一种背面软损伤设备用橡胶滚筒的制作方法

本实用新型属于半导体行业生产技术领域，具体涉及一种背面软损伤设备用橡胶滚筒。

背景技术：

硅片经过腐蚀和退火后进入背面软损伤加工程序，滚筒带动传送带使硅片进入设备打毛区域进行背面软损伤.由于该滚筒的表面为一层橡胶材料，经过长时间的使用，与传送带之间的摩擦会使滚筒表面磨损滚筒变形严重，从而导致传送带变形甚至偏移轨道，进而在打毛过程中硅片产生叠片等现象，从而导致硅片报废，造成加工损失。要解决这类问题需更换整根滚筒轴，拆卸困难维修时间比较长。目前国内半导体材料加工厂家，大多使用的设备是JAPAN FUJIKIKAI SBSD机，此种传动滚筒在使用过程中存在的缺点是：一、拆卸困难不易安装；二、维修过程浪费大量时间；三、降低设备产能；四、维修成本高。

技术实现要素：

鉴于现有背面软损伤机传动滚筒所存在的问题，本实用新型设计了一种滚筒表面橡胶轴瓦用螺丝固定可拆卸、轻便分离式滚筒，用以解决目前设备滚筒更换所存在的几个方面的问题，以快速简便拆卸更换受损橡胶滚筒的目的，做到拆装简单、安全高效。

本实用新型的技术方案是：一种背面软损伤设备用橡胶滚筒，包括两个橡胶涂层不锈钢瓦、不锈钢滚筒，所述橡胶涂层不锈钢瓦为圆弧形，两个橡胶涂层不锈钢瓦围合后形成供所述不锈钢滚筒穿过的空腔，橡胶涂层不锈钢瓦和不锈钢滚筒的表面上布设有多个相互对应的螺丝安装孔，通过螺丝将橡胶涂层不锈钢瓦固定在不锈钢滚筒上，每个橡胶涂层不锈钢瓦上的还开设有多个凹槽，所述凹槽内安装有定位条，所述定位条的尾端设置在螺丝安装孔的上方并连接有螺丝盖帽，所述螺丝盖帽的中心位上设置有开口，所述开口内设置有固定锥，开口的内壁和所述固定锥的外壁上分别设置有相互配合使用的螺纹，固定锥的一端上设置有端帽，所述端帽上开设有开槽，另一端开设有与螺丝相对应的卡口。

进一步优化，所述螺丝安装孔的个数为18个。

进一步优化，所述螺丝盖帽和固定锥均为高耐磨且非金属材质制备。

进一步优化，所述螺丝盖帽闭合时其上端面与橡胶涂层不锈钢瓦的上端面齐平。

进一步优化，所述螺丝为内六方不锈钢螺丝，卡口与内六方不锈钢螺丝相对应。

进一步优化，所述开槽为十字型槽。

进一步优化，所述开槽为一字型槽。

本实用新型的有益效果为：

一、两个橡胶涂层不锈钢瓦围合后包覆在不锈钢滚筒的外周，采用多个螺丝将其固定在不锈钢滚筒上，长期使用后橡胶涂层不锈钢瓦损坏，只需将其更换，不需要更换整个滚筒，并且在拆卸和安装时只要拆卸螺丝就可轻易完成，节省劳动力，降低生产成本；

二、在橡胶涂层不锈钢瓦上开设有凹槽，将定位条安装在内，定位条一端的螺丝盖帽既起到保护螺丝的作用，又可避免长期使用螺丝松动导致的螺丝突出于橡胶涂层不锈钢瓦的平面而影响滚筒正常工作；

三、螺丝盖帽上开设的开口用于固定锥的进出，该固定锥一端设置有与螺丝相对应的卡口，其目的是有助于固定螺丝，防止螺丝松动影响滚筒的正常工作；

综上所述，本实用新型加工工艺简单、价格低廉、操作方便，并克服了拆装困难的问题，大大地节省维修时间、降低了生产成本，提高了设备产能。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图

图2为橡胶涂层不锈钢瓦的结构示意图

图3为螺丝盖帽的结构示意图

图4为固定锥的结构示意图

图5为卡口的结构示意图

附图标记：1、橡胶涂层不锈钢瓦，2、不锈钢滚筒，3、螺丝安装孔，4、凹槽，5、定位条，6、螺丝盖帽，7、开口，8、固定锥，9、开槽，10、卡口。

具体实施方式

为使本实用新型实现的技术手段、创作特征、达成目的以及有益效果易于明白了解，下面结合具体实施方式，进一步阐述本实用新型。

一种背面软损伤设备用橡胶滚筒，其具体实施方式为：包括两个橡胶涂层不锈钢瓦1、不锈钢滚筒2，所述橡胶涂层不锈钢瓦1为圆弧形，两个橡胶涂层不锈钢瓦1围合后形成供所述不锈钢滚筒2穿过的空腔，橡胶涂层不锈钢瓦1和不锈钢滚筒2的表面上分别均匀布设有18个相互对应的螺丝安装孔3，通过螺丝将橡胶涂层不锈钢瓦1固定在不锈钢滚筒2上，采用多个螺丝将其固定在不锈钢滚筒2上，长期使用后橡胶涂层不锈钢瓦1损坏，只需将其更换，不需要更换整个滚筒，并且在拆卸和安装时只要拆卸螺丝就可轻易完成，节省劳动力，降低生产成本，每个橡胶涂层不锈钢瓦1上的还开设有多个凹槽4，所述凹槽4内安装有定位条5，所述定位条5的尾端设置在螺丝安装孔3的上方并连接有螺丝盖帽6，所述螺丝盖帽6闭合时其上端面与橡胶涂层不锈钢瓦1的上端面齐平，螺丝盖帽6既起到保护螺丝的作用，又可避免长期使用螺丝松动导致的螺丝突出于橡胶涂层不锈钢瓦1的平面而影响滚筒正常工作，所述螺丝盖帽6的中心位上设置有开口7，所述开口7内设置有固定锥8，所述螺丝盖帽6和固定锥8均为高耐磨且非金属材质制备，开口7的内壁和所述固定锥8的外壁上分别设置有相互配合使用的螺纹，固定锥8的一端上设置有端帽，所述端帽上开设有开槽9，另一端开设有与螺丝相对应的卡口10，其目的是有助于固定螺丝，防止螺丝松动影响滚筒的正常工作。

在本实用新型中，所述螺丝为内六方不锈钢螺丝，卡口10与内六方不锈钢螺丝相对应。

进一步优化，所述开槽9为十字型槽，通过十字口的螺丝刀旋出或者旋进。

进一步优化，所述开槽9为一字型槽，通过一字口的螺丝刀旋出或者旋进。

以上显示和描述了本实用新型的主要特征、基本原理以及本实用新型的优点。本行业技术人员应该了解，本实用新型不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是说明本实用新型的原理，在不脱离本实用新型精神和范围的前提下，本实用新型还会根据实际情况有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本实用新型范围内。本实用新型要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。