装载端口装置制造方法
【专利摘要】本发明提供一种装载端口装置，该装载端口装置在对前开式晶圆传送盒的门进行开闭时能够抑制两个轴的连结部位的颗粒的产生，并且能够抑制装置自身的振动。装载端口装置具备：连杆机构，其具有一端以能够转动的方式连结于门保持构件的主动连杆；引导件，其从水平方向朝向铅垂方向弯曲而延伸，用于对主动连杆的一端进行引导；驱动组件，其供主动连杆的另一端以能够转动的方式连结；以及门升降轴，其在铅垂方向上延伸，使驱动组件在该门升降轴的延伸方向上移动，连杆机构构成为：在主动连杆的另一端在铅垂方向上移动的状态下，允许主动连杆的一端沿着引导件从水平方向朝向铅垂方向移动或者从铅垂方向朝向水平方向移动。
【专利说明】装载^ 口装直
【技术领域】
[0001]本发明涉及能够对在打开、关闭前开式晶圆传送盒的门时的颗粒的产生进行抑制的装载端口装置。
【背景技术】
[0002]在半导体制造工序中，使用被称作前开式晶圆传送盒(Front Open UnifiedPod / FOUP)的密闭型的收纳容器。该前开式晶圆传送盒例如为了收纳半导体晶圆并在半导体处理装置之间输送而使用。
[0003]专利文献I公开了一种装载端口装置，该装载端口装置在将收纳于前开式晶圆传送盒的半导体晶圆输送到半导体处理装置的内部时使用。
[0004]在该装载端口装置中包括--第I驱动单元，其使对前开式晶圆传送盒的门进行保持的保持构件水平地接近或者离开前开式晶圆传送盒；以及第2驱动单元，其使离开后的保持构件在铅垂方向上移动。第I驱动单元具有在水平方向上延伸的第I导轨，第2驱动单元具有在铅垂方向上延伸的第2导轨，使保持构件沿着这些导轨移动，从而使前开式晶圆传送盒的门开闭。
[0005]专利文献
[0006]专利文献1:日本特开2012 - 54271号公报
[0007]近年来，形成于半导体晶圆表面的布线越来越精密化(微细化)，即使微量颗粒附着，半导体晶圆的品质也有可能降低而无法得到目标的半导体性能。
[0008]若如专利文献I所公开的装载端口装置那样分别独立地设置与门的开闭相关的驱动机构和与升降相关的驱动机构，则存在将各导轨彼此连结的连结部位会产生颗粒的问题。具体而言，由于具备两个驱动机构，所以构造变得复杂，难以实现顺畅的开闭动作，因而对导轨的连结位置造成负担，容易产生颗粒。另外，通过使一个驱动机构工作，振动、冲击也会传递到另一个驱动机构，有时也会从各驱动机构的内部也产生颗粒。此外，使用两个驱动机构进行的门的开闭动作没有顺利地进行，从而在用于保持门的门保持构件中也有可能会产生颗粒。
【发明内容】
_9] 发明要解决的问题
[0010]本发明的目的在于有效地解决这样的问题，具体而言，本发明的目的在于提供一种装载端口装置，该装载端口装置在打开、关闭前开式晶圆传送盒的门时能够抑制在导轨等的轴的连结位置处产生颗粒，并且能够顺利地进行门的开闭动作。
[0011]用于解决问题的方案
[0012]本发明为了实现以上目的而采用了以下方法。
[0013]S卩，本发明的装载端口装置对能够收纳多个半导体晶圆的收纳容器进行支承，通过使该收纳容器的门从第I方向朝向与该第I方向不同的第2方向相互移动而进行开闭，其特征在于，该装载端口装置包括:门保持构件，其用于保持上述收纳容器的门；连杆机构，其具有一端以能够转动的方式连结于该门保持构件的主动连杆；引导部件，其从第I方向朝向第2方向弯曲而延伸，并用于对上述主动连杆的一端进行引导；往返移动部件，其至少具有一个供上述主动连杆的另一端以能够转动的方式连结的驱动构件，并用于使上述门保持构件能够往返移动；主轴，其在第2方向上延伸，用于使上述驱动构件在该主轴的延伸方向上移动；以及驱动部件，其用于使上述驱动构件沿着上述主轴进行驱动；上述连杆机构构成为:在上述主动连杆的另一端朝向第2方向移动的状态下，允许上述主动连杆的一端沿着上述引导部件从第I方向朝向第2方向移动或者从第2方向朝向第I方向移动。
