一种安全高效的晶片夹具的制作方法
【专利摘要】本实用新型公开了一种安全高效的多功能夹具，其特征在于，包含夹尾、两个夹臂、两个夹头、一至二个反光结构与一至二个放大结构。其特殊的放大结构和反光结构将模糊的标记放大，保证读取信息的可靠性。反光结构可以简化晶片背面信息读取操作，提高操作的安全性。本实用新型适用于各个使用晶片的行业。
【专利说明】—种安全高效的晶片夹具
【技术领域】
[0001]本发明涉及一种夹具，更具体地，涉及一种半导体行业使用的具有安全高效且便于准确识别晶片标记信息的多功能晶片夹具。
【背景技术】
[0002]晶片是半导体行业的基础材料，几乎所有的工序都是围绕晶片操作进行，夹取晶片和采集晶片标记信息是工作人员的主要工作内容之一。
[0003]以晶片的编码信息采集为例，目前的采集方法都是将晶片翻转过来，然后读取晶片编码，在此过程中存在以下问题:
[0004]晶片翻转危险系数高。因为晶片的编码都是标刻在背面，所以读取时必须将晶片翻面。传统的夹具为了保护晶片表面，所以夹具与晶片表面接触的面积非常小，翻转过程中，非常容易滑落。为了防止晶片滑落，就增大夹持力度，从而加大了对接触表面的损伤，所以危险系数高。
[0005]晶片翻转耗时。因为传统的夹具容易导致晶片划伤或滑落，所以翻转过程要非常小心，不能匆忙，故翻转晶片过程耗费时间，降低工作效率。
[0006]晶片编码识别困难。晶片上的标记信息在使用之初清晰可辨，但是在经过多次刻蚀、清洗、外延和检测等工艺后，因为发生污染和磨损变得模糊，再识别时就比较困难，情况严重时，就需要借助其他辅助工具才能识别。所以分析识别模糊编码信息难度大，而且过程耗费时间。
[0007]晶片表面多次污染和损伤。在模糊编码识别过程中，由于需要使用辅助设备，经常是将晶片放置后，再分析识别编码，信息采集完成后，又将晶片夹放到原位。这个过程增加了一次晶片夹取操作，就增加对晶片的污染和损伤的机率。
[0008]本发明提出一种具有安全高效的多功能晶片夹具，它不仅具有通常的夹取晶片操作功能外，还可以高效准确读取晶片编码信息，且保证操作的安全性。
【发明内容】
[0009]本发明所要解决:使用传统夹具进行晶片标记信息采集时，工作效率低下，操作风险闻的问题。
[0010]本发明为了解决以上问题，提出一种能够免翻转晶片读取晶片背面信息，降低模糊标记识别难度，提高工作效率，提高操作安全性的新型夹具。其具体技术方案如下:
[0011]本发明夹具包含夹尾、两个夹臂、两个夹头、一至二个反光结构与一至二个放大结构。
[0012]上述夹尾，其特征在于，连接两个夹臂。
[0013]上述夹臂，其特征在于，支撑夹头。
[0014]上述夹头，其特征在于，与被夹持物接触，并发生作用力。
[0015]上述反光结构，其特征在于，通过光的反射原理，对晶片背面的标记进行成像，像可以是等大的像，也可以是曲面放大或缩小的像。反光面不限于平面，可以是规则球面或椭球面。
[0016]使用时，只需要将反光结构伸到晶片背面，通过其形成的像读取晶片的编码或其他标记信息。
[0017]上述放大结构，其特征在于，通过折射原理，将对象放大，降低识别难度。结构上可以是双面凸的透镜，也可以是一面平一面凸或一面凹一面凸的透镜。
[0018]使用时，只需将放大结构对准细微或模糊标记，将细微结构或模糊标记放大，然后再分析识别，可以降低识别难度，因而不需要用其他辅助工具分析识别。
[0019]使用本发明夹具，在晶片标记比较清晰的情况下，不需要翻转晶片，整个读取操作所使用的时间比翻转后读数缩短很多，所以能够提高相关工序的工作效率。
[0020]使用本发明夹具，可减少大部分晶片的翻转操作，降低晶片划伤和滑落的机率，降低风险。
[0021]使用本发明夹具，遇到特别难识别的情况，再将晶片翻转识别，不需要用其他辅助工具，能减少耗时。
[0022]使用本发明夹具，反光结构和放大结构可将被识别的对象放大，降低模糊标记分析识别的难度，提高工作效率和操作安全性。
【专利附图】
【附图说明】
[0023]附图1为一种安全高效的多功能晶片夹具结构示意图，其中反光面为曲面，放大结构为一面平一面凸透镜结构；
[0024]附图2为另一种安全高效的多功能晶片夹具结构示意图，其中反光面为平面，放大结构为双面凸结构；
[0025]附图3为具体实施例一中使用放大结构识别模糊晶片编码信息示意图；
[0026]附图4为具体实施例二中使用反光结构识别晶片编码信息示意图。
[0027]图中编号含义如下:夹尾1、夹尾夹臂连接处12、夹臂2、夹头3、放大透镜31、反光面32、衬底4、衬底盒5。
【具体实施方式】
[0028]为了使本发明的目的、内容和优势更加清楚明白，便于理解，以下结合具体实施例做进一步说明。
[0029]以下实施例一、二中所用的夹具结构如附图2所示。整个夹具采用全塑料材质，夹头3的一个头上设计有一个双面凸透的放大结构31，放大系数为3。在另一个头上设计有一个反光结构32，并在反光面上涂有反光涂层。
[0030]实施例一
[0031]如附图3所示，2英寸晶片4的编码字小，而且经过多次刻蚀、清洗、外延工艺，编码中的某些数字已经磨损，变得不清楚，如果直接使用肉眼读取，需要仔细识别，非常费时，且存在误读的风险，可靠性差。
[0032]但是使用本发明夹具，将夹具放大结构31对准晶片4的编码，将模糊的编码数据放大，再分析、识别，可以降低识别难度，加快识别速度节约时间，提高工作效率和可靠性。[0033]实施例二
[0034]通常，为了保护晶片表面，晶片的存放基本上都是将正面向上，但编码却在背面，读取比较麻烦。
[0035]如附图4所示，晶片4放置在晶片盒5内，在采用传统方法读取晶片4的编码时，需要将晶片翻转后读取，如采用本发明夹具，可以不必翻转晶片4。
[0036]将夹具带有反光结构32的夹头伸入晶片4背面，用反光结构32对准晶片编码，通过反光面所成像读取晶片编码，从而有效降低因翻转可能带来的晶片滑落与损伤的风险。
[0037]同时，可以节省传统读取方法中翻转晶片所用时间，提高编码读取效率及可靠性。
【权利要求】
1.一种安全高效的晶片夹具，其特征在于，包含夹尾、两个夹臂、两个夹头、一至二个反光结构与一至二个放大结构。
2.如权利要求1所述的一种安全高效的晶片夹具，其特征在于，包含两个放大结构和两个反光结构，或一个放大结构和一个反光结构。
3.如权利要求1所述的一种安全高效的晶片夹具，其特征在于，反光结构的反光面为平面、规则球面或椭球面。
4.如权利要求1所述的一种安全高效的晶片夹具，其特征在于，放大结构可以是双面凸、一面平一面凸或一面凹一面凸的透镜。
【文档编号】H01L21/687GK203746816SQ201320727092
【公开日】2014年7月30日 申请日期:2013年11月18日 优先权日:2013年11月18日
【发明者】赵红军, 刘鹏, 毕绿燕, 张国义, 童玉珍 申请人:东莞市中镓半导体科技有限公司, 北京大学