吹净装置、吹净储料器、以及吹净方法与流程

本发明涉及吹净装置、吹净储料器、以及吹净方法。

背景技术：

吹净储料器对收容晶圆、标线片(reticule)等各种物品的容器进行保管。该容器为foup、smifpod、标线片pod等。吹净储料器在保管时利用吹净装置向容器内填充清洁干燥空气或者氮气等吹净气体，抑制收容物的污染或者氧化等(例如，参照专利文献1)。关于上述容器，虽然以往存在标准化的规格，但是材质、密封构造、吹净气体的导入口的位置等并未被规定，因而根据容器的种类而不同。例如，与吹净装置的种类对应地使用专用的容器。近年来，容器与吹净装置的接口(例，吹净气体的供给口的位置)的一部分的规格化进一步被推进，能够利用一种吹净装置对多种容器进行吹净的事例正在增加。

专利文献1：日本特开2010-182747号公报

然而，吹净特性因容器的种类而不同，存在难以适当地进行吹净的情况。例如，在多种容器中最佳的气体流量不同的情况下，若将吹净气体的供给量与最佳流量较小的容器进行配合，则在最佳流量较大的容器中吹净气体不足，吹净的效果变得不充分。可是，若将吹净气体的供给量与最佳流量较大的容器进行配合，则在最佳流量较小的容器中吹净气体过剩，导致吹净气体的浪费增加。此外，存在产生容器的密封性能的恶化或者导入口的过滤器等损伤的担忧等不良情况。

技术实现要素：

本发明是鉴于上述情况而完成的，其目的为，提供能够与容器的种类对应而适当地进行吹净的吹净装置、吹净储料器、以及吹净方法。

本发明的吹净装置具备：种类检测部，其对吹净对象的容器的种类进行检测；以及吹净控制部，其基于种类检测部的检测结果来决定相对于容器的吹净条件。

另外，吹净装置也可以具备状态检测部，其对容器的吹净状态进行检测，种类检测部基于状态检测部的检测结果来对容器的种类进行检测。另外，吹净装置也可以具备流量控制装置，其对连接于容器的配管中的吹净气体的流量进行控制，状态检测部检测配管中的吹净气体的压力作为吹净状态，种类检测部基于以状态检测部检测出的压力为基础而得到的容器的吹净特性来检测容器的种类。种类检测部也可以基于将压力和容器的种类相关联而得到的特性信息、以及状态检测部的检测结果来判别容器的种类。另外，种类检测部也可以基于对设置于容器的标识符进行检测的传感器的检测结果、以及将标识符和容器的种类相关联而得到的标识符信息来判别容器的种类。另外，作为标识符，也可以使用被分配给容器的固有的编码。作为标识符，也可以使用设置于容器的底面的信息板。另外，吹净装置也可以具备流量控制装置，其对供给至容器的吹净气体的流量进行控制，吹净控制部基于将容器的种类和吹净条件相关联而得到的条件信息来决定吹净条件，并基于所决定的吹净条件来控制流量控制装置。另外，吹净条件也可以包括供给至容器的吹净气体的流量以及供给时间。

