技术特征：
技术总结
本发明提供一种能够适当地保护基板以避免基板发生电气故障的基板处理装置和基板处理方法。实施方式所涉及的基板处理装置具备导电性的保持部、导通路径部、供给部、接地部以及可变电阻部。保持部用于保持基板。导通路径部与保持部接触，由导电性材料形成。供给部对被保持部保持着的基板供给处理液。接地部的一端部与导通路径部连接，接地部的另一端部连接于接地电位。可变电阻部设置于接地部，能够变更电阻值。
技术研发人员：饭野正;井原亨;甲斐義广;德永容一
受保护的技术使用者：东京毅力科创株式会社
技术研发日：2017.03.09
技术公布日：2017.10.10