技术总结
本发明提供一种不必基于感觉或经验设定处理条件就能够避免窗部件的损坏的等离子体处理装置，其控制装置(100)接收衬底(G)的等离子体处理的处理方案的输入，基于按该处理方案反复执行等离子体处理而使窗部件(22)的温度成为平衡状态时的在窗部件(22)设定的多个温度预测点的预测到达温度之差，判断配置在处理空间(S)与电感耦合天线(50)之间的窗部件(22)的电介质是否发生损坏，在判断窗部件(22)发生损坏的情况下不将处理方案登记到存储部(102)，在判断窗部件(22)没有发生损坏的情况下将处理方案登记到存储部(102)，根据存储于存储部(102)的处理方案执行衬底(G)的等离子体处理。
技术研发人员：佐藤亮;佐佐木芳彦;东条利洋
受保护的技术使用者：东京毅力科创株式会社
文档号码：201610408989
技术研发日：2016.06.12
技术公布日：2016.12.21