液位测量装置及湿法刻蚀装置制造方法
【专利摘要】本实用新型提供了一种液位测量装置和湿法刻蚀装置。液位测量装置包括：浮子、磁感应线圈、马达、伸缩遮挡板、感光板以及多个激光传感器，其中：所述浮子具有磁性，可浮于液面；所述磁感应线圈连接到所述马达和所述伸缩遮挡板；所述马达用于带动所述磁感应线圈在一定高度范围内移动，当所述磁感应线圈中的感应电流达到设定阈值时停止运动；所述多个激光传感器位于不同的高度，且激光均水平出射，在无遮挡时能够到达所述感光板；所述伸缩遮挡板位于所述激光传感器与所述感光板之间，所述磁感应线圈移动时带动所述伸缩遮挡板上下移动。本实用新型能够克服现有液位测量的缺陷，并使得液位高度的测量更为直观和高效。
【专利说明】液位测量装置及湿法刻蚀装置
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及液晶显示的制造【技术领域】，具体涉及液位测量装置及湿法刻蚀装置。
【背景技术】
[0002]湿法刻蚀是在阵列基板上滴注化学试剂或试剂溶液，使没有被抗蚀剂掩蔽的那一部分薄膜表面与试剂发生化学反应而被除去。
[0003]现有的湿法刻蚀装置如图1所示，包括贮液容器(Tank) 12、液位传感器(LevelSensor) 15以及加热器(Heater) 11。其中，在贮液容器12 —共有九个液位传感器15。其中，液位传感器15用来检测贮液容器12中刻蚀液的液位高度。贮液容器12中例如共有九个液位传感器一LL、L、Ml、M2、M3、M4、M5、H、HH，分别对应不同的液位，如从低到高为:LL:100L、L:200L、Ml:400L、M2:600L、M3:750L、M4:900L、M5:1000L、H:1050L、HH:1100L (这里液位已经换算为液体体积，单位L代表升)。而液位传感器15的具体构造如图2所示，包括卡片16、浮子17、磁感应线圈2以及信号线13。卡片16为固定环，其作用就是防止浮子17脱落，浮子17为透明的PVC (聚氯乙烯)材质制成，里面有一小块磁铁，通过刻蚀液液面的上涨，对其产生了浮力，使其与线圈接触，根据其物理特性，就会产生磁感应电流，液位传感器15就可以通过信号线13给系统发送信号，从而测得刻蚀液的液面高度。
[0004]但是现有湿法刻蚀装置中的液位传感器，由于长时间的使用，使得卡片长时间被刻蚀液浸泡，从而被腐蚀，由于没有卡片的阻挡，浮子就会脱落，使得液位传感器不能正常工作，需要更换新的浮子和卡片，这样就影响了装置的使用效率。
实用新型内容
[0005](一)要解决的技术问题
[0006]本实用新型要解决的技术问题就是如何克服现有湿法刻蚀装置的液位传感器耐用性差的问题。
[0007](二)技术方案
[0008]为了解决上述技术问题，本实用新型提供了一种液位测量装置，该装置包括:浮子、磁感应线圈、马达、伸缩遮挡板、感光板以及多个激光传感器，其中:
[0009]所述浮子具有磁性，可浮于液面；
[0010]所述磁感应线圈连接到所述马达和所述伸缩遮挡板；
[0011]所述马达用于带动所述磁感应线圈在一定高度范围内移动，当所述磁感应线圈中的感应电流达到设定阈值时停止运动；
[0012]所述多个激光传感器位于不同的高度，且均水平出射激光，激光在无遮挡时能够到达所述感光板；
[0013]所述伸缩遮挡板位于所述激光传感器与所述感光板之间，所述磁感应线圈移动时带动所述伸缩遮挡板上下移动。[0014]其中，所述浮子由聚氯乙烯制成，里面包裹有磁铁。
[0015]其中，该装置还包括固定架，用于限定所述浮子在高度方向移动。
[0016]其中，所述马达通过丝杠与所述磁感应线圈相连。
[0017]其中，所述丝杠两端设有极限传感器，使得所述磁感应线圈在极限传感器之间移动。