本发明的吹净储料器具备：上述吹净装置；以及棚架，其保持被吹净装置吹净的容器。

本发明的吹净方法包括：对吹净对象的容器的种类进行检测；以及基于检测的结果来决定相对于容器的吹净条件。

根据本发明，基于对吹净对象的容器的种类进行检测而得到的结果来决定对容器的吹净条件，由此，能够以与容器的种类对应的吹净条件来进行吹净，从而能够适当地进行吹净。

另外，根据本发明的吹净装置，具备对容器的吹净状态进行检测的状态检测部，种类检测部基于状态检测部的检测结果来对容器的种类进行检测，因此能够基于实际的吹净状态来检测容器的种类。另外，根据本发明的吹净装置，具备对连接于容器的配管中的吹净气体的流量进行控制的流量控制装置，状态检测部检测配管中的吹净气体的压力作为吹净状态，种类检测部基于以状态检测部检测出的压力为基础而得到的容器的吹净特性来检测容器的种类，因此，例如，气体的导入口等的压力损失能够反映于吹净气体的压力，由此，能够高精度地检测容器的种类。另外，根据本发明的吹净装置，种类检测部基于将压力和容器的种类相关联而得到的特性信息、以及状态检测部的检测结果来判别容器的种类，因此，能够通过将压力的检测结果与特性信息进行对照来判别容器的种类，由此，能够容易且高精度地检测容器的种类。另外，根据本发明的吹净装置，种类检测部基于对设置于容器的标识符进行检测的传感器的检测结果、以及将标识符和容器的种类相关联而得到的标识符信息来判别容器的种类，因此，能够通过将传感器检测出的标识符与标识符信息进行对照来判别容器的种类，由此，能够容易且高精度地检测容器的种类。另外，根据本发明的吹净装置，使用被分配给容器的固有的编码作为标识符，因此，例如，能够利用容器的管理等中所利用的编码来检测容器的种类。另外，根据本发明的吹净装置，使用设置于容器的底面的信息板作为标识符，因此，能够利用标准地设置于容器的信息板来检测容器的种类。另外，根据本发明的吹净装置，具备对供给至容器的吹净气体的流量进行控制的流量控制装置，吹净控制部基于将容器的种类和吹净条件相关联而得到的条件信息来决定吹净条件，并基于所决定的吹净条件来控制流量控制装置，因此，能够将容器的种类与条件信息进行对照来决定吹净条件，由此，能够容易地决定与容器的种类一致的吹净条件，并且，能够基于所决定的吹净条件来控制流量控制装置，由此，能够高精度地控制容器内的吹净的状态。另外，根据本发明的吹净装置，吹净条件包括供给至容器的吹净气体的流量以及供给时间，因此能够控制吹净气体的供给量的时间履历，由此，能够高精度地控制容器内的吹净的状态。

附图说明

图1的(a)以及(b)是表示第1实施方式所涉及的吹净储料器以及吹净装置的图。

图2的(a)以及(b)是吹净特性以及特性信息的说明图。

图3的(a)至(c)是吹净特性、条件信息、以及吹净条件的说明图。

图4的(a)以及(b)是表示实施方式所涉及的吹净方法的流程图。

图5的(a)以及(b)是表示第2实施方式所涉及的吹净装置以及容器的标识符的图。

图6是表示第3实施方式所涉及的吹净装置的图。

图7是表示第4实施方式所涉及的吹净装置的图。

具体实施方式

以下，参照附图对实施方式进行说明。在以下的各图中，使用xyz坐标系对图中的方向进行说明。在该xyz坐标系中，将垂直方向设为z方向，将水平方向设为x方向、y方向。

[第1实施方式]

图1的(a)是表示本实施方式所涉及的吹净储料器1的一个例子的图，图1的(b)是表示容器f以及吹净装置4a的一个例子的图。吹净储料器1例如是对收容半导体元件的制造所使用的晶圆或者标线片等物品的容器f进行保管的自动仓库。容器f例如为foup、smifpod、标线片pod等。标线片可以用于浸液曝光装置，也可以用于euv曝光装置。

如图1的(a)所示，吹净储料器1具备壳体2、多个保管架3、多个吹净装置4a、堆垛起重机(输送装置)5、以及储料器控制装置6。壳体2具有能够相对于外部隔离的内部空间2a。壳体2具备在壳体2的外部与内部空间2a交接容器f的入库出库通口(未图示)。多个保管架3、多个吹净装置4a、以及堆垛起重机5配置于壳体2的内部空间2a。储料器控制装置6也可以配置于壳体2的内部或者外部。储料器控制装置6控制吹净装置4a以及堆垛起重机5。此外，也可以独立设置控制吹净装置4a的控制装置、以及控制堆垛起重机5的控制装置。

堆垛起重机5能够在x方向、y方向、以及z方向的各方向上输送容器f，例如，能够在入库出库通口和保管架3之间、以及/或者从保管架3向其它保管架3输送容器f。堆垛起重机5例如具备行进台车10、支承柱11、支承台12、以及移载装置13。行进台车10具有多个车轮14，并沿着设置于壳体2的底面的导轨15在水平方向(x方向)上移动。

支承柱11设置为从行进台车10的上表面沿垂直方向(z方向)延伸。支承台12支承于支承柱11，并设置为能够沿着支承柱11在z方向上滑动。移载装置13例如具备能够伸缩的臂部、以及能够在上表面载置容器f的载置部。此外，在堆垛起重机5中，也可以取代支承容器f的底面进行输送的移载装置13，而例如为把持容器f的上部的凸缘部23(参照图1的(b))将容器f悬吊进行输送的移载装置、或者把持容器f的侧面进行输送的移载装置。另外，虽然在图1中图示了1台堆垛起重机5，但配置于壳体2内的堆垛起重机5也可以为2台以上。

