技术特征：
技术总结
本发明提供一种型薄膜晶体管的制造方法，方法包括如下步骤：依次沉积半导体层、金属层；在金属层上方涂布光阻层；对光阻层进行曝光处理，图案化光阻层，其中一部分形成薄光阻层，其余部分形成厚光阻层或者无光阻层；第一次刻蚀，刻蚀金属层和半导体层，去除无光阻层覆盖的部分；灰化光阻层，去除薄光阻层，暴露出位于薄光阻层下方的金属层；第二次刻蚀，刻蚀金属层，形成源极、漏极以及沟道区，暴露出位于沟道区的半导体层；去除光阻层。本发明通过提出一种制造方法，减少了一道光罩数，降低了薄膜晶体管的制造成本的，优化了工艺流程。
技术研发人员：郝光叶;简锦诚;戴超;周刘飞;王志军
受保护的技术使用者：南京中电熊猫平板显示科技有限公司;南京中电熊猫液晶显示科技有限公司;南京华东电子信息科技股份有限公司
技术研发日：2017.07.13
技术公布日：2017.11.21