[0018]优选地，所述磁感应线圈一端与固定滑轨相连，使得磁感应线圈顺着固定滑轨滑动。
[0019]优选地，该装置还包括挡板盒，所述伸缩遮挡板未伸展的部分卷缩在所述挡板盒中。
[0020]优选地，该装置还包括可编程控制器，用于对马达的运转进行控制。
[0021]一种湿法刻蚀装置，该装置包括:贮液容器和上述液位测量装置；所述液位测量装置的浮子浮于贮液容器的液面上，所述磁感应线圈在其高度与浮子相同时会感应到大于或等于设定阈值的电流。
[0022]其中，该湿法刻蚀装置还包括位于贮液容器中的加热器。
[0023](三)有益效果
[0024]本实用新型提供的液位测量装置将浮子置于容器之内，而磁感应线圈置于容器之夕卜，不需要使用卡片将浮子固定，提高了装置的耐用性，且只需使用一个浮子就可以完成测量，节约了装置的使用成本。同时装置利用激光传感器、伸缩遮挡板及感光板实现了液位的测量，使得液位的测量更为直观，高效。
【专利附图】
【附图说明】
[0025]为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0026]图1为现有湿法刻蚀装置的结构图；
[0027]图2为图1中使用的液位传感器的结构示意图；
[0028]图3为本实用新型实施例提供的液位测量装置及贮液容器的结构示意图。
【具体实施方式】
[0029]下面结合附图和实施例对本实用新型的实施方式作进一步详细描述。以下实施例仅用于说明本实用新型，但不能用来限制本实用新型的范围。
[0030]参见图3，本实用新型提供了一种液位测量装置，该传感器包括:浮子1、磁感应线圈2、马达3、伸缩遮挡板4、感光板5以及多个激光传感器6。
[0031]浮子I具有磁性，可浮于液面。浮子I例如由透明的PVC材料制成，里面包裹有磁铁。优选将浮子I穿设于固定架8上，从而只能在上下方向随液面移动。固定架8例如固定在容器内壁上。
[0032]马达3通过丝杠7与所述磁感应线圈2相连，则通过控制马达3的正转或反转使得磁感应线圈2上下移动，以寻找浮子I的位置。所述磁感应线圈2 —端与固定滑轨9相连，使得磁感应线圈2顺着固定滑轨9滑动，由于浮子I具有磁性，因此当磁感应线圈2达到与浮子I高度相同的位置时，会产生达到设定阈值的磁感应电流，通过信号线13传送到控制装置(图中未示出)，控制装置发出指令而使得马达I停止工作。
[0033]另外，丝杠7两端设有极限传感器10，一旦达到该位置则发出信号使马达停止转动或反向转动，使得磁感应线圈2在极限传感器10的高度之间移动。也可以不采用丝杠而采用其他传动器件与磁感应线圈2连接。
[0034]优选的，还设置有滑轨9，磁感应线圈2在滑轨9上滑动，滑轨9和丝杠7使得磁感应线圈2不发生倾斜或在水平方向移位。
[0035]多个激光传感器6位于不同的高度，如图3所示，不同高度处的激光传感器6分别对应LL、L、Ml、M2、M3、M4、M5、H、HH等9个高度。且激光传感器6的激光均水平出射，在无遮挡时能到达感光板5 ;伸缩遮挡板4位于激光传感器6与感光板5之间。伸缩遮挡板4与磁感应线圈2相连，则磁感应线圈2上下移动时会带动伸缩遮挡板4运动，且由于伸缩遮挡板4位于激光传感器6与感光板5之间，则当伸缩遮挡板4上下移动时，容器内液位对应高度以下的感光板5被伸缩遮挡板4遮挡而无法接收激光传感器6发出的激光，容器内液位对应高度以上的感光板5则能够接收激光传感器6发出的激光，那么没有接收到感光板5反射回激光的最上位置的激光传感器6处的高度即容器内液位的高度，由此能够测量出容器内液位的高度或对应的液体体积。