保管架3在高度方向(z方向)上排列配置有多层，且在水平方向(x方向)上排列配置有多列。在多个保管架3分别能够载置容器f。多个保管架3分别是能够保持被吹净装置4a吹净了的容器f的棚架。此外，根据容器f的保管状况，存在在一部分的保管架3未载置有容器f的情况。

在图1的(b)中作为容器f的一个例子而示出foup，容器f具备在前表面具有开口20的箱状的主体部21、以及关闭开口20的盖部22。晶圆等物品经由开口20而收容于容器f的内部fa(内部空间、收容空间)。在主体部21的上部设置有凸缘部23。主体部21在其底面侧具备定位用的凹部(未图示)。该凹部例如为从主体部21的底面的中心呈放射状延伸的槽状。在输送容器f时，设置于移载装置13的载置台的定位用的销(未图示)进入该凹部，从而容器f被相对于移载装置13的载置台定位。

保管架3具有能够供移载装置13的载置台沿垂方向通行的切口(未图示)。移载装置13将载置台从保管架3的上方通过切口部向下方移动，从而将容器f移载至保管架3的上表面。在保管架3的上表面设置有定位用的销(未图示)。在将容器f载置到保管架3时，保管架3的上表面的销进入至容器f的底面侧的凹部，容器f被相对于保管架3定位。容器f的主体部21在底面侧具备气体导入通口24以及气体排气通口25。

在气体导入通口24，例如设置有导入口、过滤器、以及止回阀。导入口与主体部21的内部fa和外部连通。导入口的内侧是供给至容器f的内部fa的吹净气体g1的流路，过滤器设置于该流路。过滤器例如为颗粒过滤器，其将通过导入口的气体所包含的灰尘去除。气体导入通口24的止回阀抑制气体从容器f的内部fa经由导入口向外部流出。在气体排气通口25例如设置有排气口、止回阀、以及过滤器。排气口与主体部21的内部fa和外部连通。气体排气通口25的止回阀抑制气体从容器f的外部经由排气口向内部fa流入。过滤器例如为颗粒过滤器，其将通过排气口的气体所包含的灰尘去除。在通过排气口的气体中，在吹净刚刚开始之后，吹净前的容器f的内部fa的环境气体的比率较高，而从吹净开始随着时间经过，吹净气体g1的比率变高。

吹净装置4a具备吹净喷嘴31、排气喷嘴32、流量控制装置33、状态检测部34、以及吹净控制装置35。吹净喷嘴31以及排气喷嘴32设置于保管架3的上表面。吹净喷嘴31以及排气喷嘴32以在将容器f载置到保管架3时分别与导入口、排气口连接的方式配置。容器f的导入口在将容器f载置到保管架3时，经由吹净喷嘴31连接于配管36，并进一步经由流量控制装置33与气体源37连接。排气喷嘴32经由配管38连接于吹净气体的排气路径(气体排气部39)。

气体源37供给吹净气体g1。对于吹净气体g1的种类而言，与收容于容器f的收容物对应地进行选择。例如，使用抑制收容物的氧化、抑制分子污染等的气体、或者使容器f的内部的水分减少的气体等。例如，在收容物为硅晶圆的情况下，使用氮气等惰性气体作为吹净气体g1。由于氮气供给至容器f的内部fa，所以包含氧的环境气体被从容器f的内部向外部排出(去除)，从而抑制(防止)硅晶圆被氧化。另外，在收容物为标线片的情况下，使用清洁干燥空气(cda)等干燥气体作为吹净气体g1。由于清洁干燥空气供给至容器f的内部fa，所以包含水分的环境气体被从容器f的内部向外部排出(去除)，从而抑制(防止)水分附着于标线片。气体源37可以是吹净储料器1的一部分，也可以是吹净储料器1的外部的装置，例如，也可以是设置有吹净储料器1的工厂的设备。

在吹净容器f时，来自气体源37的吹净气体g1经由流量控制装置33以及配管36从容器f的导入口供给至内部fa，从而填充于容器f的内部fa。另外，内部fa的气体从排气口被排出至容器f的外部，并经由配管38且利用气体排气部39被排出至外部。此外，气体排气部39也可以设置有利用泵等对气体进行抽吸的装置。另外，容器f也可以不具备气体排气通口25，在该情况下，吹净装置4a也可以不具备排气喷嘴32。例如，若容器f的内部fa的压力成为阈值以上，则容器f的内部fa的气体从开口20和盖部22的间隙等向外部漏出，由此，即使在没有气体排气通口25的情况下，也能够将容器f的内部fa的气体向外部排出。

