一种片式电阻溅射侧电极装置的制作方法

文档序号:14649905发布日期:2018-06-08 21:34阅读:201来源:国知局
一种片式电阻溅射侧电极装置的制作方法

本实用新型涉及电子元器件生产设备及装置,特别涉及一种片式电阻溅射侧电极装置。



背景技术:

在片式电阻的生产过程中,需要对片式电阻的侧电极进行溅射,进行溅射时,需要使用平面溅射机,这种平面溅射机价格昂贵,且现有的圆滚式镀膜机无法对片式电阻的侧电极进行溅射。



技术实现要素:

本实用新型的目的是为了解决现阶段平面溅射机价格昂贵,且现有的圆滚式镀膜机无法对片式电阻的侧电极进行溅射等缺点,而提出的一种片式电阻溅射侧电极装置。

为了实现上述目的,本实用新型采用了如下技术方案:

一种片式电阻溅射侧电极装置,其特征在于:包括托架,在托架的一侧设有开口,在开口处配合连接压紧组件;

压紧组件包括压板,在压板的一侧设有第一卡板,在压板的另一侧设有第二卡板,在压板上还固定连接弹簧。

在上述技术方案的基础上,可以有以下进一步的技术方案:

所述托架包括方形的环状框架,在所述开口相对一侧环状框架上设有通槽,在通槽的两侧分别设有一个挡销,在环状框架内设有底板,底板与挡销限位配合。

在所述开口两侧的所述环状框架内均设有一个凹槽,所述底板对应设置在两个凹槽内。

在所述第一卡板的外侧设有半圆形卡槽,在所述第二卡板的外侧设有挂钩。

在所述开口一侧的托架通过销轴连接扣板,扣板与所述第二卡板扣接配合。

所述扣板的内侧设有与第二卡板扣接的卡槽。

本实用新型的优点在于:本装置通过本装置将零散的片式电阻成批量的放在一起进行侧电极的溅射加工,它的结构简单,便于组合,价格低廉,易于操作,省时省力,能够在在现有的圆滚式溅射机上对片式电阻的侧电极进行溅射。

附图说明

图1是本实用新型的基本结构示意图;

图2是图1的右视图;

图3是图1的仰视图;

图4是托架的侧视图;

图5是压紧组件的结构示意图。

具体实施方式

为了使本实用新型更加清楚明白,以下结合附图对本装置详细说明,此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本实用新型,并不用于限定本实用新型。

如图1、图2、图3和图4所示,本实用新型提供的一种片式电阻溅射侧电极装置,包括托架1,托架1包括方形的环状框架8,在环状框架8的一侧设有开口2,在环状框架8的另一侧设有通槽9,在开口2两侧的环状框架8内均设有一个凹槽16,在通槽9两侧的每个凹槽16内均设有一个挡销10,在两个凹槽16之间配合连接一个底板11,底板11与两个挡销10限位配合。

在所述开口2一侧的环状框架8上设有开口槽17,在开口槽17内通过一个销轴14连接扣板15,扣板15能够绕销轴14在开口槽17内摆动,扣板15的内侧设有卡槽。

结合图5所示,在所述开口2处配合连接压紧组件3,压紧组件3包括压板4,在压板4的一侧设有第一卡板5,在第一卡板5的外侧设有半圆形卡槽12,在压板4的另一侧设有第二卡板6,在第二卡板6的外侧设有挂钩13,在开口2一侧的环状框架8上连接扣杆18,扣杆18对应扣接在半圆形卡槽12内,挂钩13对应卡接在扣板15的卡槽内。在压板4上还固定连接两个弹簧7,每个弹簧7均通过螺钉固定连接在压板4上。

在使用时,通过压紧组件3和底板11将需要电溅射侧电极的片式电阻固定在托架1内。

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