[0014]由于为这样的结构，因此，主动连杆的一端与驱动构件在第2方向上的往返移动连动而沿着引导部件从第I方向朝向第2方向移动或者从第2方向朝向第I方向移动。因此，只需使驱动构件在一个主轴上工作就能够使各构件顺利地移动而对保持于门保持构件的收纳容器的门进行开闭，能够抑制在两个轴的连结位置产生颗粒，并且能够顺利地进行门的开闭动作。另外，为了将驱动构件在第2方向上的移动力转换为门保持构件从第I方向朝向第2方向移动的移动力而使用主动连杆，从而能够顺利地进行该变换，由此能够进一步抑制颗粒的产生。此外，由于主轴为一个即可，因此能够简化装置结构，并且也能够使驱动源为Iv，能够抑制制造成本。
[0015]为了使门保持构件顺利且稳定地在第I方向和第2方向上移动并进一步防止颗粒的产生，优选的是，上述往返移动部件还具有从动构件，该从动构件与上述驱动构件分离且能够通过上述主轴而在第2方向上移动，上述连杆机构还具有从动连杆，该从动连杆的一端以能够转动的方式连结于上述主动连杆，另一端以能够转动的方式连结于上述从动构件，上述门保持构件以能够在第I方向上移动的方式支承于上述从动构件。
[0016]或者，优选的是，上述往返移动部件还具有第2驱动构件，该第2驱动构件由上述驱动部件驱动且能够沿着上述主轴在第2方向上移动，上述引导部件具有相同形状的第I引导部与第2引导部，上述连杆机构利用上述主动连杆和一端由第2引导部进行引导且另一端以能够转动的方式连结于上述第2驱动构件的连杆构成平行连杆，上述门保持构件以能够在第I方向上移动的方式支承于上述第2驱动构件。
[0017]为了在不另外设置紧固机构的前提下对门保持构件施加大的紧固力，优选的是，上述连杆机构和引导部件构成紧固机构，该紧固机构在向着上述门的关闭而上述主动连杆的另一端在第2方向上移动且一端在第I方向上移动时发挥肘节作用。
[0018]并且，为了提高通过上述肘节作用而得到的门的关闭力，优选的是，上述第I方向是与收纳容器的门的安装面大致正交的方向。
[0019]为了形成即使从主轴等产生了颗粒、该颗粒也难以进入半导体处理装置的内部的装置，优选的是，装载端口装置还具备板状的基体构件，该基体构件在一个面固定有上述引导构件和上述主轴，在该基体构件中形成有在第2方向上延伸且供上述门保持构件贯穿的构件贯穿开口，上述门保持构件经由该构件贯穿开口从上述基体构件的一个面侧向另一个面侧延伸，在上述一个面侧连结于上述主动连杆的一端，并且在上述另一个面侧保持上述I ]保持构件。
[0020]发明的效果
[0021]根据以上说明的本发明，能够提供一种装载端口装置，该装载端口装置只需使驱动构件在一个主轴上动作就能够使门保持构件在第I方向以及第2方向上移动而对前开式晶圆传送盒的门进行开闭，并且，通过使用连杆机构能够顺利地进行伴随门的开闭的各构件的移动，因此能够抑制颗粒的产生。
【专利附图】
【附图说明】
[0022]图1是本发明的一实施方式的装载端口装置的侧视图。
[0023]图2是该装载端口装置的主视图。
[0024]图3是该装载端口装置的立体图。
[0025]图4是表示该装载端口装置的主要部分的分解立体图。
[0026]图5是表示配备于该装载端口装置的连杆机构的动作的说明图。
[0027]图6是表示配备于该装载端口装置的连杆机构的动作的说明图。
[0028]图7是表示配备于该装载端口装置的连杆机构的动作的说明图。
[0029]图8是表示该装载端口装置的变形例的图。
[0030]附图标记说明
[0031]10…装载端口装置；12...门保持构件；13…往返移动部件；14、19…引导(引导部件)；15...门升降轴(主轴)；17…驱动部件；30…前开式晶圆传送盒(收纳容器)；31...门；32a…安装面；50…紧固机构；130…连杆机构；131、232…主动连杆；131d…连杆的一端；131e…连杆的另一端；132…从动连杆；132a…连杆的另一端；132b…连杆的一端；133…驱动组件(驱动构件)；134…从动组件;190…第2引导部；191…第I引导部；230…平行连杆机构(连杆机构)；231...连杆；231a…连杆的一端；231b…连杆的另一端