流量控制装置33对连接于容器f的配管36(容器f的导入口和气体源37之间的流路)中的吹净气体g1的流量进行控制。流量控制装置33例如为质量流量控制器，在其内部具有供吹净气体g1流动的流路。在流量控制装置33的内部的流路例如设置有利用了自发热型电阻器的流量计、以及电磁阀等流量控制阀。流量控制装置33以流量计的测量结果为基础对电磁阀进行反馈控制，使其内部的吹净气体g1的流量接近目标值。通过流量控制装置33对配管36的吹净气体的流量进行控制，而控制从气体源37向吹净喷嘴31供给的吹净气体g1的流量。流量控制装置33与吹净控制装置35能够通信地连接，并基于从吹净控制装置35供给的控制信号对吹净气体g1的流量进行控制。

然而，吹净装置4a能够对吹净对象的容器f进行变更，对多个容器f反复进行吹净。例如，在每个保管架3设置有吹净装置4a的情况下，在容器f被从保管架3搬出之后，其它容器f被搬入至保管架3，吹净装置4a能够相对于该容器f进行吹净。另外，在吹净装置4a例如设置于入库出库通口等的情况下，吹净装置4a能够依次对运至入库出库通口的容器f进行吹净。对于成为吹净装置4a吹净的对象的容器f而言，只要是气体导入通口24等的接口的平面位置与吹净装置4a匹配的容器f即可，也可以是吹净特性(后述)不同的多种容器f。例如，对于容器f的种类而言，存在即使是相同的制造商所制造的容器也与收容物等对应而不同的情况，另外，存在因制造商的不同而不同的情况。在种类不同的容器f中存在吹净特性不同的情况，在本实施方式中，吹净装置4a以与容器f的种类对应的吹净条件进行吹净。

吹净特性是表示吹净条件和吹净状态的关系的信息、即表示相对于吹净条件的应对(与吹净相关的容器f的特性)的信息。吹净条件为吹净气体的流量、供给时间、总供给量等。在流量随时间产生变化的情况下，流量的时间履历也是吹净条件之一，该情况下的总供给量成为流量的时间积分。吹净状态例如为供给压力、容器f的内部的吹净气体的量或者比率、容器f的内部的压力、通过吹净去除的对象的物质(以下，称为去除对象物质)的浓度等。

吹净特性例如取决于下述的(a)、(b)、(c)的项目所包含的容器f的必要条件。(a)的项目为内部的容积、内部的形状、气体导入口的数量、气体排气口的有无、气体排气口的数量、容器f的封闭构造(例如主体部21和盖部22的密封构造，)等。(b)的项目为气体导入口的面积(流路面积、内径)、气体排气口的面积(流路面积、内径)、颗粒过滤器的压力损失、颗粒过滤器的面积等。(c)的项目为容器f的内部(例如内壁的表面)的材质等。上述(a)、(c)例如对去除对象物质的容器f的浓度的时间履历等造成影响。去除对象物质例如为氧、水分等。在上述(a)、(c)的项目不同的容器f中，例如，以恒定的流量供给吹净气体的情况下的去除对象物质的浓度的下降方式、吹净气体的供给停止后的去除对象物质的上升程度等不同。上述(b)对吹净气体的供给压力等造成影响。这里，在上述(a)～(c)的项目的至少一个不同的情况下，将容器f的种类设为不同。

以下，对决定与容器f的种类对应的吹净条件的结构进行说明。吹净控制装置35具备种类检测部41、吹净控制部42、以及存储部43。种类检测部41对吹净对象的容器f的种类进行检测。在本实施方式中，在吹净装置4a具备对容器f的吹净状态进行检测的状态检测部34，种类检测部41基于状态检测部34的检测结果对容器f的种类进行检测。状态检测部34包括压力计44，检测(测量)配管36中的吹净气体g1的压力作为吹净状态。压力计44设置于流量控制装置33和吹净喷嘴31之间的吹净气体g1的流路。压力计44对吹净气体g1被供给至吹净喷嘴31时的压力(以下，成为供给压力)进行测量。在容器f的气体导入通口24的导入口连接有吹净喷嘴31的状态下，吹净气体g1的供给压力受到气体导入通口24的压力损失(压损)的影响。因此，吹净气体g1的供给压力成为与气体导入通口24的构造对应的值、即与容器f的种类对应的值，能够将压力计44的检测结果用于容器f的种类的检测。种类检测部41例如基于将压力(供给压力)和容器f的种类相关联而得到的特性信息、以及状态检测部34(压力计44)的检测结果，对容器f的种类进行判别(检测、确定、判定)。

