有机电致发光显示材料静电蒸镀方法和装置制造方法
【专利摘要】本发明提供了一种有机电致发光显示材料静电蒸镀方法，包括：OEL材料蒸发源输出OEL材料微粒；微粒带电和输运模块控制该OEL材料微粒带特定极性的电荷，并使得带有特定极性的电荷的OEL材料微粒向所述OLED显示器背板定向输运；导向电场形成模块通过在所述不同颜色子像素电极之间形成导向电场，使带有特定极性的电荷的OEL材料微粒淀积于OLED显示器背板上的与设定颜色的子像素电极对应的区域。本发明使得各个子像素的发光层的OEL材料微粒淀积的位置与各个子像素电极的位置对应，各个子像素的发光层的OEL材料微粒淀积形成图案和子像素电极形状一致。
【专利说明】有机电致发光显示材料静电蒸镀方法和装置
【技术领域】
[0001]本发明涉及OLED (Organic Light-Emitting Diode,有机发光二极管)显示器制作领域，尤其涉及一种有机电致发光显示材料静电蒸镀方法和装置。
【背景技术】
[0002]0LED显示器像素是由叠层结构构成的发光二极管。如图1所示，在由R (红)、G(绿)、B (蓝)子像素构成的彩色像素结构中，除了不同颜色发光层(EML)的位置和形状需要和子像素电极(通常为阳极)分别对应外，EML (发光层)的下层结构(包括像素阵列电路11、红色子像素电极121、绿色子像素电极122、蓝色子像素电极123和空穴传输层13)和EML的上层结构(包括电子传输层15和阴极16)为各色子像素公用层。在图1中，标示为10的是基板，标示为141的为红色发光层，标示为142的为绿色发光层，标示为143的为蓝色发光层。不同颜色的子像素的发光层引材料不同、蒸镀的目标区域和图案不同需要分别蒸镀，如果一种颜色的EML材料淀积到了另外一个子像素对应电极的区域，则会引起混色。
[0003]为了限制蒸镀过程中飞散微粒的淀积区域使之在特定位置形成设定图案的发光层，现有技术是在蒸镀过程中在靠近基板的位置放置FMM (Fine Mental Mask，高精度金属掩膜板)，用以挡住开孔区域以外的蒸镀颗粒。FMM开孔区域和子像素电极区域对准，可以使得蒸镀的有机发光材料微粒淀积在子像素电极区域，形成具有和FMM开孔近似形状的发光层。通过移动FMM或采用不同的FMM蒸镀不同材料，可以分别形成所需不同颜色子像素的有机发光层。
[0004]图2A、图2B、图2C、图2D和图2E分别示意现有的采用FMM蒸镀OEL (OrganicElectro Luminescence,有机电致发光显示)材料微粒方法的发光层下层结构粒子定向淀积步骤、红色发光层粒子定向淀积步骤、绿色发光层粒子定向淀积步骤、蓝色发光层粒子定向淀积步骤和发光层上层结构粒子定向淀积步骤。在图2A、图2B、图2C、图2D和图2E中，标号为20的是0EL材料蒸发源，标号为21的是设有像素阵列线路的玻璃基板，标号为221的是红色子像素电极，标号为222的是绿色子像素电极，标号为223的是蓝色子像素电极，标号为23的是发光层下层结构，标号为201、202、203、204、205、206的是FMM，标号为241、242、243的分别是红色发光层、绿色发光层、蓝色发光层。
[0005]但是现有的0EL材料静电蒸镀方法存在如下问题:一是由于受到重力和温度变化产生热的应力会产生变形，影响蒸镀形成的位置和图案形状精度；二是由于FMM屏蔽作用，只有少量0EL材料透过FMM淀积于发光层，其余材料因淀积在FMM上不能被利用。
【发明内容】
[0006]本发明的主要目的在于提供一种有机电致发光显示材料静电蒸镀方法和装置，使得各个子像素的发光层的0EL材料微粒淀积的位置与各个子像素电极的位置对应，各个子像素的发光层的0EL材料微粒淀积形成图案和子像素电极形状一致。