【具体实施方式】
[0032]以下，参照附图对本发明的实施方式进行说明。
[0033]如图1所示，作为本实施方式的装载端口装置10固定于半导体处理装置20的安装面21而被利用，使支承于载置台11的前开式晶圆传送盒30的门31保持于门保持构件12，并使该门保持构件12在与安装面21正交的方向(水平方向)以及与安装面21平行的方向(铅垂方向)上移动，从而打开、关闭门31。此外，以下，将与安装面21正交的方向(水平方向)也记为第I方向X，将与安装面21平行的方向(铅垂方向)也记为第2方向Y。
[0034]前开式晶圆传送盒30具备在内部形成有用于在水平方向上收纳半导体晶圆的空间的主体32和将主体32的开口封闭的门31，收纳于主体32的内部的半导体晶圆通过由弹簧等构成的未图示的保持器(retainer)稳定地支承于主体32内部。
[0035]载置台11在其上表面借助前开式晶圆传送盒支承机构Ila对前开式晶圆传送盒30进行支承。前开式晶圆传送盒支承机构Ila构成为能够在固定有所支承的前开式晶圆传送盒30的状态下在第I方向X上往返移动，能够使前开式晶圆传送盒30接近半导体处理装置20，以便从图1所示的状态成为图5所示的状态，或者使前开式晶圆传送盒30离开半导体处理装置20。
[0036]图1?图4所示的门保持构件12包括:装载端口门120，其保持前开式晶圆传送盒30的门31 ;连接部121，将装载端口门120固定于其一端121a ;连杆连结部122，其固定于该连接部121的另一端121b ;以及开闭轴卡合部123，其借助连杆连结部122而固定于连接部121的另一端121b。装载端口门120是具有与前开式晶圆传送盒30的门31大致相同的大小的大致矩形状的构件，设置有用于保持门31的未图示的门保持机构。连接部121是从其一端121a向铅垂方向下方延伸并向第I方向X弯曲的构件，在沿第I方向X延伸的部分的顶端部(另一端121b)的下表面配置有连杆连结部122。连杆连结部122在主视视角下为倒L字状，在向下方弯曲的部分形成有插入孔122a (参照图4)。此外，该插入孔122a供在后述的主动连杆131的一端131d设置的连结轴131b插入。在开闭轴卡合部123形成有在第I方向X上延伸并向下开放的槽123a。该槽123a为从开口部朝向内部暂时变窄且进一步朝向里侧逐渐变宽的形状，并与在后述的从动组件134设置的作为导轨的门开闭轴134b卡合。
[0037]如图3、图4等所示，主动连杆131的一端131d由作为引导构件的引导件14进行引导，并且以能够转动的方式连结于门保持构件12，主动连杆131的另一端131e以能够转动的方式连结于驱动组件133。主动连杆131与从动连杆132 —起构成连杆机构130，该从动连杆132的一端132b以能够转动的方式连结于主动连杆131的大致中央，另一端132a以能够转动的方式连结于从动组件134。在主动连杆131的一个面131f上，在其一端131d设置有上述连结轴131b，在另一端131e设置有连结轴131c。此外，该连结轴131c插入到在驱动组件133的连杆连结部133a形成的插入孔133ab。另外，从动连杆132与主动连杆131的一个面131f相对，在从动连杆132的另一端132a设置有连结轴132g。该连结轴132g设置于从动连杆132中的、与主动连杆131相对的面的相反侧的面132h，并插入到驱动组件133的未图示的插入孔。嵌入引导件14的槽14a且在该槽14a内移动的引导辊131a以能够旋转的方式连结于主动连杆131的另一个面的一端131d。引导件14是具有在第2方向Y上延伸的垂直部142和从垂直部142的上端向第I方向X突出的水平部141的倒L字状的构件，上述槽14a以与主动连杆131的另一个面相对的方式形成于垂直部142和水平部141。主动连杆131的一端131d沿着这样的结构的引导件14移动，因此，与主动连杆131的一端131d连结的门保持构件12在处于与前开式晶圆传送盒30的载置位置相同程度的高度位置的情况下在水平方向上移动，在处于前开式晶圆传送盒30的载置位置或者比其靠下方的高度位置的情况下在铅垂方向上移动。
