红外线传感器高真空封装结构的制作方法

文档序号:12196661阅读:来源:国知局
技术总结
本实用新型公开一种红外线传感器高真空封装结构,包括一基座、一红外线感测芯片、一金属上盖、一光学透视窗、一吸气剂及多条金属导线。该基座具有一腔体及多个导电部,该多个导电部延伸于腔体内形成焊点。红外线感测芯片固接于腔体内,其上具有一晶圆,该晶圆电连接到电路板上,该电路板具有多个导电接点。该多个金属导线电连接该多个焊点及导电接点。该金属上盖固接基座的腔体中,其上具有一窗口。该光学透视窗固接于该窗口中。该吸气剂设于该光学透视窗的第二表面上。本实用新型使红外线传感器体积缩小可朝微型化设计,使封装制程工艺减少,以降减少零件的产生及基座的污染,提高封装的泄漏率与使用年限,降低制作成本。

技术研发人员:王志鑫;周雪峰;林明芳;方豫龙
受保护的技术使用者:菱光科技股份有限公司
文档号码:201620860487
技术研发日:2016.08.10
技术公布日:2017.03.15

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