一种太阳能电池扩散用双孔型石英舟及配套用舟叉的制作方法

文档序号:11707508阅读:734来源:国知局
一种太阳能电池扩散用双孔型石英舟及配套用舟叉的制作方法与工艺

本实用新型涉及到一种太阳能电池制造设备,尤其涉及到一种使用寿命较长的太阳能电池扩散用双孔型石英舟及配套用舟叉。



背景技术:

目前的太阳能电池扩散过程主要采用管式扩散,扩散时先将硅片插入到石英舟内,再将石英舟送至管式扩散炉中进行扩散加工,扩散时由扩散炉的进气口通入工艺气体,扩散材料随气流飘散到待扩散的硅片周围,扩散材料经过相应的化学反应形成掺杂源并进入到硅片中,形成掺杂,如图1和图2所示,现有石英舟在两端各有一个小孔,如需移动石英舟时,操作人员将单脚型舟叉插入两端并抬起石英舟,放到炉管舟桨上,进入炉管,但是由于石英舟两端仅各有一个石英小孔,而石英舟上有200枚到300枚硅片,在移动石英舟时由于重量较重,容易损坏石英舟小孔,导致石英舟倾斜或翻转,影响硅片的加工质量,严重时甚至造成石英舟报废,同时,也增加了产品的生产成本。



技术实现要素:

本实用新型主要解决现有石英舟抬升用小孔容易损坏、导致石英舟破损或报废的技术问题;提供了一种使用寿命较长的太阳能电池扩散用双孔型石英舟及配套用舟叉。

为了解决上述存在的技术问题,本实用新型主要是采用下述技术方案:

本实用新型的一种太阳能电池扩散用双孔型石英舟,所述石英舟呈长方体,由设在两端部且相互平行的端面框及垂直连接所述端面框且相互平行的横梁组成,所述横梁上设有用于放置硅片的多个卡槽,所述端面框顶部纵梁的两端分别固设有第一石英环,所述第一石英环的平面垂直于所述纵梁轴线,端面框的两侧立柱上分别固设有第二石英环,所述第二石英环的平面与所述立柱的轴线平行,第二石英环与同端的第一石英环的平面位于同一平面内,第二石英环的内径与第一石英环的内径相同,在石英舟的端面框端部分别增加一个石英环,多个石英环使石英舟的抬升受力均匀且分散,挪动石英舟时更稳固和可靠,同时也不会因为某个石英环的损坏而导致整个石英舟的报废,提高了石英舟的使用寿命。

作为优选,所述第二石英环固设于所述端面框立柱的外侧,第二石英环设在立柱外侧,不会减少石英舟内侧的硅片放置数量,当然如果对数量不是很敏感的话,也可以将第二石英环固置在立柱内侧。

一种配套用舟叉,用于如上所述的双孔型石英舟,所述舟叉前端分开呈双脚状结构,舟叉的双脚相互平行,双脚的间距与双孔型石英舟上的第一石英环环心和第二石英环环心的间距相同,双脚型舟叉的脚部受力分散,配合双孔型石英舟,减少了石英舟的磨损及舟叉的损伤。

本实用新型的有益效果是:在石英舟的端面框端部分别增加一个石英环,多个石英环使石英舟的抬升受力均匀且分散,挪动石英舟时更稳固和可靠,同时也不会因为某个石英环的损坏而导致整个石英舟的报废,提高了石英舟的使用寿命,配套用的舟叉采用双脚型结构,受力分散,配合双孔型石英舟,也相应减少了石英舟的磨损。

附图说明

图1是现有技术的石英舟结构示意图。

图2是现有技术的舟叉结构示意图。

图3是本实用新型的双孔型石英舟结构示意图。

图4是本实用新型的双脚型舟叉结构示意图。

图中1.端面框,2.横梁,3.第一石英环,4.第二石英环,5.舟叉。

具体实施方式

下面通过实施例,并结合附图,对本实用新型的技术方案作进一步具体的说明。

实施例:本实施例的一种太阳能电池扩散用双孔型石英舟及配套用舟叉,如图3所示,石英舟呈长方体,由设在两端部且相互平行的端面框1及垂直连接所述端面框且相互平行的横梁2组成,横梁上设计有用于放置硅片的多个卡槽,端面框顶部纵梁的两端分别固设有第一石英环3,第一石英环的平面垂直于纵梁轴线,端面框的两侧立柱的外侧分别固设有第二石英环4,第二石英环的平面与立柱的轴线平行,第二石英环与同端的第一石英环的平面位于同一平面内,且第二石英环的内径与第一石英环的内径相同。

如图4所示,与上述双孔型石英舟配套用的舟叉5,其前端分开呈双脚状结构,双脚相互平行,双脚的间距与双孔型石英舟上的第一石英环环心和第二石英环环心的间距相同。

使用时,操作人员将双脚型舟叉插入相应的石英环内,抬起石英舟并挪动石英舟,可稳固地将石英舟放置在舟枕上并送入扩散炉内进行扩散作业,由于双孔型结构,使得承载硅片的石英舟的重量分散,保护了石英环,有效提升了石英舟和舟叉的使用寿命。

在本实用新型的描述中,技术术语“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“纵”、“横”、“内”、“外”等表示方向或位置关系是基于附图所示的方向或位置关系,仅是为了便于描述和理解本实用新型的技术方案,以上说明并非对本实用新型作了限制,本实用新型也不仅限于上述说明的举例,本技术领域的普通技术人员在本实用新型的实质范围内所做出的变化、改型、增添或替换,都应视为本实用新型的保护范围。

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