机械臂的制作方法

本实用新型涉及一种机械装置，尤其涉及一种机械臂。

背景技术：

以砷化镓（GaAs）为代表的Ⅲ-Ⅴ族化合物半导体材料由于其独特的电学性能，在卫星通讯、微波器件、激光器及发光二极管领域有着十分广泛的应用。异质结双极晶体管、高电子迁移率晶体管、LED等器件的制作需要在高质量的衬底表面用分子束外延或者有机金属化合物气相外延技术生长外延结构。

随着半导体器件工艺制作的不断完善，器件尺寸越来越小，利用率也越来越高，半导体衬底的质量尤其是晶片表面的质量对器件的可靠性和稳定性影响也越来越大。晶片清洗是获取高质量高稳定性的半导体晶片重要的环节之一， 在晶片清洗前，晶片需要进行稳定的放置，为了后续清洗的方便，从存取装置传送到清洗机的过程中需要用到机械臂，现有的机械臂极容易损伤晶片表面，而且活动的自由度很小，造成传送效率低，无法实现自动化生产。

所以，急需提出一种新的机械臂来解决上述技术问题。

技术实现要素：

本实用新型的目的在于提供一种用于传送晶片的机械臂。

为实现前述目的，本实用新型采用如下技术方案：一种机械臂，包括一电机、电性连接电机并控制电机的一控制器、包覆电机的一电机套、一伸缩臂套件、用于连接电机及伸缩臂套件的一升降轴以及活动连接在伸缩臂套件一端上的一传送板，所述升降轴与电机套同轴连接且升降轴能够沿着电机和/或电机套进行轴向升降，所述伸缩臂套件的另一端与升降轴活动连接。

作为本实用新型的进一步改进，所述伸缩臂套件包括第一伸缩臂和第二伸缩臂两个伸缩臂，所述第一伸缩臂和第二伸缩臂分别包括第一端和第二端，所述第一伸缩臂的第一端活动连接升降轴，所述第一伸缩臂的第二端能够自由活动。

作为本实用新型的进一步改进，所述第二伸缩臂的第一端活动连接第一伸缩臂的第二端，所述第二伸缩臂的第二端能够自由活动。

作为本实用新型的进一步改进，所述传送板与第二伸缩臂的第二端活动连接。

作为本实用新型的进一步改进，所述传送板的中心通过固定装置固定在第二伸缩臂的第二端上。

作为本实用新型的进一步改进，所述固定装置为螺钉或者螺栓和螺母的组合。

作为本实用新型的进一步改进，所述机械臂还包括固定在电机套底面上的若干滑块和与滑块对应配合的滑轨，所述滑块能够在滑轨上滑动。

本实用新型机械臂通过电机控制下的伸缩臂组件的活动，大大扩展了机械臂的自由度和可传送空间，提高机械臂的传送效率，传送板不会对晶片表面造成损伤，值得在实际生产中推广。

附图说明

图1为本实用新型机械臂的实施例的第一整体结构示意图。

图2为本实用新型机械臂的实施例的第二整体结构示意图。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例对技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1-2，本实用新型提出一种机械臂100，机械臂100包括一电机110、电性连接电机110并控制电机110的一控制器（图上未示出）、支撑电机110的一电机套120、一伸缩臂套件130、用于连接电机110及伸缩臂套件130的一升降轴140以及活动连接在伸缩臂套件130一端上的一传送板150，所述伸缩臂套件130的另一端与升降轴140活动连接。

电机110为整个装置的动力源，受控制器的控制。

电机套120支撑在电机110下方起保护作用，电机套120还为其他部件提供支撑平台，升降轴140与电机110、电机套120同轴连接且升降轴140能够沿着电机110、电机套120进行轴向升降。

在本实施例中，伸缩臂套件130包括第一伸缩臂131和第二伸缩臂134两个伸缩臂，第一伸缩臂131包括第一端132和第二端133，第二伸缩臂134包括第一端135和第二端136，第一伸缩臂131的第一端132活动连接升降轴140，第一伸缩臂131的第二端133能够自由活动，第二伸缩臂134的第一端135活动连接第一伸缩臂131的第二端133，第二伸缩臂134的第二端133能够自由活动。

传送板150与第二伸缩臂134的第二端136活动连接，在本实施例中，传送板150的中心通过固定装置151固定在第二伸缩臂134的第二端136上，在本实施例中，固定装置151为螺栓和螺母的组合，在其他实施例中，固定装置151可以为螺钉。

在本实施例中，机械臂100还包括固定在电机套120底面上的若干滑块160和与滑块160对应配合的滑轨170，滑块160能够带动其他部件在滑轨170上滑动。

机械臂100的传送过程：在控制器的控制下，电机110启动，通过升降轴140的升降和伸缩臂组件130的自由活动，传送板150从晶片存取装置中吸附晶片，再将晶片传送至指定地点，例如清洗机的清洗腔。

本实用新型机械臂通过电机控制下的伸缩臂组件的活动，大大扩展了机械臂的自由度和可传送空间，提高机械臂的传送效率，传送板不会对晶片表面造成损伤，值得在实际生产中推广。

尽管为示例目的，已经公开了本实用新型的优选实施方式，但是本领域的普通技术人员将意识到，在不脱离由所附的权利要求书公开的本实用新型的范围和精神的情况下，各种改进、增加以及取代是可能的。