晶圆及其制备方法与流程

文档序号:12129277阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种晶圆,其特征在于:包括多个结构相同的晶粒(2),每个晶粒(2)包括底部的N型衬底(8)、N型衬底(8)上方的氧化层(7)、氧化层(7)上方的超结元胞结构,超结元胞结构包括P型掺杂区(3)与N型掺杂区(4),两种掺杂区中至少一种划分为多个子区域,同种掺杂类型的相邻子区域被另一种类型的掺杂区分隔开。

2.根据权利要求1所述的晶圆,其特征在于:P型掺杂区(3)划分为P型子区域(31、32、…、3n、…),N型掺杂区(4)划分为N型子区域(41、42、…、4n、…),两种掺杂类型的子区域交替排列成一行。

3.根据权利要求1所述的晶圆,其特征在于:P型掺杂区(3)划分为P型子区域(31、32、…、3n、…),各P型子区域按多行多列排列,相邻的各P型子区域被N型掺杂区(4)分隔开。

4.根据权利要求1所述的晶圆,其特征在于:N型掺杂区(4)划分为N型子区域(41、42、…、4n、…),各N型子区域按多行多列排列,相邻的各N型子区域被P型掺杂区(3)分隔开。

5.根据权利要求1所述的晶圆,其特征在于:所述各子区域为条形或方形或六边形或圆形或三角形。

6.根据权利要求1至5任意一项所述晶圆的制备方法,其特征在于包括以下步骤:

(1)采用N型硅片作材料A,采用P型硅片作材料B;

(2)材料A正面注入氧离子,材料B正面注入氢离子;

(3)材料A按图形刻槽,材料B按相反的图形刻槽;

(4)形成槽的材料B与形成槽的材料A对接,合成一块半导体C;

(5)材料B底部剥离,重复利用;

(6)晶圆表面处理。

7.根据权利要求6所述的制备方法,其特征在于:材料A的刻槽深度与材料B的刻槽深度相同。

8.根据权利要求6所述的制备方法,其特征在于:材料A的刻槽深度小于注入氧离子深度,材料B的刻槽深度小于注入氢离子深度。

9.根据权利要求6所述的制备方法,其特征在于:材料A、材料B分别采用正性胶和负性胶,使用统一掩模板。

10.根据权利要求6所述的制备方法,其特征在于:在步骤(5)和步骤(6)之间还包括步骤:

(5.1)半导体C表面处理;

(5.2)材料B表面注入氢离子;

(5.3)材料B按图形刻槽,半导体C按相反的图形刻槽;

(5.4)半导体C与形成槽的材料B对接,合成一块半导体C′;

(5.5)材料B底部剥离,重复利用;如果P型子区域、N型子区域的深度达到要求就进入步骤(6),否则就转到步骤(5.1)。

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