固定走线组件、静电卡盘装置和工艺腔室的制作方法

本实用新型涉及半导体制造技术领域，具体涉及一种固定走线组件、一种包括该固定走线组件的静电卡盘装置以及一种包括该静电卡盘装置的工艺腔室。

背景技术：

一般的，在集成电路的制造过程中，半导体设备一般都包括多个工艺模块，又称腔室组成。这些腔室在生产硅片的过程中需要收集一些硅片的在线测量结果，这些结果必须达到一定的指标。除此之外各个腔室之间的这些结果也需要满足一定的匹配指标，这就是所谓的腔室需要匹配。例如，对于多晶硅刻蚀设备，主要涉及到的在线测试结果包括关键尺寸，氧化物残留，刻蚀速率等，那么由于设备在制造过程中存在一些硬件差别，以及设备在使用过程中也会存在腔室环境差别，会导致各个不同的腔室的在线测试结果不匹配。

因此，在生产、调试和测试机台过程中为避免由于各腔室的差异问题而造成的工艺风险及生产风险，需要对生产物料管理、机台装配过程、软硬件测试及工艺测试过程严格管控，从而实现机台的工艺结果一致性。

在机台装配过程中，静电卡盘的对地电容是一个重要的匹配参数，然而实际经验证明，静电卡盘所接出的走线(直流/交流走线) 因带有射频，其走线路径、方式、线与线之间的距离以及相对位置关系对静电卡盘的对地电容影响很大。从而影响工艺结果不稳定及各个腔室之间工艺结果的一致性。因此装配过程中走线的安装一致性要求很高。

如图1和图2所示，为现有技术一中静电卡盘装置200的走线示意图，静电卡盘210的走线300通过接口盘220固定后，以比较随机的路径通过悬臂230。显然，该种结构的走线方式，如图2所示，从静电卡盘210接出的走线300的走线路径比较随机，不同腔室走线 300的安装一致性很难保证，造成不同腔室的静电卡盘210的对地电容不稳定，从而影响机台的工艺结果一致性。

为了提高不同腔室走线的安装的一致性，如图3和图4所示，为现有技术二中静电卡盘装置200的走线示意图，在悬臂230侧壁增加U型卡240，走线300通过U型卡240进行安装走线。但是，该种走线方式中，U型卡240只能固定走线300的大致走向，两个线槽之间的路径也无法控制，线与线的距离及排布关系无法控制，仍不能保证下电极内走线的一致性，静电卡盘210的对地电容也依然不稳定。

因此，如何设计一种固定走线结构以提高静电卡盘的对地电容稳定性成为本领域亟待解决的技术问题。

技术实现要素：

本实用新型旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一，提出了一种固定走线组件、一种包括该固定走线组件的静电卡盘装置以及一种包括该静电卡盘装置的工艺腔室。

为了实现上述目的，本实用新型的第一方面，提供一种固定走线组件，所述固定走线组件包括走线支架和走线夹单元，所述走线支架包括内壁和外壁，所述走线夹单元与所述外壁固定连接，且所述走线夹单元和所述外壁的至少一者上设置有用于收容走线的多个走线槽。

优选地，所述走线夹单元为多个，每个所述走线夹单元包括相对设置的第一走线夹和第二走线夹，所述第一走线夹与所述外壁固定连接，所述第二走线夹与所述第一走线夹固定连接；所述第一走线夹上设置有多个第一容纳槽，所述第二走线夹上设置有多个第二容纳槽，每个所述第一容纳槽对应一个所述第二容纳槽，且所述第一容纳槽和所述第二容纳槽共同形成所述走线槽。

优选地，所述固定走线组件还包括多个第一紧固件和多个第二紧固件；

所述第一走线夹包括位于所述第一走线夹端部的两个第一主安装部以及位于两个所述第一主安装部之间的第一副安装部，所述第一主安装部朝向所述第二走线夹的一侧设置有第一主安装孔，所述第一副安装部朝向所述第二走线夹的一侧设置有第一副安装孔，所述第一主安装部和所述第一副安装部之间设置有所述第一容纳槽；

所述第二走线夹包括位于所述第二走线夹端部的两个第二主安装部以及位于两个所述第二主安装部之间的第二副安装部，所述第二主安装部朝向所述第一走线夹的一侧设置有第二主安装孔，所述第二副安装部朝向所述第一走线夹的一侧设置有第二副安装孔，所述第二主安装部和所述第二副安装部之间设置有所述第二容纳槽；