[0038]图3、图4等所示的与主动连杆131的一端131d连结的驱动组件133通过驱动部件17而沿着在第2方向Y上延伸的作为主轴的门升降轴15往返移动。驱动部件17构成为通过驱动轴172a (参照图2)和从动轴172b (参照图2)来支承环带状的带齿传送带171且能够使该带齿传送带171旋转，上述驱动轴172a通过驱动马达170的驱动而旋转，上述从动轴172b设置成在第2方向Y上与该驱动轴172a分离且能够旋转。驱动组件133包括:传送带固定部133c，其固定于该带齿传送带171 ;主轴卡合部133b，其形成有在第2方向Y上延伸且朝向门升降轴15开放的槽133bc ;以及连杆连结部133a，其存在于传送带固定部133c与主轴卡合部133b之间。在传送带固定部133c形成有用于在其厚度方向上夹住带齿传送带171的开口 133cd，在连杆连结部133a形成有供图4所示的上述连结轴131c插入的插入孔133ab。形成于主轴卡合部133b的槽133bc和形成于后述主轴卡合部134c的槽134cd为从开口部朝向内部暂时变窄且朝向里侧逐渐变宽的形状。此外，驱动马达170是以预定的转速(脉冲数)进行工作的数控驱动马达170。
[0039]与上述从动连杆132的另一端132a连结的从动组件134从动于图3、图4等所示的驱动组件133而在第2方向Y上往返移动。如图2所示，从动组件134与驱动组件133一起构成使连杆机构130进行往返移动的往返移动部件13，该从动组件134包括:连杆连结部分134a，其与主动连杆131的一端131d连结；主轴卡合部134c，其固定于该连杆连结部分134a，形成有在第2方向Y上延伸并朝向门升降轴15开放的槽134cd ;以及门开闭轴134b,其设置于连杆连结部分134a的上表面134ab,且在第2方向Y上延伸。该门开闭轴134b为其两侧面的中央部在整个延伸方向上凹陷而成的形状，如图3、图4所示，上述开闭轴卡合部123的槽123a形成为与这样的形状的门开闭轴134b卡合，因此，即便使从动组件134向下方移动也不会解除与开闭轴卡合部123的卡合状态，能够伴随从动组件134的移动而使门保持构件12移动。与门开闭轴134b同样，门升降轴15也为其两侧面的中央部在整个延伸方向上凹陷而成的形状，如图3、图4所示，在驱动组件133的主轴卡合部133b形成的槽133bc和在从动组件134的主轴卡合部134c形成的槽134cd也形成为与上述形状的门升降轴15卡合。因此，驱动组件133以及从动组件134不会在第I方向X上脱离门升降轴15，门升降轴15能够将驱动组件133和从动组件134支承为能够自由移动。此外，该门开闭轴134b和在上述引导件14的水平部141形成的槽14a以门保持构件12在第I方向X上的移动距离以上的长度延伸，在引导件14的垂直部142形成的槽14a和门升降轴15以门保持构件12在第I方向X上的移动距离以上的长度延伸。
[0040]如图1、图2、图3所示，上述门升降轴15、引导件14以及驱动马达170固定于板状的基体构件18的一个面180。该基体构件18构成装载端口装置10的一个壁面，装载端口装置10在基体构件18的另一个面181抵接于安装面21的状态下固定于半导体处理装置