图2是吹净特性以及特性信息的说明图，图2的(a)中示出供给压力相对于吹净气体的流量的图，图2的(b)中示出特性信息d1的示意图。图2的附图标记a1、a2分别为容器f的种类，种类a1的容器f与种类a2的容器f相比，气体导入通口24的压力损失较大。例如，与种类a2的容器f相比，种类a1的容器f将流量设为q1所需的供给压力较高。在图2的(b)中，特性信息d1以列表数据的形式来表示。在特性信息d1中，第1列是供给压力和流量的比率的范围，第2行是与第1行对应的容器f的种类。例如，在特性信息d1的第1行的p/q处于第1列的数据单元的范围内(k1a以上k1b以下)的情况下，表示该容器f的种类为第2列的数据单元的“a1”。第2行以下也相同，在供给压力和流量的比率处于第1行的数据单元的规定的范围内的情况下，表示该容器f的种类为第2列中数据单元的种类。这样的容器f的每个种类的特性既能够预先通过试验等调查好，也能够根据标称值(例，目录值)取得。特性信息d1例如能够通过将容器f的每个种类的特性登记于列表数据等方式等来制作。

返回至图1的说明，种类检测部41取得压力计44的检测结果(供给压力p)。另外，种类检测部41例如取得供给至流量控制装置33的流量的目标值作为流量q。种类检测部41计算所取得的p和q的比率，并通过与特性信息d1(参照图2的(b))进行对照来判别容器f的种类。特性信息d1存储于存储部43，种类检测部41从存储部43取得特性信息d1，并将计算出的p和q的比率与特性信息d1进行对照来判别容器f的种类。此外，特性信息d1也可以不存储于存储部43，例如，种类检测部41也可以经由网络线路等通信线路而从外部的数据库等取得特性信息d1。另外，图2的(b)所示的特性信息d1的项目是一个例子，也可以是使用了其它参数的项目。

吹净控制部42基于种类检测部41的检测结果决定相对于容器f的吹净条件。吹净条件包括供给至容器f的吹净气体g1的流量以及供给时间。吹净控制部42基于将容器f的种类和吹净条件相关联而得到的条件信息来决定吹净条件。吹净控制部42基于所决定的吹净条件对流量控制装置33进行控制。

图3是吹净特性、条件信息、以及吹净条件的说明图。图3的附图标记a3、a4分别为容器f的种类。在图3的(a)中，概念性地示出去除对象物质的浓度的时间履历。在图3的(a)中，横轴是开始吹净气体的供给后的时间，纵轴是容器f的内部的去除对象物质的浓度。在开始吹净气体的供给后经过了时间t1的时刻，停止吹净气体的供给。吹净气体的流量在种类a3、a4的任一种中均相同。在从吹净气体的供给开始至经过时间t1为止的期间内，种类a3的容器f中的去除对象物质的浓度与种类a4的容器f相比显著减少。例如，在种类a3的容器f的容积小于种类a4的容器f的情况下，种类a3的容器f由于吹净气体占容积的比例的增加与种类a4的容器f相比较显著，所以成为这样的吹净特性。另外，在从吹净气体的供给开始经过了时间t1后的期间内，种类a3的容器f的去除对象物质的浓度随着时间经过而缓慢地增加，种类a4的容器f的去除对象物质的浓度的增加(倾斜度)与种类a3相比较快。这样的吹净特性的不同例如在种类a3的容器f和种类a4的容器f材质不同的情况下产生。例如，在去除对象物质为水分、且种类a4的容器f与种类a3的容器f相比内壁处的水分的吸附量、吸收量较多的情况下，在吹净气体的供给停止后被从内壁放出的水分的量较多，去除对象物质的浓度的增加(倾斜度)变快。

