带有多个卡位装置的晶圆夹持装置的制作方法

本发明涉及集成电路制造领域，具体涉及一种带有多个卡位装置的晶圆夹持装置。

背景技术：

在集成电路制造的过程中，需要将晶圆在各个生产线上移动，晶圆的移动一般是依靠夹持工具完成，现有的夹持工具，存在操作复杂，夹持过程中如果夹持较松，则晶圆容易掉落，如果夹持较紧，则容易造成晶圆断裂、损坏等现象，造成生产成本加大。

技术实现要素：

针对现有技术的不足，本发明公开了一种带有多个卡位装置的晶圆夹持装置。

本发明的技术方案如下：

一种带有多个卡位装置的晶圆夹持装置，包括主体板；所述主体板的边缘设置有多个等间距的凹槽；所述凹槽之内安装有倒置的凸字形固定块；所述凸字形固定块的凸出部分嵌入所述凹槽之中，其余部分卡在所述主体板的上表面；还包括水滴形的卡具；卡具的上部通过旋转轴安装在凸字形固定块的凸出部分；卡具内侧开有三角形的开口；主体板的上表面中间固定有移动臂。

本发明的有益技术效果是：

本发明中，晶圆边缘是卡在一个三角形的凹槽中，夹持过程中，夹具并不直接接触晶圆的上下表面，对晶圆的损伤较小。且由于晶圆卡在夹具的多个三角形凹槽中，即使夹持力度较小，也不会滑落，增加了夹持的安全度。

附图说明

图1是本发明的立体图。

图2是本发明的侧视图。

具体实施方式

图1是本发明的立体图。图2是本发明的侧视图。如图1、图2所示，本发明包括主体板1。主体板1的边缘设置有多个等间距的凹槽2。凹槽2之内安装有倒置的凸字形固定块3。凸字形固定块3的凸出部分嵌入凹槽2之中，其余部分卡在主体板1的上表面。还包括水滴形的卡具4。卡具4的上部通过旋转轴6安装在凸字形固定块3的凸出部分。卡具4内侧开有三角形的开口5。主体板1的上表面中间固定有移动臂7。

移动臂7固定在可控制本发明在生产线之间移动的装置上。每个卡具4的旋转都由单独的一个电机进行控制。则当有晶圆需要被移动时，通过控制移动臂7，将本发明移动至晶圆所在位置，并控制卡具4均绕旋转轴6向远离主体板1圆心的方向旋转，之后将主体板向下移动至合适位置，再同时控制卡具4绕旋转轴6向靠近主体板1圆心的方向旋转，并使得晶圆的侧边恰好卡在开口5之中，之后再操控移动臂7，将晶圆移动至所需地方，之后再次控制卡具，释放晶圆，完成移动过程。

以上所述的仅是本发明的优选实施方式，本发明不限于以上实施例。可以理解，本领域技术人员在不脱离本发明的精神和构思的前提下直接导出或联想到的其他改进和变化，均应认为包含在本发明的保护范围之内。