[0036]优选的，还设置有挡板盒14，所述伸缩遮挡板4未伸展的部分卷缩在所述挡板盒14中。挡板盒14的结构和卷缩伸缩遮挡板原理与卷尺类似，在此不再赘述。，
[0037]液位测量装置的控制装置例如为可编程逻辑控制器(PLC，图中未示出)，用于控制马达的转动，可编程逻辑控制器还可分析多个激光传感器6发送过来的数据，将没有接收到激光的感光板5的最上位置的激光传感器6处的高度确定为容器内液位的高度。
[0038]由以上说明可知，本实用新型实施例中的液位测量装置将浮子置于容器之内，而磁感应线圈置于容器之外，不需要使用卡片将浮子固定，提高了装置的耐用性，且只需使用一个浮子就可以完成测量，节约了装置的使用成本。同时该装置利用激光传感器、伸缩遮挡板及感光板实现了液位的测量，使得液位刻度的测量更为直观，高效。
[0039]本实用新型还提供一种湿法刻蚀装置，图3示出了该装置包括的液位测量装置和贮液容器，该装置包括:上述的液位测量装置和贮液容器12。液位测量装置的浮子I位于贮液容器12之中，且浮子I通过固定架8固定使其紧贴于贮液容器12的内壁，磁感应线圈2则位于与浮子I对应的贮液容器12的外壁处，通过马达3的转动使得磁感应线圈2移动，从而寻找浮子I的位置。该装置还可包括加热器11，用于将刻蚀液体加热到合适的温度。
[0040]以上实施例仅用于说明本实用新型，而非对本实用新型的限制。尽管参照实施例对本实用新型进行了详细说明，本领域的普通技术人员应当理解，对本实用新型的技术方案进行各种组合、修改或者等同替换，都不脱离本实用新型技术方案的精神和范围，其均应涵盖在本实用新型的权利要求和范围当中。
【权利要求】
1.一种液位测量装置，其特征在于，该装置包括:浮子、磁感应线圈、马达、伸缩遮挡板、感光板以及多个激光传感器，其中: 所述浮子具有磁性，可浮于液面； 所述磁感应线圈连接到所述马达和所述伸缩遮挡板； 所述马达用于带动所述磁感应线圈在一定高度范围内移动，当所述磁感应线圈中的感应电流达到设定阈值时停止运动； 所述多个激光传感器位于不同的高度，且均水平出射激光，激光在无遮挡时能够到达所述感光板； 所述伸缩遮挡板位于所述激光传感器与所述感光板之间，所述磁感应线圈移动时带动所述伸缩遮挡板上下移动。
2.根据权利要求1所述的液位测量装置，其特征在于，所述浮子由聚氯乙烯制成，里面包裹有磁铁。
3.根据权利要求1所述的液位测量装置，其特征在于，还包括固定架，用于限定所述浮子在高度方向移动。
4.根据权利要求1所述的液位测量装置，其特征在于，所述马达通过丝杠与所述磁感应线圈相连。
5.根据权利要求4所述的液位测量装置，其特征在于，所述丝杠两端设有极限传感器，使得所述磁感应线圈在极限传感器之间移动。
6.根据权利要求1所述的液位测量装置，其特征在于，所述磁感应线圈一端与固定滑轨相连，使得磁感应线圈顺着固定滑轨滑动。
7.根据权利要求1所述的液位测量装置，其特征在于，还包括挡板盒，所述伸缩遮挡板未伸展的部分卷缩在所述挡板盒中。
8.根据权利要求1-7任一项所述的液位测量装置，其特征在于，还包括可编程控制器，用于对马达的运转进行控制。
9.一种湿法刻蚀装置，其特征在于，该装置包括:贮液容器和权利要求1-8任一项所述的液位测量装置；所述液位测量装置的浮子浮于贮液容器的液面上，所述磁感应线圈在其高度与浮子相同时会感应到大于或等于设定阈值的电流。
10.根据权利要求9所述的湿法刻蚀装置，其特征在于，还包括位于贮液容器中的加热器。
【文档编号】H01L21/67GK203732136SQ201420134051
【公开日】2014年7月23日 申请日期:2014年3月24日 优先权日:2014年3月24日
【发明者】孙文昌 申请人:北京京东方光电科技有限公司, 京东方科技集团股份有限公司