[0007]为了达到上述目的，本发明提供了一种有机电致发光显示材料静电蒸镀方法，用于在有机电致发光二极管OLED显示器的设置有不同颜色子像素电极的OLED显示器背板上蒸镀发光层，所述有机电致发光显示材料静电蒸镀方法包括:
[0008]有机电致发光显示0EL材料输出步骤:0EL材料蒸发源输出0EL材料微粒；
[0009]微粒带电和输运步骤:微粒带电和输运模块控制该0EL材料微粒带特定极性的电荷，并使得带有特定极性的电荷的0EL材料微粒向所述0LED显示器背板定向输运；
[0010]粒子定向淀积步骤:导向电场形成模块通过在所述不同颜色子像素电极之间形成导向电场，使得所述带有特定极性的电荷的0EL材料微粒淀积于所述0LED显示器背板上的与设定颜色的子像素电极对应的区域。
[0011]实施时，本发明所述的有机电致发光显示材料静电蒸镀方法，在所述微粒带电和输运步骤和所述粒子定向淀积步骤之间还包括:
[0012]微粒速度调控步骤:微粒速度控制模块调控所述带有特定极性的电荷的0EL材料微粒向所述0LED显示器背板的定向输运速度。
[0013]实施时，所述微粒速度调控步骤包括:
[0014]在所述0EL材料蒸发源和所述0LED显示器背板之间设置栅状电极；
[0015]在所述栅状电极和所述子像素电极之间形成输运控制电场，控制带有特定极性的0EL材料微粒向所述0LED显示器背板的定向输运速度
[0016]本发明还提供了 一种有机电致发光显示材料静电蒸镀装置，用于在有机电致发光二极管0LED显示器的设置有不同颜色子像素电极的0LED显示器背板上蒸镀发光层，所述有机电致发光显示材料静电蒸镀装置包括:
[0017]有机电致发光显不材料0EL蒸发源，用于输出0EL材料微粒；
[0018]微粒带电和输运模块，用于控制该0EL材料微粒带特定极性的电荷，并使得带电的0EL材料微粒向所述0LED显示器背板定向输运；
[0019]以及，电场形成模块，用于通过在所述不同颜色子像素电极之间形成导向电场，使得所述带电的0EL材料微粒淀积于所述0LED显示器背板上的设定区域，从而在该设定区域上蒸镀发光层。
[0020]实施时，本发明所述的有机电致发光显示材料静电蒸镀装置还包括:
[0021 ] 微粒速度调控模块，用于调控所述带电的0EL材料微粒向所述0LED显示器背板的定向输运速度。
[0022]实施时，所述微粒速度调控模块包括:
[0023]设置于所述微粒带电和输运模块和所述0LED显示器背板之间的栅状电极；
[0024]以及，电场形成单元，用于通过在栅状电极和所述子像素电极之间形成输运控制电场，控制所述带有特定极性的0EL材料微粒向所述0LED显示器背板的定向输运速度。
[0025]实施时，所述微粒速度调控模块包括:
[0026]设置于所述微粒带电和输运模块和所述0LED显示器背板之间的栅状电极组，所述栅状电极组包括从微粒带电和输运模块侧向0LED显示器背板侧依次排列的多个栅状电极；
[0027]以及，电场形成单元，用于通过在所述多个栅状电极间的输运控制电场调控所述带电的0EL材料微粒向所述0LED显示器背板方向的定向输运速度。
[0028]实施时，所述电场形成单元，还通过在最靠近所述0LED显示器背板一侧的栅状电极与所述子像素电极之间形成输运控制电场，控制所述带电的OEL材料微粒向所述OLED显示器背板的定向输运速度。
[0029]实施时，所述微粒带电和输运模块为射频离子源。
[0030]与现有技术相比，本发明所述的有机电致发光显示材料静电蒸镀方法和装置，使得0EL材料微粒带电，并使得带电的0EL材料微粒向设置有多个子像素电极的0LED显示器背板定向输运，并通过在所述不同颜色子像素电极之间形成电场，使得所述带电的0EL材料微粒淀积于设定区域，从而在该设定区域上蒸镀发光层，在电场限制下，蒸镀的0EL材料微粒淀积在目标子像素电极的上方，不会四处飞散，因此充分利用了蒸镀材料。采用本发明实施例所述的有机电致发光显示材料静电蒸镀方法和装置，各个子像素的发光层的0EL材料微粒淀积的位置与各个子像素电极的位置对应，各个子像素的发光层的0EL材料微粒淀积形成图案和子像素电极形状一致，本发明所述的有机电致发光显示材料静电蒸镀方法蒸镀位置和形状的精度远高于采用FMM进行蒸镀的方法。