在图3的(b)中，条件信息d2以列表数据的形式来表示。这里，以规定的流量供给吹净气体进行初始吹净，直至去除对象物质的浓度成为规定值以下，接着，以将去除对象物质的浓度维持在规定值以下的方式，变更吹净气体的流量进行维持吹净。在条件信息d2中，第1列为容器f的种类(a1、a2、……、an)，第2行为初始吹净的流量(qa1、qa2、……、qan)，第3行为初始吹净的时间(ta1、ta2、……、tan)，第4行为维持吹净的流量(qb1、qb2、……、qbn)。例如，条件信息d2的第3行表示在吹净对象的容器f的种类为a3的情况下，将初始吹净的吹净气体的流量设定为qa3，将初始吹净的时间(持续时间)设定为ta3，并将维持吹净的吹净气体的流量设定为qb3。第4行也相同地表示在吹净对象的容器f的种类为a4的情况下，将初始吹净的流量设定为qa4，将初始吹净的时间设定为ta4，并将维持吹净的流量设定为qb4。

吹净控制部42(参照图1)例如在种类检测部41所检测出的容器f的种类为a3的情况下，按照条件信息d2的第3行所表示的吹净条件来控制流量控制装置33。例如，在容器f的种类为a3(参照图3)的情况下，吹净控制部42将qa3作为吹净气体的流量的目标值指定给流量控制装置33，开始初始吹净。另外，在从初始吹净的开始后的经过时间成为ta3的时机，吹净控制部42将qb3作为吹净气体的流量的目标值指定给流量控制装置33，开始维持吹净。另外，在容器f的种类为a4(参照图3)的情况下，吹净控制部42将qa4作为吹净气体的流量的目标值指定给流量控制装置33，开始初始吹净。这里，qa4虽然是与qa3大致相同的值，但也可以是与qa3不同的值。另外，在从初始吹净的开始后的经过时间成为ta4的时机，吹净控制部42将qb4作为吹净气体的流量的目标值指定给流量控制装置33，开始维持吹净。在图3的(a)中，种类a4的容器f与种类a3的容器f相比，去除对象物质的浓度减少的倾斜度较小，相对于种类a4的容器f的初始吹净的时间ta4被设定为比相对于种类a3的容器f的初始吹净的时间ta3长的值。另外，在图3的(a)中，种类a4的容器f与种类a3的容器f相比，吹净气体的供给停止后的去除对象物质的浓度增加的倾斜度较大，相对于种类a4的容器f的维持吹净的流量qb4被设定为比相对于种类a3的容器f的维持吹净的流量qb3多的值。

返回至图1的说明，吹净控制部42取得种类检测部41所检测出的容器f的种类，并取得条件信息d2(参照图3的(b))。条件信息d2存储于存储部43，吹净控制部42从存储部43取得条件信息d2，并将容器f的种类与条件信息d2进行对照来决定吹净条件。此外，条件信息d2也可以不存储于存储部43，例如，种类检测部41也可以经由网络线路等通信线路而从外部的数据库等取得条件信息d2。另外，图3的(b)所示的条件信息的项目是一个例子，也可以包括与供给压力对应的条件。例如，也可以与容器f的种类对应地将考虑了气体导入通口24所允许的供给压力的流量的上限值规定为条件信息。

储料器控制装置6对吹净控制装置35供给控制指令，从而控制吹净装置4a。储料器控制装置6控制堆垛起重机5使其将吹净对象的容器f输送至吹净装置4a，并控制该吹净装置4a使其执行对容器f的吹净。在保管架3设置有对载置有容器f的情况进行检测的就位传感器45，吹净控制装置35基于就位传感器45的检测结果开始进行吹净。就位传感器45为按钮传感器等接触型传感器，其通过被容器f的底面按压，对容器f载置于保管架3的情况进行检测。就位传感器45与吹净控制装置35能够通信地连接，并将其检测结果供给至吹净控制装置35。

在储料器控制装置6连接有输入部以及显示部。该输入部例如为操作面板、触摸面板、键盘、鼠标、轨迹球等。输入部检测来自操作员的输入，并将所输入的信息供给至储料器控制装置。另外，上述显示部例如为液晶显示器等，显示从储料器控制装置6供给的图像。例如，储料器控制装置6使吹净储料器1的动作状况、各种设定、表示吹净的状态的图像等显示于显示部。

