技术特征：
技术总结
本发明公开一种薄膜晶体管膜层、制造方法和装置。所述膜层包括第一膜层、第二膜层、第三膜层、第五膜层、第一图案化膜层和第二图案化膜层，所述第一膜层上设置有所述第二膜层，所述第二膜层上设置有所述第三膜层，所述第三膜层上设置有所述第五膜层，所述第五膜层上设置有所述第一图案化膜层，所述第一图案化膜层上设置有所述第二图案化膜层。本发明的膜层结构、制造方法和装置中的第二图案化膜层在第一图案化膜层的基础上直接设置得到的，无需再通过旋涂光刻、湿刻等复杂的工艺，缩短了工艺周期、降低了制造薄膜晶体管成本。
技术研发人员：陈龙龙;张建华;李痛快;李喜峰
受保护的技术使用者：上海大学
技术研发日：2017.12.27
技术公布日：2018.05.01