【专利附图】
【附图说明】
[0031]图1是0LED显示器像素的叠层结构的结构示意图；
[0032]图2A是现有的采用FMM蒸镀0EL材料微粒方法的发光层下层结构粒子定向淀积步骤的示意图；
[0033]图2B是现有的采用FMM蒸镀0EL材料微粒方法的红色发光层粒子定向淀积步骤的不意图；
[0034]图2C是现有的采用FMM蒸镀0EL材料微粒方法的绿色发光层粒子定向淀积步骤的不意图；
[0035]图2D是现有的采用FMM蒸镀0EL材料微粒方法的蓝色发光层粒子定向淀积步骤的不意图；
[0036]图2E是现有的采用FMM蒸镀0EL材料微粒方法的发光层上层结构粒子定向淀积步骤的示意图；
[0037]图3是本发明实施例所述的有机电致发光显示材料静电蒸镀方法的流程图；
[0038]图4A是本发明实施例所述的有机电致发光显示材料静电蒸镀方法的发光层下层结构粒子定向淀积步骤的示意图；
[0039]图4B是本发明实施例所述的有机电致发光显示材料静电蒸镀方法的红色发光层粒子定向淀积步骤的示意图；
[0040]图4C是本发明实施例所述的有机电致发光显示材料静电蒸镀方法的绿色发光层粒子定向淀积步骤的示意图；
[0041]图4D是本发明实施例所述的有机电致发光显示材料静电蒸镀方法的蓝色发光层粒子定向淀积步骤的示意图；
[0042]图4E是本发明实施例所述的有机电致发光显示材料静电蒸镀方法的发光层上层结构粒子定向淀积步骤的示意图；
[0043]图5是本发明实施例所述的有机电致发光显示材料静电蒸镀装置的结构示意图。【具体实施方式】[0044]为使本发明要解决的技术问题、技术方案和优点更加清楚，下面将结合附图及具体实施例进行详细描述。
[0045]本发明实施例所述的有机电致发光显示材料静电蒸镀方法，用于在0LED显示器的设置有不同颜色子像素电极的0LED显示器背板上蒸镀发光层，所述0LED显示器背板包括设有像素阵列线路的玻璃基板；
[0046]如图3所示，所述有机电致发光显示材料静电蒸镀方法包括:
[0047]有机电致发光显示材料输出步骤31:0EL材料蒸发源输出0EL材料微粒；
[0048]微粒带电和输运步骤32:微粒带电和输运模块控制该0EL材料微粒带特定极性的电荷，并使得带有特定极性电荷的0EL材料微粒向所述0LED显示器背板定向输运；
[0049]粒子定向淀积步骤33:导向电场形成模块通过在所述不同颜色子像素电极之间形成导向电场，使得所述带有特定极性的电荷的0EL材料微粒淀积于所述0LED显示器背板上的与设定颜色的子像素电极对应的区域。
[0050]本发明利用在0LED背板上的不同颜色子像素上分别施加不同极性的电位，形成不同颜色像素电极间的导向电场，用于使带有特定极性电荷的0EL材料微粒在导向电场的作用下，向设定颜色子像素电极定向淀积，而不会向其他颜色子像素电极区域淀积。
[0051 ] 本发明实施例所述的有机电致发光显示材料静电蒸镀方法，使得0EL材料微粒带特定极性的电荷，并使得带特定极性电荷的0EL材料微粒向设置有多个子像素电极的0LED显示器背板定向输运，并通过在所述不同颜色子像素电极之间形成导向电场，使得所述带有特定极性电荷的0EL材料微粒淀积于所述0LED显示器背板上的与设定颜色的子像素电极对应的区域，从而在该区域上蒸镀发光层，在电场限制下，蒸镀的0EL材料微粒淀积在目标子像素电极的上方，不会四处飞散，因此充分利用了蒸镀材料。采用本发明实施例所述的有机电致发光显示材料静电蒸镀方法，各个子像素的发光层的0EL材料微粒淀积的位置与各个子像素电极的位置对应，各个子像素的发光层的0EL材料微粒淀积形成图案和子像素电极形状一致，本发明实施例所述的有机电致发光显示材料静电蒸镀方法蒸镀位置和形状的精度远高于采用FMM进行蒸镀的方法。
