技术总结
本实用新型公开了一种硅片承载篮翻转装置，包括机架，所述机架上水平固定一导向齿条，所述导向齿条上设置有两个机械手，两个所述机械手之间设置有一翻转机构，所述翻转机构包括翻转架、底座、连接翻转架和底座的水平转轴以及驱动所述水平转轴转动的驱动件，所述翻转架上设置有用于夹紧承载篮的夹紧组件。其能够对硅片承载篮实现平稳的翻转。
技术研发人员：马胜南;轩云喜
受保护的技术使用者：北京南轩兴达电子科技有限公司
文档号码：201621197495
技术研发日：2016.10.28
技术公布日：2017.05.17