20。在基体构件18形成有在门开闭轴134b与引导件14之间在第2方向Y上延伸的构件贯穿开口 16。上述门保持构件12经由该构件贯穿开口 16从基体构件18的一个面180侧向另一个面181侧延伸，在一个面180侧将门保持构件12连结于主动连杆131的一端131d，并且在另一个面181侧保持门保持构件12。另外，门保持构件12沿着该构件贯穿开口 16在第2方向Y上移动。
[0041]此外，在载置台11的下部配置有未图示的外罩，该外罩覆盖在基体构件18的一个面180侧配置的上述各构件。
[0042]在以上的装载端口装置10中，在将前开式晶圆传送盒30的门31打开的开门动作中，对驱动马达170进行驱动而使带齿传送带171旋转移动，从而与带齿传送带171连结的驱动组件133开始沿着门升降轴15下降。此时，固定于主动连杆131的一端131d的引导辊131a因嵌入于引导件14的水平部141的槽14a而无法向下方移动，而是开始在水平方向上朝向图3等所示的基体构件18移动。伴随引导辊131a的该移动，主动连杆131 —边相对于门保持构件12和驱动组件133进行转动，一边使相对于铅垂方向的倾斜度逐渐减小，以便从图5所示的状态变成图6所示的状态。另外，从动连杆132也一边相对于主动连杆131和从动组件134进行转动，一边使相对于铅垂方向的倾斜度逐渐减小，以便从图5所示的状态变成图6所示的状态。并且，与主动连杆131的一端131d连结的门保持构件12沿着图3等所示的从动组件134的门开闭轴134b(参照图4)在水平方向上移动。由此，门31在第I方向X上移动。
[0043]当图6、图7等所示的引导辊131a来到引导件14的垂直部142时，从动组件134也开始沿着门升降轴15下降，门31从打开动作转移到下降动作。在下降动作中，驱动组件133和从动组件134 —起沿着门升降轴15下降，引导辊131a在引导件14的垂直部142中下降。此时，主动连杆131和从动连杆132以不改变来到了引导件14的垂直部142的时刻下的倾斜度的方式逐渐下降，以从图6所示的状态变成图7所示的状态。由此，门31下降，即在第2方向Y上移动。
[0044]接着，在进行将前开式晶圆传送盒30的门31关闭的关门动作时，驱动马达170在与上述打开动作时相反的方向上驱动而使带齿传送带171反转移动，从而图3等所示的驱动组件133和从动组件134沿着门升降轴15 —起上升，图6、7等所示的引导辊131a在引导件14的垂直部142中上升，门31上升。此时，主动连杆131和从动连杆132以不改变倾斜度的方式逐渐上升，以便从图7所示的状态变成图6所示的状态。若引导辊131a进入引导件14的水平部141，则从动组件134变得无法上升，门31转移到关闭动作。在关闭动作中，即使驱动组件133上升，引导辊131a也因嵌入于引导件14的水平部141的槽14a而无法向上方移动，而是以离开图3等所示的基体构件18的方式开始在水平方向上移动。伴随引导辊131a的该移动，主动连杆131 —边相对于门保持构件12和驱动组件133进行转动，一边使相对于铅垂方向的倾斜度逐渐增大，以便从图6所示的状态变成图5所示的状态。另夕卜，从动连杆132也一边相对于主动连杆131和从动组件134进行转动,一边使相对于铅垂方向的倾斜度逐渐增大，以便从图6所示的状态变成图5所示的状态。并且，门保持构件12沿着从动组件134的门开闭轴134b在水平方向上移动。此时，图3、图4等所示的连杆机构130和引导件14构成发挥肘节作用的紧固机构50，能够通过主动连杆131倾斜将传递至驱动组件133的上方的驱动力变换为由门保持构件12提供的第I方向X上的按压力。在这样的紧固机构50中，通过主动连杆131的倾斜度接近水平，理论上能够得到无限大的极大的按压力。作为数控驱动马达170的驱动马达170在以预定的转速(脉冲数)驱动时停止，由此在设定有门31的位置停止。