[0052]本发明实施例所述的有机电致发光显示材料静电蒸镀方法，在所述微粒带电和输运步骤和所述粒子定向淀积步骤之间还包括:
[0053]微粒速度调控步骤:微粒速度控制模块调控所述带有特定极性电荷的0EL材料微粒向所述0LED显示器背板的定向输运速度，有利于对带电的0EL材料微粒输运路径的有效控制。
[0054]根据一种【具体实施方式】，当需要依次蒸镀红色发光层、绿色发光层和蓝色发光层时，
[0055]如图4A所示，首先0EL材料蒸发源40在设置有红色子像素电极411、绿色子像素电极412和蓝色子像素电极413的0LED显示器背板42上进行发光层下层结构43的蒸镀；
[0056]如图4B所示，再进行红色发光层的蒸镀:0EL材料蒸发源40输出红色0EL材料微粒;
[0057]微粒带电和输运模块(图4B中未示)控制该红色0EL材料微粒带正电荷，并使得带有正电荷的红色0EL材料微粒向所述0LED显示器背板42定向输运或飞散；
[0058]微粒速度控制模块(包括栅状电极421和电场形成单元(图4B中未示))调控所述带有正电荷的红色OEL材料微粒向所述OLED显示器背板42的定向输运速度，有利于对所述带有正电荷的红色OEL材料微粒输运路径的有效控制；
[0059]，导向电场形成模块(图4B中未示)通过控制所述红色子像素电极411的电位为VI，控制所述绿色子像素电极412的电位和所述蓝色子像素电极413的电位为V2，VI小于0，V2大于0 ;从而在所绿色子像素电极412和所述红色子像素电极411之间形成导向电场，在所述蓝色子像素电极413和所述红色子像素电极411之间形成导向电场，使得所述带有正电荷的红色0EL材料微粒淀积于所述0LED显示器背板上与所述红色子像素电极411对应的区域上，从而在该区域上蒸镀红色发光层441 ；
[0060]如图4C所示，再进行绿色发光层的蒸镀:0EL材料蒸发源40输出绿色0EL材料微粒;
[0061]微粒带电和输运模块(图4C中未示)控制该绿色0EL材料微粒带正电荷，并使得带有正电荷的绿色0EL材料微粒向所述0LED显示器背板42定向输运或飞散；
[0062]微粒速度控制模块(包括栅状电极422和电场形成单元(图4C中未示))调控所述带有正电荷的绿色0EL材料微粒向所述0LED显示器背板42的定向输运速度，有利于对所述带有正电荷的绿色0EL材料微粒输运路径的有效控制；
[0063]导向电场形成模块(图4C中未示)通过控制所述绿色子像素电极412的电位为VI，控制所述红色子像素电极411的电位和所述蓝色子像素电极413的电位为V2，VI小于0，V2大于0 ;从而在所红色子像素电极411和所述绿色子像素电极412之间形成导向电场，在所述蓝色子像素电极413和所述绿色子像素电极412之间形成导向电场，使得所述带有正电荷的绿色0EL材料微粒淀积于所述0LED显示器背板上与所述绿色子像素电极412对应的区域上，从而在该区域上蒸镀绿色发光层442 ；
[0064]如图4D所示，再进行蓝色发光层的蒸镀:0EL材料蒸发源40输出蓝色0EL材料微粒;
[0065]微粒带电和输运模块(图4B中未示)控制该蓝色0EL材料微粒带正电荷，并使得带有正电荷的蓝色0EL材料微粒向所述0LED显示器背板42定向输运或飞散；
[0066]微粒速度控制模块(包括栅状电极423和电场形成单元(图4B中未示))调控所述带有正电荷的蓝色0EL材料微粒向所述0LED显示器背板42的定向输运速度，有利于对所述带有正电荷的蓝色0EL材料微粒输运路径的有效控制；
