技术总结
本发明涉及制造选择性掺杂光伏电池的方法，包括：提供掺杂第一导电型的半导体衬底；在衬底中形成具有第一浓度掺杂元素的第一掺杂区域；通过将掺杂元素离子注入到衬底中，形成最大尺寸小于一毫米的至少一组对准图案以及与第一区域相邻的第二区域，第二区域具有浓度大于第一浓度的第二浓度的掺杂元素；对衬底进行热处理，从而激活掺杂元素并在对准图案、第一区域和第二区域的上方的衬底表面上形成氧化层，第二浓度和热处理条件为使得位于对准图案上方的氧化层的厚度比位于和对准图案相邻的衬底区域上方的氧化层的厚度大至少10nm；在氧化层上沉积抗反射层；通过丝网将电极沉积到抗反射层上，电极与第二区域相对，丝网利用对准图案相对于衬底定位。
技术研发人员：杰罗姆·勒波彻;雷米·蒙纳
受保护的技术使用者：法国原子能及替代能源委员会
文档号码：201580016243
技术研发日：2015.03.05
技术公布日：2016.11.16