所述第一主安装孔与所述第二主安装孔对应设置，所述第一紧固件设置在所述第一主安装孔和所述第二主安装孔内，以固定所述第一走线夹和所述第二走线夹；

所述第一副安装孔与所述第二副安装孔对应设置，所述第二紧固件设置在所述第一副安装孔和所述第二副安装孔内，以将所述第一走线夹固定设置在所述走线支架上。

优选地，所述走线支架上还设置有贯穿所述走线支架的多个导向卡槽，以使得所述走线能够穿过所述导向卡槽至所述走线槽内。

优选地，所述走线支架还包括顶壁和底壁，所述顶壁和所述底壁分别与所述内壁和所述外壁连接，所述导向卡槽自所述底壁处向所述顶壁方向凹陷，且所述导向卡槽贯穿所述外壁和所述内壁。

优选地，所述导向卡槽的截面呈C型。

优选地，所述走线支架上还设置有至少一个固定部，所述固定部包括第一部分以及自所述第一部分弯折延伸的第二部分，所述第一部分与所述底壁固定连接，所述第二部分上设置有贯穿所述第二部分的固定孔。

优选地，所述走线支架呈环状结构，且所述环状结构具有缺口。

优选地，所述走线夹单元为一个，且沿所述走线支架设置，所述走线槽连续设置在所述走线支架的所述外壁上，所述走线被固定在所述走线夹单元和所述外壁之间。

本实用新型的第二方面，提供一种静电卡盘装置，所述静电卡盘装置包括静电卡盘、接口盘、悬臂、多根走线以及固定走线组件，所述接口盘与所述静电卡盘固定连接，所述接口盘上设置有多个接线端口，所述悬臂与所述接口盘固定连接，所述固定走线组件包括前文记载的所述的固定走线组件，所述固定走线组件与所述接口盘固定连接，多根所述走线绕设在所述固定走线组件的走线槽内，且多根所述走线的一端与所述接线端口电连接，多根所述走线的另一端位于所述悬臂内，且与所述悬臂具有预设距离。

本实用新型的第三方面，提供一种工艺腔室，所述工艺腔室包括静电卡盘装置，所述静电卡盘装置包括前文记载的所述的静电卡盘装置。

本实用新型的固定走线组件，通过在走线夹单元和外壁的至少一者上设置的用于收容走线的多个走线槽，由于多个走线槽的形状以及间距均是一定的(可以根据实际需要进行确定)，因此，能够使得多根走线的绕线路径以及走线间隔均是一定的，从而可以使得走线方式固定化，提高应用该结构的固定走线组件的产品的良率。

本实用新型的静电卡盘装置，具有前文记载的固定走线组件。因此，能够使得该静电卡盘装置的走线的绕线路径以及走线间隔一定，从而可以使得走线方式固定化。进一步地提高应用该结构的静电卡盘装置的工艺腔室制作产品的良率。尤其是不同的工艺腔室采用本实施结构的静电卡盘装置时，可以使得不同工艺腔室的静电卡盘装置的走线安装的一致，进而能够使得每个工艺腔室的静电卡盘装置的对地电容一致，提高产品制造良率。

本实用新型的工艺腔室，具有前文记载的静电卡盘装置，该静电卡盘装置又包括前文记载的固定走线组件。因此，能够使得该工艺腔室的静电卡盘装置的走线的绕线路径以及走线间隔一定，从而可以使得走线方式固定化。当不同的工艺腔室采用该结构的静电卡盘装置时，可以使得不同工艺腔室的静电卡盘装置的走线安装的一致性，进而能够使得每个工艺腔室的静电卡盘装置的对地电容一致，提高产品制造良率。

附图说明

附图是用来提供对本实用新型的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与下面的具体实施方式一起用于解释本实用新型，但并不构成对本实用新型的限制。在附图中：

