纳米薄膜及其制作方法、薄膜晶体管及其制作方法与流程

文档序号:15166726发布日期:2018-08-14 17:34阅读:来源:国知局

技术特征:

技术总结
本发明实施例公开了一种纳米薄膜及其制作方法、薄膜晶体管及其制作方法,其中,纳米薄膜的制作方法包括:将至少两种包含不同纳米材料的溶液混合,形成混合溶液;将混合溶液在衬底基板上制作成初始薄膜;在初始薄膜上形成多个区域,每个区域保留一种纳米材料,以形成纳米薄膜;其中,相邻区域的纳米材料不同。本发明实施例通过将不同纳米材料的溶液混合,对混合溶液进行处理,获得了相邻区域包括不同纳米材料的纳米薄膜,简化了纳米薄膜的制作方法,且材料比例可控,薄膜均匀性较佳。

技术研发人员:孟虎
受保护的技术使用者:京东方科技集团股份有限公司
技术研发日:2018.03.07
技术公布日:2018.08.14
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