1.一种平板型静电卡盘装置，其特征在于，包括金属底座和位于所述金属底座上的聚酰亚胺静电膜，所述聚酰亚胺静电膜包括聚酰亚胺膜和与所述聚酰亚胺膜贴合的导电体，所述导电体为金属箔，所述金属箔的正负两极相互交错且不连通。
2.根据权利要求1所述的平板型静电卡盘装置，其特征在于，所述聚酰亚胺膜和导电体为一体化结构，所述导电体与聚酰亚胺膜通过覆膜机进行贴合。
3.根据权利要求2所述的平板型静电卡盘装置，其特征在于，所述聚酰亚胺膜和导电体通过热压机进行集成。
4.根据权利要求1所述的平板型静电卡盘装置，其特征在于，所述金属底座上设置有用于线缆走线的沟槽。
5.根据权利要求1至4中任一所述的平板型静电卡盘装置，其特征在于，所述金属箔为铜箔或钢箔。
6.根据权利要求1至4中任一所述的平板型静电卡盘装置，其特征在于，所述金属底座内设置有加强筋。
7.根据权利要求5所述的平板型静电卡盘装置，其特征在于，所述聚酰亚胺静电膜与所述金属底座通过粘贴进行集成。