图1为现有技术一中静电卡盘装置中的走线结构示意图；

图2为图1的仰视图；

图3为现有技术二中静电卡盘装置中的走线结构示意图；

图4为图3中A处的局部放大图；

图5为本实用新型第一实施例中固定走线组件的结构示意图；

图6为图5中的走线支架的结构示意图；

图7为图6中B处的局部放大图；

图8为图5中走线夹单元的结构示意图；

图9为图8中走线夹单元中的第一走线夹的结构示意图；

图10为图8中走线夹单元中的第二走线夹的结构示意图；

图11为本实用新型第二实施例中固定走线组件中的走线支架的结构示意图；

图12为图11中走线支架的局部示意图；

图13为本实用新型第三实施例中静电卡盘装置的结构示意图；

图14为本实用新型第四实施例中静电卡盘装置去除悬臂的结构示意图。

附图标记说明

100：固定走线组件；

110：走线支架；

111：内壁；

112：外壁；

113：导向卡槽；

114：顶壁；

115：底壁；

116：固定部；

116a：第一部分；

116b：第二部分；

116b1：固定孔；

120：走线夹单元；

121：第一走线夹；

121a：第一容纳槽；

121b：第一主安装部；

121b1：第一主安装孔；

121c：第一副安装部；

121c1：第一副安装孔；

122：第二走线夹；

122a：第二容纳槽；

122b：第二主安装部；

122b1：第二主安装孔；

122c：第二副安装部；

122c1：第二副安装孔；

130：走线槽；

140：第一紧固件；

150：第二紧固件；

200：静电卡盘装置；

210：静电卡盘；

220：接口盘；

221：接线端口；

230：悬臂；

240：U型卡；

300：走线。

具体实施方式

以下结合附图对本实用新型的具体实施方式进行详细说明。应当理解的是，此处所描述的具体实施方式仅用于说明和解释本实用新型，并不用于限制本实用新型。

如图5至图14所示，本实用新型的第一方面，涉及一种固定走线组件100。其中，该固定走线组件100包括走线支架110和走线夹单元120，走线支架110包括内壁111和外壁112。走线夹单元120 与走线支架110的外壁112固定连接，且走线夹单元120和外壁112 的至少一者上设置有用于收容走线300的多个走线槽130。

为了便于说明，以将该结构的固定走线组件100应用到静电卡盘装置200为例进行说明。当然，该结构的固定走线组件100还可以应用到其他需要对走线300进行固定的场合中，在此并不是对固定走线组件100的应用场合的限定。

静电卡盘装置200的具体结构可以参考下文记载的相关描述，在此先不作赘述。多根走线300的一端固定在接口盘220上的接线端口221上，以使得多根走线300能够与静电卡盘210的下电极(图中并未示出)电性导通，每根走线300自接线端口221引出后，该走线 300的大部分会绕设在固定走线组件100的相应的走线槽130中，由于不同走线槽130之间的间隔是一定的，同时，走线槽130的路径也是一定的，因此，该静电卡盘装置200的不同的走线之间的间隔一致，路径一致，从而可以使得应用该结构的固定走线组件100的静电卡盘 210的对地电容一致。因此，在将该结构的静电卡盘装置200应用到不同的工艺腔室时，可以使得不同工艺腔室内的静电卡盘装置200 的对地电容均一致，从而能够提高产品的制作良率。

需要说明的是，对于走线支架110的具体结构并没有作出限定，例如，该走线支架110可以呈环形，这样，多根走线300就可以环设在走线支架110上。当然，走线支架110还可以具有其他的形状，在此不作限定。

进一步需要说明的是，对于走线槽130的具体形状并没有作出限定，例如，走线槽130可以为燕尾槽、C型槽等等。另外，对于走线槽130的具体设置位置也没有作出限定，例如，走线槽130可以仅仅设置在走线支架110的外壁112上，具体地，每个走线槽130为一个整体结构，也就是说，每个走线槽130从外壁112的一端绕设至外壁112的另一端。当然，走线槽130也可以仅仅设置在走线夹单元 120中，这样，走线支架110的外壁112上就不必再另行加工出走线槽130。

本实施例结构的固定走线组件100，通过在走线夹单元120和外壁112的至少一者上设置的用于收容走线300的多个走线槽130，由于多个走线槽130的形状以及间距均是一定的(可以根据实际需要进行确定)，因此，能够使得多根走线300的绕线路径以及走线间隔均是一定的，从而可以使得走线方式固定化，提高应用该结构的固定走线组件100的产品的良率。

