技术总结
本实用新型公开了一种平板型静电卡盘装置，属于超薄板件材料的加工辅助夹持设备技术领域，所述平板型静电卡盘装置包括金属底座和位于所述金属底座上的聚酰亚胺静电膜，所述聚酰亚胺静电膜包括聚酰亚胺膜和与所述聚酰亚胺膜贴合的导电体，所述导电体为金属箔，所述金属箔的正负两极相互交错且不连通。本实用新型的平板型静电卡盘装置不仅吸附力均匀，可以将工件稳定的固定住，而且操作简便。
技术研发人员：朱煜;徐登峰;韩玮琦;成荣;许岩;杨鹏远;雷忠兴;王建冲;唐娜娜;侯占杰
受保护的技术使用者：北京华卓精科科技股份有限公司
文档号码：201620610733
技术研发日：2016.06.20
技术公布日：2016.12.28