接下来，基于上述吹净装置4a的动作对实施方式所涉及的吹净方法进行说明。图4的(a)是表示实施方式所涉及的吹净方法的流程图，图4的(b)是表示图4的(a)的步骤s1的处理的一个例子的流程图。在步骤s1中，种类检测部41对吹净对象的容器f的种类进行检测。如图4的(b)所示，在步骤s1中的步骤s11，吹净控制部42控制流量控制装置33，将吹净气体的流量设定为规定值。在步骤s12中，状态检测部34(压力计44)在吹净气体的流量被设定为规定值的状态下，对吹净气体的压力(供给压力)进行检测。在步骤s13中，种类检测部41将压力的检测结果与特性信息d1进行对照，来判别容器f的种类。此外，种类检测部41也可以利用其它方法来检测容器f的种类，关于其它方法，在第2实施方式之后进行说明。返回至图4的(a)的说明，在步骤s2中，吹净控制部42基于容器f的种类来决定吹净条件。例如，吹净控制部42将种类检测部41所检测出的容器f的种类与条件信息d2进行对照，从而决定与容器f的种类对应的吹净条件。在步骤s3中，吹净控制部42根据在步骤s2所决定的吹净条件来控制流量控制装置33、执行吹净。

[第2实施方式]

对第2实施方式进行说明。在本实施方式中，针对与上述实施方式相同的结构，适当地标注相同的附图标记并省略或者简化其说明。图5的(a)是表示本实施方式所涉及的吹净装置4b的图，图5的(b)是表示容器f的标识符51的图。吹净装置4b具备对设置于容器f的标识符51(参照图5的(b))进行检测的传感器52。这里，作为标识符51，使用设置于容器f的底面的信息板51a～51d的至少一个。信息板51a～51d的各自的位置由规格来规定，并不依存于容器的种类。信息板51a～51d分别以盖是否嵌入于开口形状为圆形的凹部、即以信息板51a～51d的各平面位置处的底面的高度来表示容器f的信息(规格说明、规范等信息)。信息板51a表示载体容量(例如，能够收容的晶圆的数量)。信息板51b表示载体类型(例如，匣、盒)。信息板51c、51d择一地表示载体为前道工序(feol：front-end-of-line)专用、或为后道工序(beol：back-end-of-line)专用。前道工序是可能产生金属污染的工序之前的工序，后道工序是可能产生金属污染的工序之后的工序。

传感器52例如为按钮传感器等接触式传感器，配置于信息板51a～51d的各自的平面位置。例如，在盖嵌入于表示载体容量的信息板51a的凹部的情况下，传感器52被盖下压，在盖未嵌入于凹部的情况下，传感器52进入凹部内而未被下压。这样，根据传感器是否被下压，能够检测出可收容在容器f的晶圆的片数为13片还是25片。传感器52与吹净控制装置35能够通信地连接，并将其检测结果供给至吹净控制装置35。此外，传感器52也可以是光学传感器或者电容传感器等非接触传感器。

在本实施方式中，种类检测部41基于对设置于容器f的标识符51进行检测的传感器52的检测结果、以及将标识符51和容器f的种类相关联而得到的标识符信息，对容器f的种类进行判别。标识符信息例如是将信息板51a～51d的状态和容器f的种类相关联而得到的列表数据。这里，将嵌入有盖的状态用“1”表示，将未嵌入有盖的状态用“0”表示。对于信息板51a～51d的状态而言，使用上述“0”、“1”，并以(1，0，0.1)等4位元的数据进行表示。在标识符信息中，例如，将信息板51a～51d的状态(例如，(1，0，0，1))和该容器f的种类(例如，图3的(b)的种类a3)相关联。这样的标识符信息存储于存储部43。种类检测部41从存储部43取得标识符信息，并将传感器52的检测结果(信息板51a～51d的状态)与标识符信息进行对照，由此，判别容器f的种类。吹净控制部42基于种类检测部41所判别出的容器f的种类来决定吹净条件。另外，吹净控制部42根据所决定的吹净条件来控制流量控制装置33、执行吹净。

[第3实施方式]