[0045]以上，本实施方式的装载端口装置10对作为能够收纳多个半导体晶圆的收纳容器的前开式晶圆传送盒30进行支承，使该前开式晶圆传送盒30的门31从作为第I方向X的水平方向向作为第2方向的铅垂方向移动从而打开门31，使门31从作为第2方向的铅垂方向向作为第I方向X的水平方向移动从而关闭门31，该装载端口装置10具备:门保持构件12，其保持前开式晶圆传送盒30的门31 ;连杆机构130，其具有一端以能够转动的方式连结于该门保持构件12的主动连杆131 ;作为引导部件的引导件14，其从水平方向向铅垂方向弯曲而延伸，对主动连杆131的一端131d进行引导；往返移动部件13，其至少具有一个作为驱动构件的驱动组件133，主动连杆131的另一端131e以能够转动的方式连结于该驱动组件133，往返移动部件13使门保持构件12能够往返移动；作为主轴的门升降轴15，其在铅垂方向上延伸，用于使驱动组件133在其延伸方向上移动；以及驱动部件17，其沿着门升降轴15驱动上述驱动组件133，连杆机构130构成为:在主动连杆131的另一端131e在铅垂方向上移动的状态下，允许主动连杆131的一端131d沿着引导件14从水平方向朝向铅垂方向移动或者从铅垂方向朝向水平方向移动。
[0046]由于如此构成，因此，主动连杆131的一端131d与驱动组件133在铅垂方向上的往返移动连动而沿着引导件14从水平方向朝向铅垂方向移动或者从铅垂方向朝向水平方向移动。因此，只需使驱动组件133在一个门升降轴15上动作，就能够使各构件133、134、130顺利地移动而对保持于门保持构件12的前开式晶圆传送盒30的门31进行开闭，能够抑制颗粒的产生，并且能够顺利地进行门31的开闭动作。另外，为了将驱动组件133在铅垂方向上的移动力变换为门保持构件12在铅垂方向上的移动力而使用主动连杆，从而能够顺利地进行该变换，由此能够进一步抑制颗粒的产生。进一步，只需一个门升降轴15即可，因此，能够简化装置结构，并且能够使驱动源为一个，从而能够抑制制造成本。
[0047]作为具体的结构,往返移动部件13还具有从动组件134,该从动组件134与上述驱动组件133分离且能够通过门升降轴15在铅垂方向移动，连杆机构130还具有一端132b以能够转动的方式连结于主动连杆131且另一端132a以能够转动的方式连结于从动组件134的从动连杆132，门保持构件12以能够在水平方向上移动的方式支承于从动组件134。
[0048]因此，在驱动组件133和主动连杆131的一端131d在铅垂方向上移动的情况下，经由主动连杆131和从动连杆132连接于驱动组件133的从动组件134也在铅垂方向上移动，因此，能够使支承于该从动组件134的门保持构件12在铅垂方向上顺利且稳定地移动。另外，在主动连杆131的一端131d伴随驱动组件133在铅垂方向上的移动而在水平方向上移动的情况下，主动连杆131相对于从动连杆132的角度发生变化，因此，从动组件134的位置不变。因此，能够使与主动连杆131的一端131d连结的门保持构件12以支承于从动组件134的状态在水平方向上移动，能够使门保持构件12在水平方向上顺利且稳定地移动。
[0049]另外，连杆机构130和引导件14构成向着门31的关闭而在主动连杆131的另一端131e在铅垂方向上移动、且一端131d在水平方向上移动时发挥肘节作用的紧固机构50，因此，能够利用该肘节作用向门保持构件12施加大的紧固力，能够在关闭时以较强的力将门31向前开式晶圆传送盒30按压。因此，能够不需要另外构成紧固机构。另外，通过以较强的力将门31向前开式晶圆传送盒30按压，上述保持器克服将前开式晶圆传送盒30的门31向外侧按压的力，从而能够将前开式晶圆传送盒30的门31关闭。另外，在开闭时，门保持构件12在与前开式晶圆传送盒30的门31的安装面32a正交的方向上移动，因此，能够提高通过上述肘节作用而得到的门31的关闭力。