[0067]导向电场形成模块(图4B中未示)通过控制所述蓝色子像素电极413的电位为VI，控制所述红色子像素电极411的电位和所述绿色子像素电极412的电位为V2，VI小于0，V2大于0 ;从而在所红色子像素电极411和所述蓝色子像素电极413之间形成导向电场，在所述绿色子像素电极412和所述蓝色子像素电极413之间形成导向电场，使得所述带有正电荷的蓝色0EL材料微粒淀积于所述0LED显示器背板42上与所述蓝色子像素电极413对应的区域上，从而在该区域上蒸镀蓝色发光层443 ；
[0068]如图4E所示，在蒸镀有红色发光层441、绿色发光层442和蓝色发光层443后，进行发光层的上层结构45的蒸镀。
[0069]在该实施例中，带有特定极性电荷的0EL材料微粒从离子源或其他微粒带电和输运模块产出后，向基板方向定向输运。在输运通路上，设置栅状电极，可以利用栅状电极与基板间距离和相对电位，控制带有特定极性电荷的0EL材料微粒到达基板附近的速度。带有特定极性电荷的OEL材料微粒到达基板表面附近向基板定向输运速度的控制，有利于基板上子像素电极间导向电场对带有特定极性电荷的OEL材料微粒输运路径的有效控制；
[0070]带有特定极性电荷的0EL材料微粒向基板方向输运，在接近基板表面时，由于基板表面不同子像素电极施加了不同极性的电位，形成电极间的导向电场，则带有特定极性电荷的0EL材料微粒会沿导向电场方向输运。假设带有特定极性电荷的0EL材料微粒带正电荷，当V2>0，VI〈0V时，在子像素电极间导向电场作用下，带有正电荷的0EL材料微粒会向连接VI电位的子像素电极表面淀积。从而在VI电位连接的子像素电极上形成发光(材料)层，但在V2连接的电极上，没有或很少有带电微粒淀积；
[0071]按类似方式，变换材料蒸镀源，并相应变换VI电位连接的子像素电极，则可以依次形成红色发光层、绿色发光层和蓝色发光层。
[0072]在具体实施时，该栅状电极也可以替换为栅状电极组，所述栅状电极组包括从微粒带电和输运模块侧向0LED显示器背板侧依次排列的多个栅状电极；
[0073]通过在所述多个栅状电极间的输运控制电场调控所述带有特定极性电荷的0EL材料微粒向所述0LED显不器背板方向的定向输运速度；
[0074]还可以通过最靠近所述0LED显示器背板一侧的栅状电极与所述0LED显示器背板间的距离，并通过该栅状电极与所述子像素电极之间的相对电位，控制所述带有特定极性电荷的0EL材料微粒向所述0LED显示器背板的定向输运速度。
[0075]本发明实施例所述的有机电致发光显示材料静电蒸镀装置，用于在有机发光二极管0LED显示器的设置有不同颜色子像素电极的0LED显示器背板上蒸镀发光层，所述有机电致发光显示材料静电蒸镀装置包括:
[0076]0EL蒸发源，用于输出0EL材料微粒；
[0077]微粒带电和输运模块，用于控制该0EL材料微粒带特定极性的电荷，并使得带有特定极性电荷的0EL材料微粒向所述0LED显示器背板定向输运；
[0078]以及，导向电场形成模块，用于通过在所述不同颜色子像素电极之间形成导向电场，使得所述带有特定极性电荷的0EL材料微粒淀积于该0LED显示器背板上的与设定颜色的子像素电极对应的区域，从而在该区域上蒸镀发光层。
[0079]实施时，本发明所述的有机电致发光显示材料静电蒸镀装置还包括:
[0080]微粒速度调控模块，用于调控所述带有特定极性电荷的0EL材料微粒向所述0LED显示器背板的定向输运速度。
[0081]实施时，所述微粒速度调控模块包括:
[0082]设置于所述微粒带电和输运模块和所述0LED显示器背板之间的栅状电极组，所述栅状电极组包括从微粒带电和输运模块侧向0LED显示器背板侧依次排列的多个栅状电极；
[0083]以及，输运控制电场形成单元，用于通过在所述多个栅状电极间的输运控制电场调控所述带有特定极性电荷的0EL材料微粒向所述0LED显示器背板方向的定向输运速度。