对第3实施方式进行说明。在本实施方式中，针对与上述实施方式相同的结构，适当地标注相同的附图标记并省略或者简化其说明。图6是表示本实施方式所涉及的吹净装置4c的图。吹净装置4c具备对设置于容器f的标识符55进行检测的传感器56。在第2实施方式中使用板(信息板51a～51d)作为标识符51，但在本实施方式中，作为标识符55，使用被分配给容器f的固有的编码。该编码例如为“015····”、“a27····”等那样以规定数量的数字、英文字母、记号、或者它们的组合等进行表示，并以在多个容器f中不重复的方式被分配。该编码收纳于被设置在容器f的识别部件57，传感器56从识别部件57取得编码。例如，识别部件57为rfid(radiofrequencyidentification：射频识别)标签、条形码、qr(quickresponse：快速反应)码(注册商标)，传感器56为读取器。传感器56例如设置于如下位置：在容器f和吹净装置4a能够吹净地连接的状态下，能够从识别部件57读取编码。在图6中，传感器56配置于保管架3中进行吹净的位置的附近。

传感器56与储料器控制装置6能够通信地连接，并将其检测结果(标识符55的编码)供给至储料器控制装置6。储料器控制装置6将从传感器56取得的编码用于容器f的管理。例如，储料器控制装置6基于该编码管理容器f的搬入来源、搬入目的、收容物等信息。另外，传感器56与吹净控制装置35能够通信地连接，并将其检测结果(标识符55的编码)供给至吹净控制装置35。种类检测部41基于所取得的编码检测容器f的种类。例如，对于容器f的编码而言，以在编码前端为“0”的情况下容器f的种类为a3(参照图3的(b))、在编码前端为“a”的情况下容器f的种类为a4的方式，预先设定为由规定位数的数字、文字、符号等表示容器f的种类。种类检测部41基于规定位数的数字、文字、符号的任一个、或者它们的组合来判别容器f的种类。吹净控制部42基于种类检测部41所判别出的容器f的种类来决定吹净条件。另外，吹净控制部42根据所决定的吹净条件来控制流量控制装置33、执行吹净。此外，传感器56可以不与储料器控制装置6连接，也可以不将其检测结果供给至储料器控制装置6。

[第4实施方式]

对第4实施方式进行说明。在本实施方式中，针对与上述实施方式相同的结构，适当地标注相同的附图标记并省略或者简化其说明。图7是表示本实施方式所涉及的吹净装置4d的图。在第3实施方式中，传感器56设置于保管架3，但在本实施方式中，传感器56设置于与保管架3不同的地方。在图7中，传感器56配置于能够载置容器f的载置场所ps。载置场所ps可以是吹净储料器1的入库出库通口，也可以是高架输送装置的临时放置处(例如，高架缓冲区；ohb、轨侧仓储；sts、轨下仓储；uts)、对容器f的收容物进行处理的(使用)的处理装置的临时放置处(工具缓冲区)、更换容器f的收容物的变换器等任一处。传感器56与吹净控制装置35能够通信地连接，并将其检测结果(标识符55的编码)供给至吹净控制装置35。种类检测部41基于所取得的编码检测容器f的种类。吹净控制部42基于种类检测部41所判别出的容器f的种类来决定吹净条件。另外，吹净控制部42根据所决定的吹净条件来控制流量控制装置33、执行吹净。

此外，传感器56可以设置于容器f的输送路径的任一位置，也可以取代从设置于载置场所ps的容器f的标识符55读取编码，而从输送中的容器f的标识符55读取编码。另外，传感器56的数量也可以是任意的，并在输送路径设置有多个传感器56。传感器56可以由吹净装置4a具备，也可以由吹净装置4a的其它装置(例如，储料器控制装置6、输送装置)具备。另外，传感器56也可以如第3实施方式那样与储料器控制装置6连接，并将其检测结果供给至储料器控制装置6。另外，也可以同时使用如本实施方式那样使用标识符的装置、以及如第1实施方式那样使用检测出的吹净特性的装置。

在上述实施方式中，吹净控制装置35例如包括计算机系统。吹净控制装置35读出存储于存储部43的程序，并根据该程序执行各种处理。该程序例如使计算机执行如下工序：检测吹净对象的容器f的种类；以及基于检测的结果来决定对容器f的吹净条件。该程序也可以在记录于计算机能够读取的存储介质的状态下被提供。另外，在法令所允许的范围内，援用日本专利申请亦即日本特愿2015-165521、以及上述实施方式等中引用的全部文献的内容作为正文的记载的一部分。

附图标记说明：

1…吹净储料器；3…保管架；4a、4b、4c、4d…吹净装置；f…容器；33…流量控制装置；34…状态检测部；36…配管；41…种类检测部；42…吹净控制部；51、55…标识符；51a、51b、51c、51d…信息板；52、56…传感器；d1…特性信息；d2…条件信息；g1…吹净气体。