双极型高反压功率晶体管的制作方法

文档序号:11726981阅读:来源:国知局
技术总结
本实用新型涉及一种双极型高反压功率晶体管,低掺杂N型硅的集电区上设有高掺杂P型硅的基区,基区上设有高掺杂N型硅的发射区,所述发射区为若干等距离间隔排列的柱状发射区,每个所述柱状发射区上设有孔,发射区引线由发射极金属化电极条连接至发射极电极;每个柱状发射区四角基区上设有孔,基极引线由基极金属化电极条连接至基极电极;基极金属化电极条和发射极金属化电极条之间通过绝缘槽分隔开;其特征在于,所述集电区上,基区外围处设有保护环结构,所述集电区、保护环、发射区、基区上设有石墨烯层;所述石墨烯层、发射区、基区上沉积阳极金属;集电区背面沉积阴极金属。本实用新型的高反压功率晶体管VCBO、VCEO高,集电极管耗小。

技术研发人员:崔峰敏
受保护的技术使用者:傲迪特半导体(南京)有限公司
文档号码:201621467545
技术研发日:2016.12.29
技术公布日:2017.07.14

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