如图5、图8、图9和图10所示，上述走线夹单元120为多个，每个走线夹单元120包括相对设置的第一走线夹121和第二走线夹 122。其中，第一走线夹121与外壁112固定连接，第二走线夹122 与第一走线夹121固定连接。

上述第一走线夹121上设置有多个第一容纳槽121a，第二走线夹122上设置有多个第二容纳槽122a，每个第一容纳槽121a对应一个第二容纳槽122a，且第一容纳槽121a和第二容纳槽122a共同形成上述的走线槽130。

也就是说，上述的走线槽130仅仅设置在走线夹单元120中，这样，走线300会依次穿过不同走线夹单元120中的走线槽130，由于走线夹单元120固定在走线支架110的外壁112上，因此，多根走线300也间接绕设在走线支架110的外壁112上。

因此，本实施例结构的固定走线组件100，能够进一步地使得多根走线300的绕线路径以及走线间隔一定，从而可以使得走线方式固定化，进一步地提高应用该结构的固定走线组件100的产品的良率。

如图8所示，上述固定走线组件100还包括多个第一紧固件140 和多个第二紧固件150。

上述第一走线夹121包括位于第一走线夹121端部的两个第一主安装部121b以及位于两个第一主安装部121b之间的第一副安装部121c，第一主安装部121b朝向第二走线夹122的一侧设置有第一主安装孔121b1，第一副安装部121c朝向第二走线夹122的一侧设置有第一副安装孔121c1，第一主安装部121b和第一副安装部121c之间设置有上述的第一容纳槽121a。

上述第二走线夹122包括位于第二走线夹122端部的两个第二主安装部122b以及位于两个第二主安装部122b之间的第二副安装部 122c，第二主安装部122b朝向第一走线夹121的一侧设置有第二主安装孔122b1，第二副安装部122c朝向第一走线夹121的一侧设置有第二副安装孔122c1，第二主安装部122b和第二副安装部122c之间设置有上述的第二容纳槽122a。

其中，上述的第一主安装孔121b1与第二主安装孔122b1对应设置，第一紧固件140设置在第一主安装孔121b1和第二主安装孔 122b1内，以固定第一走线夹121和第二走线夹122。

其中，上述第一副安装孔121c1与第二副安装孔122c1对应设置，第二紧固件150设置在第一副安装孔121c1和第二副安装孔122c1 内，以将第一走线夹121固定设置在走线支架110上。

需要说明的是，对于第一固定件140和第二固定件150的具体形状并没有作出限定，例如，第一固定件140和第二固定件150可以均为树脂螺钉等，相应地，第一主安装孔121b1与第二主安装孔122b1 为与树脂螺钉相匹配的螺纹孔，第一副安装孔121c1与第二副安装孔 122c1也为与树脂螺钉相匹配的螺纹孔。

本实施例结构的固定走线组件100，利用紧固件(例如，树脂螺钉)的方式将走线夹单元120中的第一走线夹121和第二走线夹122 固定在一起，同时，也利用紧固件将第一走线夹121与走线支架110 固定在一起，因此，结构简单，且根据所选择的紧固件的类型不同，还便于拆卸维修等。

如图6和图7所示，走线支架110上还设置有贯穿走线支架110 的多个导向卡槽113，以使得走线300能够穿过导向卡槽113至走线槽130内。

同样以将该结构的固定走线组件100应用到静电卡盘装置200 为例进行说明。

具体地，从接口盘220上的接线端口221出来的走线300，以直线路径卡在上述的导向卡槽113内，同时，从该导向卡槽113出来的走线300进入到与该导向卡槽113相邻的走线槽130内，并依次经过多个走线槽130，也就是说，绕设在走线支架110上。直至该走线300 的另一端从走线支架110的一端伸出，以便与其他电子器件电连接。

本实施例结构的固定走线组件100，设置有多个导向卡槽113，可以使得走线300经由该导向卡槽113引入走线槽130内，从而能够进一步地使得多根走线300的绕线路径以及走线间隔一定，从而可以使得走线方式固定化，进一步地提高应用该结构的固定走线组件100 的产品的良率。

如图6所示，上述走线支架110还包括顶壁114和底壁115。其中，顶壁114和底壁115分别与内壁111和外壁112连接，也就是说，顶壁114分别与内壁111和外壁112连接，底壁115也分别与内壁 111和外壁112连接。