[0084]实施时，所述输运控制电场形成单元，还通过最靠近所述0LED显示器背板一侧的栅状电极与所述0LED显示器背板间的距离，并通过该栅状电极与所述子像素电极之间的相对电位，控制所述带有特定极性电荷的0EL材料微粒向所述0LED显示器背板的定向输运速度。[0085]如图5所示，本发明实施例所述的有机电致发光显示材料静电蒸镀装置，用于在有机发光二极管0LED显示器的0LED显示器背板50上蒸镀发光层，所述0LED显示器背板50上设置有红色子像素电极511、绿色子像素电极512和蓝色子像素电极513，所述0LED显示器背板50包括玻璃基板和设置于其上的像素阵列电路;在设置有红色子像素电极511、绿色子像素电极512和蓝色子像素电极513的0LED显示器背板50上蒸镀有发光层上层结构52 ；
[0086]所述有机电致发光显示材料静电蒸镀装置包括:
[0087]0EL蒸发源53，用于输出绿色0EL材料微粒；
[0088]微粒带电和输运模块54，用于控制该绿色0EL材料微粒带正电荷，并使得带有正电荷的绿色0EL材料微粒向所述0LED显示器背板50定向输运；
[0089]设置于所述微粒带电和输运模块51和所述0LED显示器背板50之间的栅状电极组，所述栅状电极组包括从微粒带电和输运模块侧向0LED显示器背板侧依次排列的第一栅状电极551和第二栅状电极552 ；
[0090]输运控制电场形成单元(图5中未示)，用于通过在所述第一栅状电极551和所述第二栅状电极552间的输运控制电场调控所述带有正电荷的绿色0EL材料微粒向所述0LED显示器背板方向50的定向输运速度，还通过所述第二栅状电极552与所述0LED显示器背板50间的距离，并通过该第二栅状电极552与所述红色子像素电极511、所述绿色子像素电极512和所述蓝色子像素电极513之间的相对电位(所述第二栅状电极552被所述电场形成单元施加电压V3)，控制所述带有正电荷的绿色0EL材料微粒向所述0LED显示器背板50的定向输运速度；
[0091]以及，导向电场形成模块(图5中未示)，用于通过控制所述绿色子像素电极512的电位为VI，控制所述红色子像素电极511的电位和所述蓝色子像素电极413的电位为V2，VI小于0，V2大于0，从而在所红色子像素电极511和所述绿色子像素电极512之间形成导向电场，在所述蓝色子像素电极513和所述绿色子像素电极512之间形成导向电场，使得所述带有正电荷的绿色0EL材料微粒淀积于所述0LED显示器背板上与所述绿色子像素电极512对应的区域上，从而在该区域上蒸镀绿色发光层56。
[0092]实施时，所述微粒带电和输运模块可以为射频离子源。
[0093]所述微粒带电和输运模块可以为离子源，离子源可以选择不同种类，或采用其他方式使非分子状态的材料微粒带有电荷。栅状电极(组)也可以采取其他形状的电极和设置，目的是形成所需的输运控制电场，控制带有特定极性的0EL电荷微粒的定向输运速度。这部分装置还可以有带电粒子筛选的功能。各该电极电位的设置以有效控制带电粒子输运为目的，该电位极性和幅度可以按实际效果确定。
[0094]本发明在0EL材料蒸发源前增加离子发生或其他使材料微粒带电的装置；通过设置栅状电极(组)调控带有特定极性的0EL材料微粒向基板的定向输运速度；同时在被蒸镀基板的不同子像素电极施加不同极性电位，利用子像素电极间导向电场控制被蒸镀材料带电微粒淀积在特定区域。本发明所述的方法不仅可以使淀积形成的发光层图案和位置与(子)像素电极严格对准，而且充分利用了蒸镀材料。
[0095]以上所述是本发明的优选实施方式，应当指出，对于本【技术领域】的普通技术人员来说，在不脱离本发明所述原理的前提下，还可以作出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本发明的保护范围。
