一种正装结构的LED芯片的制作方法

文档序号:14385331阅读:来源:国知局
一种正装结构的LED芯片的制作方法

技术特征:

1.一种正装结构的LED芯片,其特征在于:包括衬底,所述衬底上表面设置有外延层,所述外延层包括由下至上依次设置的缓冲层、N型GaN层、多量子阱层和P型GaN层,所述P型GaN上设置有ITO导电层,在ITO导电层上设置有导电金属作为P电极;所述外延层通过刻蚀P型GaN层到达N型GaN层形成低台阶,所述低台阶上保留有一凸起的GaN小岛,GaN小岛上设置有N电极。

2.根据权利要求1所述的一种正装结构的LED芯片,其特征在于:所述GaN小岛上端窄下端宽,侧面为一斜面。

3.根据权利要求2所述的一种正装结构的LED芯片,其特征在于:所述斜面的坡度范围为72°±5°。

4.根据权利要求1-3任一所述的一种正装结构的LED芯片,其特征在于:所述N电极完全覆盖GaN小岛。

5.根据权利要求4所述的一种正装结构的LED芯片,其特征在于:所述GaN小岛的高度与P型GaN层的上表面高度相同。

6.根据权利要求5所述的一种正装结构的LED芯片,其特征在于:所述N电极的上表面与P电极的上表面持平。

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