其中，上述的导向卡槽113自底壁115处向顶壁114方向凹陷，且导向卡槽113贯穿外壁112和内壁111。

本实施例结构的固定走线组件100，是上述导向卡槽113的一种具体结构，该结构的固定走线组件100，可以进一步使得每根走线300 的路径唯一，不同走线300之间的间隔一定，可以使得走线300在走线支架110上盘绕整齐。从而可以使得应用该结构的固定走线组件 100的不同工艺腔室的静电卡盘装置200的走线安装的一致性，进而能够使得每个工艺腔室的静电卡盘装置200的对地电容一致，提高产品制造良率。

为了使得走线300能够稳固地设置在导向卡槽113内，以避免走线300从导向卡槽113脱离，如图6和图7所示，上述导向卡槽 113的截面呈C型。

为了便于将走线支架110与其他结构(例如，静电卡盘装置200 中的接口盘220)固定连接，如图6所示，上述走线支架110上还设置有至少一个固定部116。其中，该固定部116包括第一部分116a 以及自第一部分116a弯折延伸的第二部分116b，第一部分116a与底壁115固定连接，第二部分116b上设置有贯穿第二部分116b的固定孔116b1。

需要说明的是，第二部分116b的弯折方向可以朝向走线支架 110的内侧，当然，也可以朝向走线支架110的外侧。

如图5和图6所示，上述走线支架110呈环状结构，且环状结构具有缺口。也就是说，该环状结构为非完整环形，这样，走线300 可以从该缺口处引出，以便与其他电子器件连接。

如图11和图12所示，走线夹单元120为一个，且其沿走线支架110设置，走线槽130连续设置在走线支架110的外壁112上，走线300便被固定在该走线夹单元120和外壁112之间。

也就是说，该结构的固定走线组件100为另外一种结构，仅仅在走线支架110的外壁112上设置有上述的走线槽130，且该走线槽 130连续设置，也就是说，所有的走线槽130为整体结构，其一端位于走线支架110的一端，另一端位于走线支架110的另一端。

本实用新型的第二方面，提供一种静电卡盘装置200。如图13 和图14所示，静电卡盘装置200包括静电卡盘210、接口盘220、悬臂230、多根走线300以及固定走线组件100，接口盘220与静电卡盘210固定连接，接口盘220上设置有多个接线端口221，悬臂230 与接口盘220固定连接，固定走线组件100包括前文记载的的固定走线组件100，固定走线组件100与接口盘220固定连接，多根走线300 绕设在固定走线组件100的走线槽130内，且多根走线300的一端与接线端口221电连接，多根走线300的另一端位于悬臂230内，且与悬臂230具有预设距离。

本实施例结构的静电卡盘装置200，具有前文记载的固定走线组件100。因此，能够使得该静电卡盘装置200的走线300的绕线路径以及走线间隔一定，从而可以使得走线方式固定化。进一步地提高应用该结构的静电卡盘装置200的工艺腔室制作产品的良率。尤其是不同的工艺腔室采用本实施结构的静电卡盘装置200时，可以使得不同工艺腔室的静电卡盘装置200的走线安装的一致，进而能够使得每个工艺腔室的静电卡盘装置200的对地电容一致，提高产品制造良率。

本实用新型的第三方面，提供一种工艺腔室(图中并未示出)，工艺腔室包括静电卡盘装置200，静电卡盘装置200包括前文记载的的静电卡盘装置200。

本实施例结构的工艺腔室，具有前文记载的静电卡盘装置200，该静电卡盘装置200又包括前文记载的固定走线组件100。因此，能够使得该工艺腔室的静电卡盘装置200的走线300的绕线路径以及走线间隔一定，从而可以使得走线方式固定化。进一步地提高应用该结构的固定走线组件100的产品的良率。从而可以使得不同工艺腔室的静电卡盘装置200的走线安装的一致性，进而能够使得每个工艺腔室的静电卡盘装置200的对地电容一致，提高产品制造良率。

可以理解的是，以上实施方式仅仅是为了说明本实用新型的原理而采用的示例性实施方式，然而本实用新型并不局限于此。对于本领域内的普通技术人员而言，在不脱离本实用新型的精神和实质的情况下，可以做出各种变型和改进，这些变型和改进也视为本实用新型的保护范围。