红外线传感器高真空封装结构的制作方法

文档序号:12196661阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种红外线传感器高真空封装结构,其特征在于,包括:

一基座,其上具有一腔体及多个导电部,该多个导电部一端延伸于该腔体内并形成焊点;

一红外线感测芯片,以固接于该腔体内,该红外线感测芯片上具有一红外线的晶圆,该晶圆电性连接到一电路板上,该电路板上具有多个导电接点;

多条金属导线,以电性连接于多个该焊点及该多个导电接点上;

一金属上盖,固接于该基座的腔体中,该金属上盖上具有一凸起部,该凸起部具有一窗口;

一光学透视窗,固接于该窗口中,该光学透视窗上具有一第一表面及一第二表面;

一吸气剂,设于该光学透视窗的第二表面上;

其中,该基座与该金属上盖固接后,使该吸气剂封接于该基体与该金属上盖所形成的腔体中。

2.根据权利要求1所述的红外线传感器高真空封装结构,其特征在于,其中,该基座的腔体内具有一凸垣部。

3.根据权利要求2所述的红外线传感器高真空封装结构,其特征在于,其中,还包括一焊料片,该焊料片设于该凸垣部上。

4.根据权利要求3所述的红外线传感器高真空封装结构,其特征在于,其中,该凸起部为中空状,其外侧延伸有一接合部,该接合部与该焊料片固接,该凸起部内侧延伸有一承载部,该承载部上接合该焊料片,以固接该光学透视窗。

5.根据权利要求1所述的红外线传感器高真空封装结构,其特征在于,其中,该第二表面上设有一光罩层。

6.根据权利要求1所述的红外线传感器高真空封装结构,其特征在于,其中,该光学透视窗能够使8μm-14μm的远红外线波长穿过的锗晶圆。

7.根据权利要求1所述的红外线传感器高真空封装结构,其特征在于,其中,该基座的材料为塑料或陶瓷,该基座的该多个导电部为有引脚的接脚,该多个导电部设于该基座二侧并形成相对应状态的双列式封装结构,或该多个接脚设于该基座的四边。

8.根据权利要求1所述的红外线传感器高真空封装结构,其特征在于,其中,该基座的材料为塑料或陶瓷,该基座为无引脚的基座,该多个导电部设于该基座的四边。

9.根据权利要求1所述的红外线传感器高真空封装结构,其特征在于,其中,该吸气剂配置于该金属上盖的背面。

10.根据权利要求9所述的红外线传感器高真空封装结构,其特征在于,其中,该吸气剂配置于该金属上盖的凸起部内部。

当前第2页1 2 3 
网友询问留言 已有0条留言
  • 还没有人留言评论。精彩留言会获得点赞!
1