【权利要求】
1.一种有机电致发光显75材料静电蒸镀方法，用于在有机电致发光二极管OLED显75器的设置有不同颜色子像素电极的OLED显示器背板上蒸镀发光层，其特征在于，所述有机电致发光显示材料静电蒸镀方法包括:有机电致发光显示OEL材料输出步骤:OEL材料蒸发源输出OEL材料微粒；微粒带电和输运步骤:微粒带电和输运模块控制该OEL材料微粒带特定极性的电荷，并使得带有特定极性的电荷的OEL材料微粒向所述OLED显示器背板定向输运；粒子定向淀积步骤:导向电场形成模块通过在所述不同颜色子像素电极之间形成导向电场，使得所述带有特定极性的电荷的OEL材料微粒淀积于所述OLED显示器背板上的与设定颜色的子像素电极对应的区域。
2.如权利要求1所述的有机电致发光显示材料静电蒸镀方法，其特征在于，在所述微粒带电和输运步骤和所述粒子定向淀积步骤之间还包括:微粒速度调控步骤:微粒速度控制模块调控所述带有特定极性的电荷的OEL材料微粒向所述OLED显示器背板的定向输运速度。
3.如权利要求2所述的有机电致发光显示材料静电蒸镀方法，其特征在于，所述微粒速度调控步骤包括:在所述OEL材料蒸发源和所述OLED显示器背板之间设置栅状电极；在所述栅状电极和所述子像素电极之间形成输运控制电场，控制带有特定极性的OEL材料微粒向所述OLED显示器背板的定向输运速度
4.一种有机电致发光显示`材料静电蒸镀装置，用于在有机电致发光二极管OLED显示器的设置有不同颜色子像素电极的OLED显示器背板上蒸镀发光层，其特征在于，所述有机电致发光显示材料静电蒸镀装置包括:有机电致发光显示材料OEL蒸发源，用于输出OEL材料微粒；微粒带电和输运模块，用于控制该OEL材料微粒带特定极性的电荷，并使得带电的OEL材料微粒向所述OLED显示器背板定向输运；以及，电场形成模块，用于通过在所述不同颜色子像素电极之间形成导向电场，使得所述带电的OEL材料微粒淀积于所述OLED显示器背板上的设定区域，从而在该设定区域上蒸镀发光层。
5.如权利要求4所述的有机电致发光显示材料静电蒸镀装置，其特征在于，还包括:微粒速度调控模块，用于调控所述带电的OEL材料微粒向所述OLED显示器背板的定向输运速度。
6.如权利要求5所述的有机电致发光显示材料静电蒸镀装置，其特征在于，所述微粒速度调控模块包括:设置于所述微粒带电和输运模块和所述OLED显示器背板之间的栅状电极；以及，电场形成单元，用于通过在栅状电极和所述子像素电极之间形成输运控制电场，控制所述带有特定极性的OEL材料微粒向所述OLED显示器背板的定向输运速度。
7.如权利要求5所述的有机电致发光显示材料静电蒸镀装置，其特征在于，所述微粒速度调控模块包括:设置于所述微粒带电和输运模块和所述OLED显示器背板之间的栅状电极组，所述栅状电极组包括从微粒带电和输运模块侧向OLED显示器背板侧依次排列的多个栅状电极；以及，电场形成单元，用于通过在所述多个栅状电极间的输运控制电场调控所述带电的OEL材料微粒向所述OLED显示器背板方向的定向输运速度。
8.如权利要求7所述的有机电致发光显示材料静电蒸镀装置，其特征在于，所述电场形成单元，还通过在最靠近所述OLED显示器背板一侧的栅状电极与所述子像素电极之间形成输运控制电场，控制所述带电的OEL材料微粒向所述OLED显示器背板的定向输运速度。
9.如权利要求4至8中任一权利要求所述的有机电致发光显示材料静电蒸镀装置，其特征在于，所述微粒带 电和输运模块为射频离子源。
【文档编号】H01L51/56GK103700780SQ201310687748
【公开日】2014年4月2日 申请日期:2013年12月16日 优先权日:2013年12月16日
【发明者】皇甫鲁江, 梁逸南 申请人:京东方科技集团股份有限公司