技术总结
本发明提供一种薄膜晶体管，其在具备氧化物半导体层薄膜的薄膜晶体管中，对于光或偏压应力等，阈值电压的变化量小且应力耐受性优异。本发明的薄膜晶体管是具备栅电极、用于沟道层的单层的氧化物半导体层、用于保护氧化物半导体层的表面的蚀刻阻挡层、源‑漏电极和配置于栅电极与沟道层之间的栅极绝缘膜的薄膜晶体管，其中，构成氧化物半导体层的金属元素由In、Zn及Sn构成，并且与所述氧化物半导体层直接接触的栅极绝缘膜中的氢浓度被控制在4原子％以下。
技术研发人员：三木绫;森田晋也;后藤裕史;田尾博昭;钉宫敏洋;安秉斗;金建熙;朴辰玄;金连洪
受保护的技术使用者：株式会社神户制钢所;三星显示有限公司
文档号码：201380045020
技术研发日：2013.08.30
技术公布日：2017.10.13