一种有机电致发光显示面板及其制备方法与流程

文档序号:12129561阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种有机电致发光显示面板,其特征在于,包括:

基板;

薄膜晶体管层,位于所述基板上,包括源电极层、漏电极层和栅电极层;

平坦化层,位于所述薄膜晶体管层上,具有贯穿所述平坦化层的第一过孔;

绝缘层,位于所述平坦化层上,具有贯穿所述绝缘层且与所述第一过孔对应的第二过孔;

阳极层,位于所述绝缘层上,包括依次层叠于所述绝缘层上的金属反射层和透明导电氧化物层,所述阳极层通过所述第一过孔和所述第二过孔与所述薄膜晶体管的漏电极层电性连接;

发光层,位于所述阳极层上;

阴极层,位于所述发光层上。

2.根据权利要求1所述的有机电致发光显示面板,其特征在于,所述金属反射层为银金属层或银合金金属层。

3.根据权利要求1所述的有机电致发光显示面板,其特征在于,所述透明导电氧化物层为氧化铟锡层。

4.根据权利要求1所述的有机电致发光显示面板,其特征在于,所述漏电极层包括依次层叠的第一钛金属层、铝金属层和第二钛金属层。

5.根据权利要求1所述的有机电致发光显示面板,其特征在于,所述绝缘层为无机绝缘层。

6.根据权利要求5所述的有机电致发光显示面板,其特征在于,所述绝缘层为氮化硅层。

7.根据权利要求1所述的有机电致发光显示面板,其特征在于,所述绝缘层覆盖所述平坦化层的位于所述第一过孔中的侧壁。

8.根据权利要求1至7任意一项所述的有机电致发光显示面板,其特征在于,所述基板为柔性基板。

9.根据权利要求8所述的有机电致发光显示面板,其特征在于,所述有机电致发光显示面板还包括位于所述阴极层上的薄膜封装层。

10.一种有机电致发光显示面板的制备方法,其特征在于,包括以下步骤:

提供一基板;

在所述基板上形成薄膜晶体管层,包括源电极层、漏电极层和栅电极层;

在所述薄膜晶体管层上形成平坦化层,在所述平坦化层上形成贯穿所述平坦化层的第一过孔;

在所述平坦化层上形成绝缘层,在所述绝缘层上形成贯穿所述绝缘层且与所述第一过孔对应的第二过孔;

在所述绝缘层上形成阳极层,包括依次层叠于所述绝缘层上的金属反射层和透明导电氧化物层,所述阳极层通过所述第一过孔和所述第二过孔与所述薄膜晶体管的漏电极层电性连接;

在所述阳极层上形成发光层;

在所述发光层上形成阴极层。

11.根据权利要求10所述的制备方法,其特征在于,所述第二过孔通过干法刻蚀工艺形成。

12.根据权利要求11所述的制备方法,其特征在于,所述干法刻蚀工艺为等离子刻蚀工艺。

当前第2页1 2 3 
网友询问留言 已有0条留言
  • 还没有人留言评论。精彩留言会获得点赞!
1