1.一种用于离子束刻蚀机的工件台，包括扫描小车（1）、装设于扫描小车（1）上的基片台（2）及装设于基片台（2）上的基片盘（3），所述基片盘（3）上设有多个基片定位区（31），其特征在于：所述基片台（2）上开设有冷却气体进口（21）且上表面设有输气槽（22），各基片定位区（31）开设有冷却气体出口（32），所述冷却气体进口（21）和所述冷却气体出口（32）分别与所述输气槽（22）连通。
2.根据权利要求1所述的用于离子束刻蚀机的工件台，其特征在于：多个所述基片定位区（31）呈矩阵式分布，所述冷却气体出口（32）位于所述基片定位区（31）的中心，所述输气槽（22）包括沿纵向布置的主输气槽（221）和多条沿横向布置的副输气槽（222），所述主输气槽（221）与所述副输气槽（222）贯通，所述冷却气体进口（21）与所述主输气槽（221）连通。
3.根据权利要求1所述的用于离子束刻蚀机的工件台，其特征在于：所述基片台（2）内部设有多圈同心布置的水冷槽（23），所述基片台（2）下表面设有进水口（24）和出水口（25），所述进水口（24）和所述出水口（25）均与所述水冷槽（23）连通。
4.根据权利要求1或2或3所述的用于离子束刻蚀机的工件台，其特征在于：所述基片台（2）上表面还设有测温热偶槽（26），所述测温热偶槽（26）内装设有测温热偶。
5.根据权利要求1或2或3所述的用于离子束刻蚀机的工件台，其特征在于：所述基片定位区（31）设有基片沉台（34），基片沉台（34）相对的两侧设有用于夹持基片的凹槽（35）。
6.根据权利要求1所述的用于离子束刻蚀机的工件台，其特征在于：还包括测束装置（4），所述测束装置（4）包括测束安装板（41）、多个测束法拉第杯（42）及与测束法拉第杯（42）一一对应设置的抑制电极板（43），多个测束法拉第杯（42）沿所述测束安装板（41）长度方向均匀布置，所述测束法拉第杯（42）设于所述测束法拉第杯（42）与所述测束安装板（41）之间。
7.根据权利要求6所述的用于离子束刻蚀机的工件台，其特征在于：所述测束法拉第杯（42）外周设有第一绝缘件（44），所述抑制电极板（43）外周设有第二绝缘件（45），所述抑制电极板（43）与所述测束安装板（41）之间设有第三绝缘件（46），所述第一绝缘件（44）、第二绝缘件（45）、第三绝缘件（46）及测束安装板（41）之间通过紧固件固定连接。
8.根据权利要求1、2、3、或7所述的用于离子束刻蚀机的工件台，其特征在于：还包括角度调节组件（5），所述角度调节组件（5）包括设于基片台（2）上的转轴座（51）和设于扫描小车（1）上的支撑轴（52），所述转轴座（51）与所述支撑轴（52）转动连接，所述角度固定板（11）通过紧固件与所述基片台（2）连接且连接处设有圆弧通孔（111）。
9.根据权利要求8所述的用于离子束刻蚀机的工件台，其特征在于：还包括角度指示组件（6），所述角度指示组件（6）包括角度指针（61）和角度刻度板（62），所述角度指针（61）和角度刻度板（62）分别设于扫描小车（1）和基片台（2）上。