技术总结
本发明提供了一种应用于热处理设备晶圆传输调度的方法，其包括：生成工艺过程所需的晶圆序列映射；根据热处理设备各模块的状态，在优先保证本次任务调度的及时响应的前提下，生成模块优先使用的次序序列；根据所述的模块优先使用的次序序列，仓储机械手模块执行将所述晶圆承载器从缓冲仓储模块传输到内部装载台模块，并且，根据晶圆序列映射，进行晶圆从源晶圆承载器至晶舟晶圆载体模块的装载；晶圆完成工艺后，晶圆机械手模块将晶圆返回至源晶圆承载器。因此，本发明采用了实时软件系统开发控制软件，保证信号传输的实时调度处理并提高了设备控制系统的可靠性。
技术研发人员：刘建涛;钟结实;黄扬君;周法福
受保护的技术使用者：北京七星华创电子股份有限公司
文档号码：201610972333
技术研发日：2016.10.28
技术公布日：2017.01.25