[0050]另外，在一个面180还具备固定有引导件14和门升降轴15的板状的基体构件18，在该基体构件18中形成有在铅垂方向上延伸且供门保持构件12贯穿的构件贯穿开口 16，门保持构件12构成为经由该构件贯穿开口 16从基体构件18的一个面180侧向另一个面181侧延伸，在一个面180侧将门保持构件12连结于主动连杆131的一端131d，并且在另一个面181侧保持门保持构件12，因此，能够形成即使从门升降轴15等产生了颗粒、该颗粒也难以进入到半导体处理装置20的内部的装置。
[0051]其理由在于，在主动连杆131在水平方向上移动时，门保持构件12在构件贯穿开口 16内在水平方向上移动，另一方面，在主动连杆131铅垂方向移动时在构件贯穿开口 16内朝向铅垂方向移动。这样，通过使配置于基体构件18的一个面180侧的连杆机构130移动，能够使配置于另一个面181侧的门保持构件12移动，因此如图1所示，在将本发明的装载端口装置10安装于半导体处理装置20的情况下，能够在装置内部配置门保持构件12，能够利用配置于装置外部的连杆机构130和门升降轴15等使该门保持构件12移动。因此，在装置外部漂浮的颗粒难以进入装置内部，能够抑制由颗粒引起的处于装置内部的半导体晶圆的污染。
[0052]另外，如图1所示，安装有本发明的装载端口装置10的半导体处理装置20具备向装置内部供给气体的气体供给部件22，能够将装置内部的压力Pa设定为比装置外部Pb高。因此，装置外部的气体难以流入装置内部，能够进一步抑制在装置外部漂浮的颗粒侵入装置内部，因此能够进一步抑制半导体晶圆的污染。并且，由于本发明的装载端口装置10能够抑制伴随着门31的开闭的装置的振动，所以能够使从半导体处理装置20流入到前开式晶圆传送盒30的主体32内部的气流稳定，能够也对由门保持构件12振动而使气流紊乱引起的颗粒的产生进行抑制。
[0053]此外，各部分的具体结构不仅限于上述实施方式。
[0054]例如，在本实施方式中，将第I方向设定为水平方向，将第2方向设定为铅垂方向，但也可以设定为与水平方向、铅垂方向不同的方向。
[0055]另外，在本实施方式中，驱动组件133伴随带齿传送带171的旋转而移动，但作为使驱动组件133移动的装置，例如也可以使用滚珠丝杠、在上下方向上往返移动的升降装置。
[0056]并且，也可以仅利用主动连杆131构成连杆机构，另外，还可以使用作为连杆机构而构成图8所示的平行连杆机构230的装置。在该情况下，例如，使往返移动部件不具有从动组件134，而具有与驱动组件133 (参照图3等)同样的结构的第I驱动组件和由驱动部件17驱动而能够沿着门升降轴15在铅垂方向上移动的第2驱动组件。另外，使引导件19具有相同形状的第I引导部191和与第I引导部191的上方相连的第2引导部190。并且，平行连杆机构230包括:连杆231，其一端231a由第2引导部190进行引导，另一端231b以能够转动的方式连结于第2驱动组件；主动连杆232，其一端232a由第I引导部191进行引导，另一端232b以能够转动的方式连结于第I驱动组件；连杆233，其以能够转动的方式连结于连杆231的一端231a和主动连杆232的一端232a ;以及带齿传送带171 (参照图3等)，其分别与上述第I驱动组件以及上述第2驱动组件连接。在此，连杆231和主动连杆232构成平行连杆，连杆233和带齿传送带171构成平行连杆。并且，设为以下结构:在第2驱动组件与门保持构件12之间，设置用于在第2驱动组件在铅垂方向上移动的状态下使门保持构件12能够在第I方向X上移动的未图示的机构，门保持构件12采用以能够在第I方向X上移动的方式支承于第2驱动组件。
