技术总结
本发明公开一种静态随机存取存储器元件及形成方法，该静态随机存取存储器元件包含二基体接触插塞以及二电阻切换装置。基体接触插塞设置于一晶片中且自晶片的一背面暴露出，其中基体接触插塞在晶片中经由金属内连线结构电连接一静态随机存取存储器单元。电阻切换装置自晶片的背面分别连接基体接触插塞。本发明还提供一种形成静态随机存取存储器元件的方法，包含下述步骤。首先，提供一晶片，晶片具有二基体接触插塞自晶片的一背面暴露出，且具有金属内连线结构电连接基体接触插塞至一静态随机存取存储器单元。接着，形成二电阻切换装置自晶片的背面分别连接基体接触插塞。
技术研发人员：何万迅;邢溯
受保护的技术使用者：联华电子股份有限公司
技术研发日：2017.04.05
技术公布日：2018.10.23