出装置恢复电能作为上述装置消耗量， 上述功能部恢复电能是指，使上述确定功能部恢复为上述运转状态所需的电能， 上述装置恢复电能是指，使上述基板处理装置变为能够用于执行上述预定执行配方为止所需的电能。
25.根据权利要求21所述的基板处理系统，其特征在于， 还具备控制装置， 该控制装置，基于由上述信息获取装置获取的上述装置消耗量，调整使上述基板处理装置执行上述预定执行配方的时机。
26.根据权利要求21所述的基板处理系统，其特征在于， 该基板处理系统能够执行多个预定执行配方， 还具备控制装置， 该控制装置，基于由上述信息获取装置获取的与上述预定执行配方对应的上述装置消耗量，从上述多个预定执行配方中，决定接下来要执行的预定执行配方。
27.根据权利要求20所述的基板处理系统，其特征在于， 还具备显示装置，其用于显示由上述信息获取装置获取的上述参数。
28.—种基板处理装置的控制方法， 该基板处理装置具有多个功能部，上述多个功能部能够选择性地取对基板能够执行各自承担的承担处理的运转状态和比上述运转状态能量的消耗量少的待机状态， 该基板处理装置能够在上述运转状态和上述待机状态之间选择各上述功能部的状态， 该控制方法的特征在于，包括如下工序: 读取规定有对上述基板进行的处理的步骤的配方， 若接收到预定执行配方则执行确定动作，上述预定执行配方是指以后预定执行的上述配方，在上述确定 动作中，从上述多个功能部中确定出能够承担与上述预定执行配方对应的上述承担处理的上述功能部， 求出使在上述确定动作中确定出的确定功能部恢复为上述运转状态所需的资源的消耗量。
【文档编号】H01L21/67GK103779254SQ201310506626
【公开日】2014年5月7日 申请日期:2013年10月24日 优先权日:2012年10月24日
【发明者】中村康则, 中川信彦, 川嶋尚彦 申请人:大日本网屏制造株式会社