技术总结
本发明公开了一种用于离子束刻蚀机的工件台，包括扫描小车、装设于扫描小车上的基片台及装设于基片台上的基片盘，所述基片盘上设有多个基片定位区，所述基片台上开设有冷却气体进口且上表面设有输气槽，各基片定位区开设有冷却气体出口，所述冷却气体进口和所述冷却气体出口分别与所述输气槽连通。本发明具有结构简单、冷却效果好、产品合格率高等优点。
技术研发人员：佘鹏程;龚俊;彭立波;毛朝斌
受保护的技术使用者：中国电子科技集团公司第四十八研究所
文档号码：201610967437
技术研发日：2016.10.31
技术公布日：2017.03.22