[0057]通过设为这样的具备平行连杆机构230的结构，在第I驱动组件、第2驱动组件以及各连杆231、232的一端231a、232a在铅垂方向上移动的情况下，能够使支承于第2驱动组件的门保持构件12在铅垂方向上顺利且稳定地移动。另外，在伴着驱动组件133和第2驱动组件的铅垂方向上的移动而各连杆231、232的一端231a、232a在水平方向上移动的情况下，各连杆231、232相对于第I驱动组件或第2驱动组件转动从而倾斜度变化，因此，这些驱动组件的位置不变。因此，能够使与连杆231的一端131d连结的门保持构件12以支承于第2驱动组件的状态在水平方向上移动，能够使门保持构件12在水平方向上顺利且稳定地移动。
[0058]另外，在上述结构中，连杆231和主动连杆232的另一端231b、232b彼此也可以不经由带齿传送带171连结而经由其他连杆连结。并且，连杆233不限于将连杆231的一端231a与主动连杆232的一端232a连结的结构，也可以为将这些连杆231、232的中央部连结的结构。
[0059]其他结构也能够在不脱离本发明的主旨的范围内进行各种变形。
【权利要求】
1.一种装载端口装置，其对能够收纳多个半导体晶圆的收纳容器进行支承，通过使该收纳容器的门从第I方向朝向与该第I方向不同的第2方向移动而打开上述收纳容器的上述门，通过使上述收纳容器的上述门从上述第2方向朝向上述第I方向移动而关闭上述收纳容器的上述门，其特征在于， 该装载端口装置包括: 门保持构件，其用于保持上述收纳容器的门； 连杆机构，其具有一端以能够转动的方式连结于该门保持构件的主动连杆； 引导部件，其从第I方向朝第2方向弯曲而延伸，并用于对上述主动连杆的一端进行引导； 往返移动部件，其至少具有一个驱动构件，上述主动连杆的另一端以能够转动的方式连结于该驱动构件，该往返移动部件用于使上述门保持构件能够往返移动； 主轴，其在第2方向上延伸，用于使上述驱动构件在该主轴的延伸方向上移动；以及 驱动部件，其用于使上述驱动构件沿着上述主轴进行驱动； 上述连杆机构构成为:在上述主动连杆的另一端在第2方向上移动的状态下，允许上述主动连杆的一端沿着上述引导部件从第I方向朝向第2方向移动或者从第2方向朝向第I方向移动。
2.根据权利要求1所述的装载端口装置，其特征在于， 上述往返移动部件还具有从动构件,该从动构件与上述驱动构件分离且由上述主轴支承为能够在第2方向上自由移动， 上述连杆机构还具有从动连杆，该从动连杆的一端以能够转动的方式连结于上述主动连杆，另一端以能够转动的方式连结于上述从动构件， 上述门保持构件以能够在第I方向上移动的方式支承于上述从动构件。
3.根据权利要求1所述的装载端口装置，其特征在于， 上述往返移动部件还具有第2驱动构件，该第2驱动构件由上述驱动部件驱动而能够沿着上述主轴在第2方向上移动， 上述引导部件具有相同形状的第I引导部和第2引导部， 上述连杆机构利用上述主动连杆和一端由第2引导部进行引导且另一端以能够转动的方式连结于上述第2驱动构件的连杆构成平行连杆， 上述门保持构件以能够朝向第I方向移动的方式支承于上述第2驱动构件。
4.根据权利要求1?3中任一项所述的装载端口装置，其特征在于， 上述连杆机构和引导部件构成紧固机构，该紧固机构在向着上述门的关闭而上述主动连杆的另一端在第2方向上移动且一端在第I方向上移动时发挥肘节作用。
5.根据权利要求4所述的装载端口装置，其特征在于， 上述第I方向是与收纳容器的门的安装面大致正交的方向。
6.根据权利要求5所述的装载端口装置，其特征在于， 该装载端口装置还具备板状的基体构件，该基体构件在一个面固定有上述引导构件和上述主轴， 在该基体构件中形成有在第2方向上延伸且供上述门保持构件贯穿的构件贯穿开口， 上述门保持构件经由该构件贯穿开口从上述基体构件的一个面侧向另一个面侧延伸，在上述一个面侧连结于上述主动连杆的一端，并且在上述另一个面侧保持上述门保持构件。
【文档编号】H01L21/677GK104167382SQ201410030705
【公开日】2014年11月26日 申请日期:2014年1月22日 优先权日:2013年5月16日
【发明者】船户学, 夏目光夫, 落合光敏 申请人:昕芙旎雅有限公司