一种基于纳米ZnO‑rGO复合材料的光电导型紫外探测器及其制备方法与流程

文档序号:13865512阅读:来源:国知局
技术总结
本发明公开了一种基于纳米ZnO‑rGO复合材料的光电导型紫外探测器,该紫外探测器依次有低阻Si层、SiO2绝缘层、纳米ZnO‑rGO旋涂层和Al电极。其制备方法如下:先采用溶剂热法制备ZnO纳米颗粒,用APTES对ZnO纳米颗粒进行表面改性,再用水热法制备ZnO‑rGO复合物,然后将复合物溶液旋涂在Si/SiO2的SiO2面上,再在旋凃层表面镀上Al电极获得紫外探测器。相比基于纳米ZnO的紫外探测器,本发明的紫外探测器暗电流低,光电流、响应度、灵敏度都得到较大提升,且该方法制备的器件结构简单、方法简单易行、成本低、适合大面积制备,在军事、民用以及一些特殊领域有重要的应用价值和良好的应用前景。

技术研发人员:潘新花;陆乔琦;王伟豪;叶志镇
受保护的技术使用者:浙江大学
文档号码:201611046887
技术研发日:2016.11.23
技术公布日:2018.03.06

当前第3页1 2 3 
网友询问留言 已有0条留言
  • 还没有人留言评论。精彩留言会获得点赞!
1