一种VDMOS功率器件芯片焊接层空洞补偿结构的制作方法

文档序号:15097572发布日期:2018-08-04 14:57阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种VDMOS功率器件芯片焊接层空洞补偿结构,包括基板,所述基板上设有芯片焊接区;其特征在于,所述芯片焊接区的中心和四角端分别设有金属凸点组,所述金属凸点组包括金属中心凸点,所述金属中心凸点的外侧设有至少一个金属凸点环。

2.根据权利要求1所述的一种VDMOS功率器件芯片焊接层空洞补偿结构,其特征在于,所述金属凸点环包括至少两个,其从内到外依次分别为第一金属凸点环、第二金属凸点环……第n金属凸点环;n≥3,n为整数。

3.根据权利要求2所述的一种VDMOS功率器件芯片焊接层空洞补偿结构,其特征在于,所述第一金属凸点环包含四个金属凸点,对称分布在金属中心凸点的四周,所述第二金属凸点环包含八个金属凸点,对称分布在第一金属凸点环四周……所述第n金属凸点环包含2n+1个金属凸点,对称分布在第n+1金属凸点环四周。

4.根据权利要求2或3所述的一种VDMOS功率器件芯片焊接层空洞补偿结构,其特征在于,所述中心金属凸点、第一金属凸点环、第二金属凸点环……第n金属凸点环两两之间的间隙均相等。

5.根据权利要求3所述的一种VDMOS功率器件芯片焊接层空洞补偿结构,其特征在于,所述金属中心凸点、第一金属凸点环中的金属凸点、第二金属凸点环中的金属凸点……第n金属凸点环中的金属凸点均为半球体,其通过半球体的平面贴合基板。

6.根据权利要求5所述的一种VDMOS功率器件芯片焊接层空洞补偿结构,其特征在于,所述金属中心凸点、第一金属凸点环中的金属凸点、第二金属凸点环中的金属凸点……第n金属凸点环中的金属凸点的半球体直径逐渐递减。

7.根据权利要求3所述的一种VDMOS功率器件芯片焊接层空洞补偿结构,其特征在于,所述金属中心凸点、第一金属凸点环中的金属凸点、第二金属凸点环中的金属凸点……第n金属凸点环中的金属凸点的材料与基板材料相同,其材料为铜或铜合金。

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